Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik ([my]geoMess) : Teilvorhaben: Vorentwicklung und Optimierung eines Mikrotasters ([my]Tast) ; Schlussbericht zum Vorhaben ; Berichtszeitraum: 01.01.2005 bis 30.06.2008 (Deutsch)

Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik ([my]geoMess) : Teilvorhaben: Vorentwicklung und Optimierung eines Mikrotasters ([my]Tast) ; Schlussbericht zum Vorhaben ; Berichtszeitraum: 01.01.2005 bis 30.06.2008

Testing and evaluation of geometric features in Microtechnology - [my]geoMess - subproject: Predevelopement and optimisation of a micro tactile probe ([my]Tast)

Technische Universität Braunschweig

Peiner, Erwin

TU

Braunschweig

2008

Online-Ressource (64 S., 24,9 MB)

Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 16SV1944. - Verbund-Nr. 01034368. - [Engl. T.: Testing and evaluation of geometric features in Microtechnology - [my]geoMess - subproject: Predevelopement and optimisation of a micro tactile probe ([my]Tast)]
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Auch als gedr. Ausg. vorhanden
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https://doi.org/10.2314/GBV:595024947

Report

Elektronische Ressource

Deutsch

BKL:

50.94 Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie / 52.71 Qualitätssicherung / 50.37 Technische Optik

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