BMBF-Verbundprojekt "Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis (HmtS)" : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 01.08.2013 bis 31.01.2017 (Deutsch)

Freier Zugriff

Peiner, Erwin / Technische Universität Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik

2017

Report / Elektronische Ressource

Titel:

BMBF-Verbundprojekt "Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis (HmtS)" : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 01.08.2013 bis 31.01.2017
Weitere Titelangaben:

HmtS - high-speed micro tactile sensor for measuring surface structures of high aspect ratio
Autor / Urheber:

Peiner, Erwin / Technische Universität Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik
Verlag:

Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik (TUBS-IHT)

Erscheinungsort:

Braunschweig
Erscheinungsdatum:

2017
Format / Umfang:

1 Online-Ressource (52 Seiten, 7,07 MB)
Anmerkungen:

Illustrationen, Diagramme
Förderkennzeichen BMBF 03V0409. - Verbund-Nummer 01144650
Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek
Weitere Ausgaben:

Druck-Ausgabe: BMBF-Verbundprojekt "Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis (HmtS)"
DOI:

https://doi.org/10.2314/GBV:890496137
Medientyp:

Report
Format:

Elektronische Ressource
Sprache:

Deutsch
Reportnr. / Förderkennzeichen:

03V0409, 01144650

Klassifikation:

BKL:

50.21 Meßtechnik / 51.20 Werkstoffoberflächeneigenschaften / 50.94 Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie

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