Anwendung von Rastertunnel- und Atomkraft-Mikroskopie zur direkten Charakterisierung der Bildung und Beschaffenheit von galvanischen Metallfilmen auf Fremdmetall- und Halbleiterunterlagen : Schlussbericht für den Zeitraum: 01.02.1999 bis 31.10.2001 (Deutsch)
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2001
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Titel:Anwendung von Rastertunnel- und Atomkraft-Mikroskopie zur direkten Charakterisierung der Bildung und Beschaffenheit von galvanischen Metallfilmen auf Fremdmetall- und Halbleiterunterlagen : Schlussbericht für den Zeitraum: 01.02.1999 bis 31.10.2001
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Beteiligte:
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Erscheinungsort:Düsseldorf
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Erscheinungsdatum:2001
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Format / Umfang:26 Bl
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Anmerkungen:Ill., graph. Darst
Förderkennzeichen AIF 11955 N/6 - AIF 11955 N/1. - Literaturverz. S. 24 - 26
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Auch als elektronische Ressource vorh. -
Medientyp:Report
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Format:Print
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Sprache:Deutsch
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Reportnr. / Förderkennzeichen:AIF11955N, AIF11955N6, AIF11955N1
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