BMBF-Verbundprojekt "Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis (HmtS)" : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 01.08.2013 bis 31.01.2017 (Deutsch)
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2017
- Report / Print
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Titel:BMBF-Verbundprojekt "Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis (HmtS)" : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 01.08.2013 bis 31.01.2017
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Weitere Titelangaben:HmtS - high-speed micro tactile sensor for measuring surface structures of high aspect ratio
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Beteiligte:Peiner, Erwin ( Autor:in ) / Technische Universität Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik ( Herausgebendes Organ )
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Verlag:
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Erscheinungsort:Braunschweig
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Erscheinungsdatum:2017
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Format / Umfang:50 Seiten, 2 ungezählte Blätter
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Anmerkungen:Illustrationen, Diagramme
Förderkennzeichen BMBF 03V0409. - Verbund-Nummer 01144650
Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden -
Medientyp:Report
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Format:Print
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Sprache:Deutsch
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Reportnr. / Förderkennzeichen:03V0409, 01144650
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Klassifikation:
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Datenquelle: