Atomlagenabscheidung (Deutsch)
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- Lexikoneintrag / Elektronische Ressource
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Titel:Atomlagenabscheidung
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Weitere Titelangaben:atomic layer deposition (ALD)
l'Atomic Layer Deposition
deposizione strato atomico
Deposición de capa atómica -
Beteiligte:Juliane Katharina Wesener ( Autor:in )
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Erschienen in:
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Verlag:
- Neue Suche nach: Georg Thieme Verlag KG
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Erscheinungsdatum:28.01.2016
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Medientyp:Lexikoneintrag
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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Schlagwörter:
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Datenquelle: