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Plattform für Silizium-Glas-Verbund innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020 (Deutsch)
Freier Zugriff
- Neue Suche nach: Weinberger, Stefan
- Neue Suche nach: X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH
- Weitere Informationen zu X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH:
- http://d-nb.info/gnd/1084791730
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- Weitere Informationen zu X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH:
- http://d-nb.info/gnd/1084791730
2020
- Report / Elektronische Ressource
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Titel:Plattform für Silizium-Glas-Verbund innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020
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Beteiligte:Weinberger, Stefan ( Autor:in ) / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH ( Herausgebendes Organ )
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Verlag:
- Neue Suche nach: XFAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH
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Erscheinungsort:Itzehoe
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Erscheinungsdatum:2020
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Format / Umfang:1 Online-Ressource (43 Seiten, 3,20 MB)
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Anmerkungen:Illustrationen, Diagramme
Förderkennzeichen BMBF 16ES0728K
Verbundnummer 01180525
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek -
Weitere Ausgaben:Druck-Ausgabe: Plattform für Silizium-Glas-Verbund
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DOI:
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Medientyp:Report
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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Reportnr. / Förderkennzeichen:16ES0728K, 01180525
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Datenquelle:
