OPTISCHES SYSTEM, LITHOGRAPHIEANLAGE SOWIE VERFAHREN (Deutsch)
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2019
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:OPTISCHES SYSTEM, LITHOGRAPHIEANLAGE SOWIE VERFAHREN
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Patentnummer:DE102019211446
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:KHARITONOV ALEXANDER ( Autor:in ) / MERKL CHRISTOPH ( Autor:in )
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Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
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Erscheinungsdatum:10.10.2019
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
IPC: G02B Optische Elemente, Systeme oder Geräte, OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS / G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES / G05D SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES, Systeme zum Steuern oder Regeln nichtelektrischer veränderlicher Größen -
Datenquelle: