EUV-Projektionsoptik für 14 nm Auflösung (ETIK) : Teilvorhaben: Beschichtungstechnologien für EUV-Lithografieoptiken : Schlussbericht im Auftrag des Bundesministeriums für Bildung und Forschung : Berichtszeitraum: 06/2012-05/2015 (Deutsch)
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2015
- Report / Elektronische Ressource
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Titel:EUV-Projektionsoptik für 14 nm Auflösung (ETIK) : Teilvorhaben: Beschichtungstechnologien für EUV-Lithografieoptiken : Schlussbericht im Auftrag des Bundesministeriums für Bildung und Forschung : Berichtszeitraum: 06/2012-05/2015
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Beteiligte:Kirchhoff, Volker ( Mitwirkende:r ) / Tünnermann, Andreas ( Mitwirkende:r ) / Beyer, Eckhard ( Mitwirkende:r ) / Glöß, Daniel ( Mitwirkende:r ) / Schürmann, Mark ( Mitwirkende:r ) / Braun, Stefan ( Mitwirkende:r ) / Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik ( Herausgebendes Organ )
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Verlag:
- Neue Suche nach: Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik, IWS
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Erscheinungsort:München
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Erscheinungsdatum:2015
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Format / Umfang:1 Online-Ressource (60 Seiten, 6,23 MB)
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Anmerkungen:Illustrationen, Diagramme
Förderkennzeichen BMBF 16N12260. - Verbund-Nummer 01121905
Literaturverzeichnis: Blatt 58
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Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek -
DOI:
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Medientyp:Report
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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Reportnr. / Förderkennzeichen:16N12260, 01121905
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Schlagwörter:
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Klassifikation:
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