Special section on the Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC) (Englisch)
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2017
- Konferenzband / Print
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Titel:Special section on the Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
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Beteiligte:Patterson, Oliver. D. ( Herausgeber:in ) / SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference ( Autor:in ) / Semiconductor Equipment and Materials International, Körperschaft ( Sponsor:in )
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Kongress:SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference ; 27 ; 2016 ; Saratoga Springs, NY
SEMI ASMC ; 27 ; 2016 ; Saratoga Springs, NY
Semiconductor Equipment and Materials International Advanced Semiconductor Manufacturing Conference ; 27 ; 2016 ; Saratoga Springs, NY -
Erschienen in:IEEE transactions on semiconductor manufacturing ; volume 30, number 4 (November 2017)
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Verlag:
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Erscheinungsort:Piscatway, NJ
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Erscheinungsdatum:2017
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Format / Umfang:Seite 377-447
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Anmerkungen:Illustrationen, Diagramme
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Medientyp:Konferenzband
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Datenquelle: