Zuverlässigkeitsauslegung eines piezoelektrischen Energy Harvesters (Deutsch)

MEMS, Mikroelektronik, Systeme, Mikrosystemtechnik-Kongress, 2017
VDE-Verlag , Berlin, Offenbach; 2017

Piezoelektrische Energy Harvester ermöglichen die Energieversorgung für autonome Sensorsysteme in Einsatzumgebungen mit Vibration. Um ein adäquates, zuverlässiges System entwickeln zu können, werden Modelle benötigt, welche den Zusammenhang zwischen Belastungsprofil und elektrischer Energieversorgung einerseits, und der Zuverlässigkeit des Harvesters unter der Belastung des Benutzungsprofils andererseits beschreiben. Beide Aspekte müssen für ein zuverlässiges Systemdesign berücksichtigt werden. Das vorliegende Paper gibt eine Übersicht zu der Vorgehensweise der Modellierung mit dem Fokus auf den Zuverlässigkeitsaspekt und zeigt das Vorgehen an dem vorliegenden Demonstrator.

Piezoelectric energy harvesters enable the energy supply for autonomously operating sensor systems in environments with vibration. In order to design a suitable, reliable system, models are necessary which describe the relation between mission profile and electrical energy supply on the one hand, and the reliability of the harvester under the load of the mission profile on the other hand. Both aspects need to be considered for a reliable system design. This paper introduces the general design approach and demonstrates the application of the outlined models with a focus on the reliability modelling.

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Dokumentinformationen


Inhaltsverzeichnis Konferenzband

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30
Modellierung eines neuartigen Kamm-Mikrofons mit hohem Signal-Rausch-Verhältnis
Manz, Johannes / Schrag, Gabriele / Dehe, Alfons / Krumbein, Ulrich / Wachutka, Gerhard | 2017
34
Passiver Schock-Maximalwertsensor
Wedrich, K. / Mehner, H. / Hoffmann, M. | 2017
38
Messung und Berechnung der Temperaturhysterese von Flip-Chip MEMS-Mikrofonen
Ebbinghaus, Hanna / Chew, Ai Ping / Feiertag, Gregor / Walser, Sebastian | 2017
42
Magnetoresistive Sensoren für die nächste Robotergeneration
Slatter, Rolf / Buß, Rene | 2017
46
Miniaturisierte Beleuchtungsoptiken für Mobilgeräte
Streppel, Ulrich / Thiele, Simon / Giessen, Harald | 2017
50
Layout vs. Schematic Check für integrierte elektronisch-photonische Schaltkreise in photonischer BiCMOS-Technologie
Simon, S. / Winzer, G. / Rito, P. / Garcia Lopez, I. / Petousi, D. / Zimmermann, L. / Mausolf, T. | 2017
Multiphysics and Multiscale Simulation for the Design of Microstructured Materials and Miniaturized Active Devices
Karch, Christian / Bauer, Karin | 2017
58
Effizienter fluidischer Transport mittels mikromechanischer Aktoren: Numerische Herausforderungen beim Entwurf
Gehring, M. / Schrag, G. / Wachutka, G. | 2017
62
CFD Berechnung der fluidischen Dämpfung von flexiblen Strukturen basierend auf modaler Projektion
Freitag, Markus / Voigt, Sebastian / Mehner, Jan | 2017
66
Mikromechanisches 3D-Lorentzkraftmagnetometer mit neuartigem multiaxialem Betriebsprinzip und ultra-low-power Ausleseverfahren
Biegler, H. / Krawat, D. / Dienger, M. / Rockstroh, J. / Trächtler, M. / Manoli, Y. / Dehe, A. | 2017
Digital Twins at the Crossroad of Production, Product and Technology
Funk, Klaus / Reinhart, Gunther | 2017
74
Pragmatische Industrie 4.0 Lösungen für die Produktion im Mittel-stand - BMBF-Projekt ScaleIT
Afshar, Maziar / Neuy, Christine | 2017
78
Interface Guided Innovation - strukturierte Generierung von Innovationen für Industrie 4.0-Anwendungen
Stocker, Ulf / Lippitz, Volker | 2017
82
Zuverlässigkeitsauslegung eines piezoelektrischen Energy Harvesters
Wittler, O. / Hölck, O. / Benecke, S. / Dobs, T. / Dijk, M. van / Keller, J. / Schulz, M. / Bader, V. / Braun, T. / Lang, K.D. | 2017
86
Condition Monitoring binärer Lösungen mit elektrostatischen Mikrosensoren
Thiedke, Hendrik / Geiling, Thomas / Goj, Boris / Dittrich, Lars | 2017
A side-wall spacer process for releasing and sealing of post-CMOS MEMS pressure sensor membranes
Walk, Christian / Goertz, Michael / Mokwa, Wilfried / Vogt, Holger | 2017
94
Additive Fertigung für Brennstoffzellen und Elektrolyse
Vierrath, S. / Breitwieser, M. / Bühler, M. / Klose, C. / Zengerle, R. / Thiele, S. | 2017
3D Optical Microresonators: Laser-Assisted Fabrication and Packaging
Zamora, Vanessa / Herter, Jonas / Janeczka, Christian / Schroeder, Henning | 2017
101
MEMS Feldionisation-Gassensor auf Basis von Palladium-Nanostrukturen
Müller, Lutz / Mehner, Hannes / Hoffmann, Martin | 2017
105
Integriert-optische Schaltnetze und Wellenlängenmultiplexer für energieeffiziente Kommunikationsnetze on-Chip
Lipka, Timo / Trieu, Hoc Khiem | 2017
BiCMOS Embedded RF-MEMS Technologies
Tolunay Wipf, Selin / Göritz, Alexander / Wietstruck, Matthias / Wipf, Christian / Kaynak, Mehmet | 2017
112
Aktive Q-Faktor Regelung von piezoelektrischen MEMS Cantilevern für High Speed AFM Anwendungen in Vakuum
Fischeneder, Martin / Oposich, Martin / Schneider, Michael / Schmid, Ulrich | 2017
116
Prozesskontrolle für die Dünnschichtverkapselung von BiCMOS HF-MEMS-Schaltern mittels BEOL-integriertem Pirani-Element
Göritz, A. / Tolunay Wipf, S. / Wietstruck, M. / Mai, A. / Kaynak, M. | 2017
120
Millimeterwellen-Sensorsystem zur Messung der Sauerstoffkonzentration in Gasen
Wecker, Julia / Kurth, Steffen / Meinig, Marco / Otto, Thomas / Bauch, Andreas / Weigel, Robert / Kissinger, Dietmar / Hackner, Angelika / Prechtel, Ulrich | 2017
124
Waferlevel-Realisierung von Facetten zur Faser-zu-Chip Kopplung für eine photonische BiCMOS-Technologie
Mai, C. / Voigt, K. / Fraschke, M. / Trusch, A. / Lischke, S. / Knoll, D. / Schulz, K. / Kulse, P. / Zimmermann, L. | 2017
128
Steuerbare Ringblenden für segmentierte Besselstrahlen
Müller, Angelina / Wapler, Matthias C. / Wallrabe, Ulrike | 2017
131
Leuchtdiodenchips mit dreidimensional epitaktisch gewachsenen kristallinen GaN Säulen
Lawrowski, R. / Deml, S. / Varghese, T. / Schimpke, T. | 2017
135
CMOS Bildsensor mit linearer hochdynamischer Pixelzelle mit Selbst-Reset und Pinned-Photodiode
Hirsch, S. / Strobel, M. / Hainbucher, R. / Schulze Spüntrup, J.D. / Klingler, W. / Burghartz, J. | 2017
139
Rotationsaktorik für durchstimmbare Mikroprismen durch die ther-momechanische Modulation der remanenten Spannung in Aluminiumnitrid Balken
Leopold, S. / Hoffmann, M. | 2017
Customized micro mirror array for highly parallel industrial laser direct processing on the micro- and nanoscale
Schmidt, Jan-Uwe / Duerr, Peter / Wagner, Michael | 2017
147
Miniaturisierung von Mikromembranpumpen für die Integration in Mobilfunkgeräte
Richter, M. / Wackerle, M. / Congar, Y. / Drost, A. / Häfner, J. / Röhl, S. / Kibler, S. / Kruckow, J. / Kutter, C. | 2017
151
Neuartiger piezoelektrischer Zwei-Wege-MEMS-Lautsprecher
Stoppel, Fabian / Niekiel, Florian / Giese, Thorsten / Gu-Stoppel, Shanshan / Eisermann, Christian / Wagner, Bernhard | 2017
155
Sichere und interaktive Steuerung von Produktionsanlagen durch vernetzte Umfeldsensoren
Lenhard, Thilo / Kölpin, Alexander | 2017
157
Nahfeldlokalisierung von Systemen in Produktionslinien - Hardware und Systemintegration
Fritzsch, Thomas / Gulden, Peter / Lipka, Melanie / Muharemovic, Nedim / Meinel, David / Vehring, Sönke / Böck, Georg / Kempf, Markus / Pavlovic, Boban / Schmückle, Franz-Josef et al. | 2017
161
Intelligente elektrische Steckverbinder und Anschlusstechnologien
Michels, J.S. / Herrmann, M. / Arntzen, R. / Grünberg, O. / Mödinger, R. / Kristmann, F. / Meier, O. / Baar, C. / Ansorge, F. / Schiefelbein, F.P. et al. | 2017
164
Syntheseroboter für die kostengünstige Synthese vieler diagnostischer Peptide
Haas, Valentin / Riemer, Immanuel / Löffler, Felix / Breitling, Frank / Nesterov-Müller, Alexander | 2017
168
Multiparametrisches telemetrisches Gewebemonitoring - Entwicklung einer Mikrosensorsonde zur kontinuierlichen Überwachung nach mikrochirurgischem Gewebetransfer
Werner, S. / Jones, P.D. / Fuchsberger, K. / Heusel, G. / Neufeld, K. / Schuff, J. / Derfuss, T. / Boucsein, C. / Pojtinger, A. / Reinert, S. et al. | 2017
172
Rapid Prototyping mikrofluidischer Chips in Polymethylmethacrylat mittels maskenloser Lithographie
Kotz, Frederik / Risch, Patrick / Rapp, Bastian E. | 2017
175
Integration konischer Nanoporen in Lab-on-Chip-Systeme für die Histamin-Analyse
El Khoury, M. / Duznovic, I. / Ali, M. / Ensinger, W. / Schlank, H.F. | 2017
179
Neuronale Implantate zur Rückkopplung sensorischer Größen verbessern die Mensch-Technik-Interaktion in der Prothetik
Stieglitz, T. / Cvancara, P. / Müller, M. / Boretius, T. / Kiele, P. / Pasluosta, C. / Raspopovic, S. / Granata, G. / Guiraud, D. / Navarro, X. et al. | 2017
183
Überwachung der Dichteänderung während der Weinfermentation mit piezoelektrischen MEMS-Resonatoren
Pfusterschmied, Georg / Kucera, Martin / Steindl, Wolfgang / Bittner, Achim / Schneider, Michael / Schmid, Ulrich | 2017
Dynamic fluorescence measurements on DNA microarrays in foil-based microfluidics using multichannel Silicon Photomultipliers.
Ohlander, Anna / Seb, Andrej / Bose, Indranil / Ganka, Thomas / Wiest, Florian / Kutter, Christoph | 2017
191
Entwicklung eines mikromechanischen kapazitiven Schalldetektors im resonanten Betrieb für die photoakustische Spurengasanalyse
Zagler, A. / Landgraf, F. / Rück, T. / Bierl, R. | 2017
195
Miniaturisierte Laserlichtquelle für Infrarotspektroskopie
Merten, A. / Dreyhaupt, A. / Hugger, S. / Butschek, L. / Grahmann, J. / Schwarzenberg, M. / Ostendorf, R. / Jarvis, J. / Härtelt, M. | 2017
199
Katalytische Silicium-Platin-Nanostrukturen für Niedertemperatur MEMS Wasserstoffsensoren
Müller, Lutz / Hoffmann, Martin / Maier, Konrad / Helwig, Andreas | 2017
Piezoelectrically driven and sensed micromirrors with large scan angles and precise closed-loop control
Gu-Stoppel, Shanshan / Giese, Thorsten / Quenzer, Hans-Joachim / Hofmann, Ulrich / Benecke, Wolfgang | 2017
207
Entwicklung eines bionisch inspirierten, mikromechanischen Biegewandlers für effizienten fluidischen Massentransport
Behlert, R. / Gehring, M. / Mehner, H. / Wieland, R. / Schrag, G. | 2017
Low fluidic resistance valves utilizing buckling actuators
Shabanian, Ardavan / Goldschmidtboeing, Frank / Dhananjaya, Chiranjeevi / Bettaswamy Gowda, Hitesh / Baeumker, Eiko / Woias, Peter | 2017
215
Optimierung der Leistungsfähigkeit von elektrothermischen Polymeraktoren
Dörr, R. / Schlaak, H.F. | 2017
219
CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren
Conrad, Holger / Gaudet, Matthieu / Kaiser, Bert / Langa, Sergiu / Stolz, Michael / Schenk, Harald | 2017
223
Hochauflösende Magnetfeld-Positionssensoren zur präzisen Steuerung von Produktionsanlagen
Paul, Johannes / Knoll, Heiko / Sailer, Christof / Glenske, Claudia / Felix-Henningsen, Sönke / Lang, Martin / Zoschke, Kai / Oppermann, Hermann / Theis, Martin / Vetter, Christian et al. | 2017
227
Der multisensorische Werkzeughalter - Intelligente Sensorik mit innovativer Produktionstechnik
Brozio, Matthias / Sauer, Sebastian / Yavuz, Hilmi / Lütgens, Mirko / Salvasohn, Manuel / Berthold, David / Schiek, Christian | 2017
231
Produktfähige autarke und sichere Foliensysteme für Automatisierungslösungen in Industrie 4.0
Saller, S. / Pfeiffer, T. / Kersten, D. / Mahlich, M. / Nagel, C. / Hehn, T. / Mintebeck, D. / Deuble, T. / Rödig, U. / Escobar, A. et al. | 2017
Vertical Nanoslit Arrays for Separating Molecules by Size and Charge
Bassu, Margherita / Holik, Peter / Schmitz, Sam / Steltenkamp, Siegfried / Burg, Thomas P. | 2017
238
3D-Flow-Focusing-Emulgiersystem für die Kristallisation und Konzentrierung von Nanopartikeln pharmazeutischer Wirkstoffe
Lorenz, Thomas / Dietzel, Andreas | 2017
242
Mikroinkubator mit Hydrogelmembranen für die Langzeitkultivierung von Säugetierzellen
Bunge, Frank / Driesch, Sander van den / Vellekoop, Michiel J. | 2017
246
EWOD System für optische Schalter
Günther, Sarah / Endrödy, Csaba / Si, Shuhao / Gropp, Sebastian / Weinberger, Stefan / Claes, Roland / Justo, Yolanda / D'heer, herbert / Thourhout, Dries van / Neft, Anna et al. | 2017
250
Thermischer Massenflusssensor mit Pt-Dünnschicht-Elementen
Hepp, C. / Grob, P. / Kränzlin, N. / Ciesla, T. | 2017
254
Kompakter Wellenlängensensor für Hochgeschwindigkeitsauslese von Faser-Bragg-Gittern
Ortlepp, H.G. / Görlandt, S. / Heinze, C. / Hintz, M. / Mitrenga, D. / Neckermann, K. / Wintzer, A.T. | 2017
Tiny Incident Light Angle Sensor
Mitrenga, Dennis / Schaedel, Martin / Voellmeke, Stefan / Preuss, Klaus-Dieter / Moeller, Ch. | 2017
262
Gedünnte kapazitive Silizium-Drucksensoren in flexiblen und dehnbaren extra weichen Substraten für haptische Messungen. Untersuchungen zur Kompensation der Biegeabhängigkeit des Sensor-Output-Signals
Fischer, Roland / Weichsel, Lisa / Görtz, Michael / Mokwa, Wilfried | 2017
265
Hybride Systeme in Folie (HySiF) mittels Adaptivem Layout und einem Laserdirektschreiber für die Herstellung von Prototypen
Albrecht, M. / Alavi, G. / Hassan, M.U. / Ferwana, S. / Sailer, H. / Harendt, C. / Burghartz, J. | 2017
269
Elektrochemische Pulsstromabscheidung von Kupfer für Si-Durchkontakte in MEMS: Experiment und Simulation
Hofmann, Lutz / Zienert, Andreas / Schuster, Jörg / Schulz, Stefan E. | 2017
BiCMOS Embedded Microfluidic Technology Based on Wafer Bonding Techniques for Biosensor Applications
Inac, Mesut / Wietstruck, Matthias / Goeritz, Alexander / Cetindogan, Barbaros / Baristiran-Kaynak, Canan / Marschmeyer, Steffen / Fraschke, Mirko / Voss, Thomas / Mai, Andreas / Palego, Cristiano et al. | 2017
Miniaturized Actuators in Cooperative Systems for Separation Control
Blechschmidt, Markus / Bauer, Karin | 2017
Optofluidic cuvettes with integrated polymer waveguides for fluid analysis on printed circuit boards
Sergeeva, Ekaterina / Hartwig, Haldor / Hohlfeld, Dennis | 2017
Fabrication Advances for Microfluidic Cryofixation
Fuest, Marie / Nocera, Giovanni M. / Modena, Mario M. / Burg, Thomas P. | 2017
289
Herstellung von Lipidnanopartikeln in einem ultraschallunterstützten multilaminations Mikromischer
BOlze, H. / Riewe, J. / Bunjes, H. / Dietzel, A. / Burg, T.P. | 2017
293
Entwicklung eines geregelten Mikrodosiersystems zur kontrollierten Flüssigkeitsdosierung
Häfner, J. / Bauer, A. / Tian, Y. / Kibler, S. / Richter, M. / Kutter, C. | 2017
297
Mikrofluidisches Zellzählmodul zur Detektion von Pathogenen in Flüssigkeiten: automatisiert, integrierbar und robust
Alebrand, Sabine / Spang, Peter / Welzel, Knut / Wittek, Jörn / Tracksdorf, Martin / Dethling, Dennis / Schwind, Carmen / Oster, Cornelius / Bassler, Michael | 2017
301
Herstellung neuartiger Mikrostrukturen für MEMS-Anwendungen durch Pulververfestigung mittels ALD
Chemnitz, S. / Reimer, T. / Lisec, T. | 2017
305
Ultrakurzpuls-Laserprozesse für die Biosensor-Fertigung
Hecht, L. / Rager, K. / Starke, G. / Dietzel, A. | 2017
309
Funktionalisierte 3D-Keramikkomponenten durch Kombination von Mehrlagenkeramik und Keramikspritzguss
Ziesche, Steffen / Lenz, Christian / Müller-Köhn, Axel | 2017
313
Mikrofluidische Galvanik zur Herstellung magnetoresistiver Schichten
Rechel, M. / Tapimthong, P. / Arndt, M. / Wurz, M.C. | 2017
317
Selbstjustierendes Wachstum von 3D Nanobrückenverbindungen
Schlag, Leslie / Reiprich, Johannes / Stauden, Thomas / Pezoldt, Jörg / Ispas, Adriana / Bund, Andreas / Schaaf, Peter / Jacobs, Heiko O. | 2017
321
Neues Materialsystem zum Fügen von Wafern und Bauelementen mit integrierten reaktiven Multilagensystemen
Vogel, Klaus / Hertel, Silvia / Roscher, Frank / Zimmermann, Sven / Wiemer, Maik | 2017
325
Reaktive Nanoschichten - ein innovatives Fügekonzept für die AVT auf Bauteil- und Waferlevel
Dietrich, G. / Schumacher, A. / Freitag, J. | 2017
329
200 mm Silizium Wafer mit vergrabenen 3D-Ätzstoppschichten für flexible Via-Middle TSVs in CMOS/BiCMOS Technologien
Wietstruck, M. / Marschmeyer, S. / Voß, T. / Inac, M. / Lisker, M. / Krüger, A. / Wolansky, D. / Kulse, P. / Schulz, K. / Katzer, J. et al. | 2017
333
Zwei verschiedene Kaverneninnendrücke auf einem MEMS-Wafer durch gestaffeltes Bonden mit modifizierten Germaniumbondrahmen
Winker, Marlene / Hausner, Ralf / Guber, Andreas E. | 2017
337
Design und Demonstration eines integrierten photonischen Glasinter-posers für Mid-Board-Optical Engines
Neitz, M. / Wöhrmann, M. / Zhang, R. / Fikry, M. / Marx, S. / Schröder, H. | 2017
340
Hochporöses Platin auf Kohlenstoffnanofasern als neue Anode für die implantierbare Glukosebrennstoffzelle: Nachweis der Funktionalität in Blutserum über 30 Tage
Frei, M. / Erben, J. / Martin, J. / Zengerle, R. / Kerzenmacher, S. | 2017
344
Integration von Piezoelektrika in Multilayer-Leiterplatten. Eine Machbarkeitsstudie
Stogel, A. / Zeh, T. / Goldschmidtböing, F. / Woias, P. / Huesgen, T. | 2017
348
Passiver mechanischer 2-Bit Zähler zur Erfassung und Speicherung von Grenzwertüberschreitungen
Mehner, Hannes / Schmitt, Philip / Hoffmann, Martin | 2017
352
Adaptive Linse mit energieeffizienter Treiberelektronik
Hehn, T. / Stürmer, M. / Merz, J. / Mintenbeck, D. / Wallrabe, U. / Manoli, Y. | 2017
356
Neue druckbare Polymere für die Mikrooptik
Honnef, Kirsten / Bollgruen, Patrick / Hanemann, Thomas | 2017
363
Entwicklung und Charakterisierung von InkJet gedruckten optischen Streuschichten
Eiselt, Thomas / Preinfalk, Jan / Gomard, Guillaume / Graf, Dennis / Lemmer, Uli / Hanemann, Thomas | 2017
367
Entwicklung hochgefüllter Filamente für die additive Fertigung von keramischen und metallischen Bauteilen
Nötzel, Dorit / Hanemann, Thomas | 2017
Polymer-ceramic-composites for 3D inkjet printing
Graf, Dennis / Bermejo, Ana / Martinez, Luis / Gleissner, Uwe / Megnin, Christof / Eiselt, Thomas / Mauck, Markus / Hanemann, Thomas | 2017
375
Galvanisch aus 3D-Fotolack-Strukturen abgeformte metallische 3D-Freiformen
Lima, Frederico / Tungal, Alok / Khazi, Isman / Mescheder, U. | 2017
379
Projekt RoMulus: Multi-Sensorische Anwendungen zur Zustandsüberwachung in industriellen Anwendungen
Markweg, Eric / Greiner, Jens / Kowallik, Thomas | 2017
382
Multilyzer - Mikrofluidisches Echtzeitmesssystem für die Analyse umweltrelevanter Substanzen
Blahnikova, B. / Müller, D. / Waas, M. / Lechner, A. | 2017
386
Photoakustische Spurengasanalytik von NO2 im ppt-Bereich (10-12) bei Verwendung kostengünstiger Einzelkomponenten
Rück, T. / Laepple, I. / Bierl, R. | 2017
Resonance Frequency Tuning and Process Design of a Micromechanical Capacitive Cantilever in a Photoacoustic Trace-Gas Sensing Device
Zhou, Qi / Landgraf, Ferdinand / Rueck, Thomas / Bierl, Rudolf | 2017
Relative Humidity Sensors for System-in-Foil Applications
Elsobky, Mourad / Albrecht, Bjoern / Ganter, Pirmin / Szendrei, Katalin / Deuble, Thomas / Harendt, Christine / Lotsch, Bettina / Burghartz, Joachim N. | 2017
398
Miniaturisierter plasmonischer Sensor für das Monitoring von Weichmacher
Fischer, J. / Genslein, C. / Hausler, P. / Kirchner, E.M. / Roth, C. / Hirsch, T. / Bierl, R. | 2017
Design of a thermoelectric generator for electrical active implants
Jadhav, Onkar Sandip / Yuan, Cheng Dong / Hohlfeld, Dennis / Bechtold, Tamara | 2017
Thin film encapsulations for medical applications
Selbmann, Franz / Saeidi, Nooshin / Mohandas, Prahlad / Baum, Mario / Wiemer, Maik / Joseph, Yvonne / Otto, Thomas | 2017
Implantable Wireless Ultra-low Power Data Logger for Temperature Measurements in Animal Brains
Heller, Simon / Allinger, Kim / Pelz, Uwe / Woias, Peter | 2017
414
Zuverlässige, langzeitstabile Systeme für die Optogenetik
Rudmann, L. / Fiedler, E. / Alt, M.T. / Huber, S.D. / Mittnacht, A. / Ordonez, J.S. / Stieglitz, T. | 2017
418
Fertigungsstrategien zur funktionserhaltenden und biokompatiblen Integration von IoT-Bauteilen in medizinisch relevante Kunststoffe
Werner, V. / Müller, T. / Qi, X. / Zeppenfeld, M. / Eblenkamp, M. | 2017
422
Integriertes System zur simultanen Detektion von Krankenhauskeimen und deren Antibiotikaresistenzen auf Einzelzellebene
Borst, N. / Specht, M. / Schulz, M. / Paust, N. / Li, J. / Wadle, S. / Götz, U. / Held-Föhn, E. / Heiß, A. / Hausladen, F. et al. | 2017
426
Herstellung von mikrostrukturierten Abutments zur Optimierung von Zahnimplantatsystemen
Doll, P. / Rajabi, T. / Ahrens, R. / Spindler, B. / Guber, A. | 2017
429
Silizium Einbett-Technologie mittels Wafer Level Packaging für GaN Leistungselektronik-Bauteile
Manier, C.A. / Gernhardt, R. / Zoschke, K. / Moens, P. / Oppermann, H. / Lang, K.D. | 2017
433
Innovatives hermetisches Packaging-Konzept für Laserdioden auf Waferebene
Stenchly, V. / Reinert, W. / Quenzer, H.J. | 2017
437
Bleifreier Lotstapel für fluidische Selbstmontage von Siliziumchips
Mozafari, M. / Biswas, S. / Stauden, T. / Schmidt, U. / Bund, A. / Jacobs, H.O. | 2017
440
Automatisierte Montage von Dehnungsmessstreifen auf nicht ebenen 3D-Flächen
Sauer, Sebastian / Krumar, Arun / Brozio, Matthias / Schick, Christian / Yavuz, Hilmi | 2017
444
Verbindungstechnologien zur Herstellung hochpixelierter LED-Lichtquellen
Brink, Morten / Oppermann, Herrmann / Lang, Klaus-Dieter | 2017
448
Heterogene Integration einer Miniatur-Solarzelle für autarke Sensoren
Krauser, Christopher / Stühlmeyer, Martin / Figge, Martin / Goehlich, Andreas / Kappert, Holger | 2017
Development and performance analysis of an energy-autonomous VHF-beacon for animal-tracking
Baeumker, Eiko / Schuele, Florian / Woias, Peter | 2017
Frequency tunable piezoelectric energy harvester with segmented electrodes for improved power generation
Bouhedma, Sofiane / Hohlfeld, Dennis | 2017
Rotary Capacitor Measurement Setup for Evaluating the Internal Biasing of Electrostatic Energy Harvesters
Ciba, Stefan / Frey, Alexander / Kuehne, Ingo | 2017
464
Ladezeitverkürzung von Batterien durch Nanostrukturierung der Elektrodenoberflächen
Wick, K. / Schlaak, H.F. | 2017
468
Elektro-optische Charakterisierung von Ferninfrarot-Bildaufnehmern mittels Bauelementetest in der Serienproduktion
Goller, D. / Makhlouf, M. / Utz, A. / Gendrisch, L. / Kolnsberg, S. / Vogt, F. / Weiler, D. / Vogt, H. | 2017
472
MEMS-basiertes Tensiometer zur Messung der Oberflächenspannung
Goj, Boris / Bohm, Sebastian / Dittrich, Lars / Dressler, Lothar / Kühnel, Michael / Fröhlich, Thomas / Hoffmann, Martin | 2017
476
Modellierung des Kontaktverhaltens oszillierender Mikrotastsysteme
Bohm, Sebastian / Goj, Boris / Dittrich, Lars / Dressler, Lothar / Hoffmann, Martin | 2017
480
Beiträge zur In-Situ Sensorik für die Inspektion von Kontaktstellen an Leistungshalbleitern
Schaulin, M. / Junker, S. / Oppermann, M. / Norkus, V. / Zerna, T. | 2017
484
Entwicklung und Aufbau eines Tribometers zur anwendungsnahen Charakterisierung von Reibschichten für eine Positionssensorik
Vetter, C. / Braun, F.J. / Knoll, H. / Mutuyimana, J.P. / Sailer, C. / Theis, M. / Saumer, M. | 2017
488
Charakterisierung der Zuverlässigkeit in der High-k Metal Gate Technologie
Drescher, Maximilian / Erben, Elke / Grass, Carsten / Trentzsch, Martin / Lazarevic, Florian / Leitsmann, Roman / Plänitz, Philipp / Mchelidze, Teimuraz / Seidel, Konrad / Liske, Romy et al. | 2017
Multi-window Transmission Electron Microscopy liquid cell to improve imaging performance
Venegas-Rojas, Deybith / Keskin, Sercan / Azim, Sana / Manz, Stephanie / Miller, R. J. Dwayne / Trieu, Hoc Khiem | 2017
496
Miniaturroboter für die Rohranalyse
Megnin, Christof / Schillinger, Daniel / Lappe, Karl / Grandauer, Christoph / Hoffmann, Konstantin / Leiting, Ann-Katrin / Mahler, Jan / Manoli, Yiannos / Hanemann, Thomas | 2017
3D micro-machined inductive suspensions with the lowest energy consumption
Poletkin, Kirill / Lu, Z. / Moazenzadeh, Ali / Korvink, Jan Gerrit / Wallrabe, Ulrike / Badilita, Vlad | 2017
503
Mikropfeifen für selbständiges Wohnen im Alter
Beckmann, Felix / Sackmann, Johannes / Schomburg, Werner Karl | 2017
507
Optische Greifkraftsensorik aus SU-8 für Mikrogreifer
Gursky, B. / Garces-Schröder, M. / Leester-Schädel, M. / Böl, M. / Dietzel, A. | 2017
511
Folienbasierte Mikroaktoren aus Formgedächtnislegierungen
Megnin, Christof / Wu, Songxiang / Ossmer, Hinnerk / Gueltig, Marcel / Wessendorf, Christoph / Kohl, Manfred | 2017
515
Mikroaktorik für ein Taktiles Display
Fischer, Eike / Glukhovskoy, Anatoly / Schmelt, Andreas / Twiefel, Jens / Wurz, Marc Christopher | 2017
519
Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutter
Pyatishev, E. / Wurz, M. / Enns, Y. / Glukhovskoy, A. / Fischer, E. / Odintsov, A. / Kleimanov, R. | 2017
The LabCard – A new approach for centrifugal assay automation
Rombach, Markus / Keller, M. / Paust, Nils / Stetten, Felix von / Mark, D. / Zengerle, Roland / Karle, M. | 2017
526
Herstellung eines optofluidischen Chips zur hydrodynamischen Immobilisierung und Detektion von Bakterien
Busche, Jan F. / Jürgens, Foelke / Bassu, Margherita / Burg, Thomas P. / Dietzel, Andreas | 2017
Automated particle based C-reactive protein immunoassay with ondisk pre-stored reagents and centrifugo-pneumatic liquid control
Zhao, Yunpeng / Klein, Vanessa / Mitsakakis, Konstantinos / Czilwik, Gregor / Zengerle, Roland / Paust, Nils | 2017
533
Charakterisierung und Manipulation magnetischer Nanofluide im externen Magnetfeld
Fusenig, J. / Roth, T. / Feili, D. / Baltes, M. / Deuster, S. / Hupe, H. / Günday-Türeli, N. / Schneider, M. | 2017
537
Automatisiertes mikrofluidisches System zur Hochdurchsatz DNA-Ligation
Sanchez, D. / Gerber, V. / Rastegar, S. / Ahrens, R. / Strähle, U. / Gruber, A.E. | 2017
540
Untersuchung von dreidimensionalen Nanoelektroden für die intrazelluläre Kontaktierung auf integrierten Schaltungen
Allani, S. / Jupe, A. / Figge, M. / Goehlich, A. / Kappert, H. / Vogt, H. | 2017
544
Integrationstechnik für ZnO-Nanopartikeldünnschichttransistoren
Reker, Julia / Meyers, Thorsten / Vidor, Fabio F. / Hilleringmann, Ulrich | 2017
548
Nanostrukturierte Beugungsgitter für integrierte Metrologie
Bichra, M. / Müller, L. / Fesser, P. / Hoffmann, M. / Sinzinger, S. | 2017
552
Mikromechanische Testplattform zur In-Situ-Charakterisierung nanostrukturierter Funktionsbauteile
Fechner, Randy / Kohl, Manfred | 2017
556
Modellierung axial verspannter CNT-Transistoren für Sensoren
Wagner, Christian / Schuster, Jörg | 2017
Magnetoinductive waves for wireless power transfer: challenges and solutions
Sandoval, Fralett Suarez / Moazenzadeh, Ali / Wallrabe, Ulrike | 2017
564
ASIC zur Ansteuerung und Signalerfassung eines CMUT
Pietzsch, M. / Weder, A. / Heinig, A. / Amelung, J. / Koch, S. / Kicher, M. | 2017
An integrated electronic circuit for decentralized monitoring of Lithium-ion battery cells
Saidani, Fida / Hutter, Franz X. / Selinger, Wilhelm / Roessler, Stefan / Braunwarth, Wolfgang / Burghartz, Joachim | 2017
570
Ein Aufwärtswandler mit 96,7% Effizienz und einem Ruhestrom von 420 nA für Energy Harvesting Anwendungen
Schillinger, D. / Manoli, Y. | 2017
574
Autonomer Temperatur-Zeit-Integrator
Schmitt, P. / Wedrich, K. / Hoffmann, M. | 2017
578
Lokalisierter Transport von Schwebstoffen zu programmierbaren, mikroskopischen Sensorpunkten durch Korona-Entladung
Reiprich, J. / Fang, J. / Park, S.C. / Schlag, L. / Stauden, T. / Pezoldt, J. / Jacobs, H.O. | 2017
582
Design, Herstellung und Charakterisierung von hochpräzisen Beschleunigungssensoren, gefertigt mittels HARMS Technologie und integrierter Elektrodenabstandsverringerung
Arnold, B. / Meinecke, C. / Reuter, D. / Otto, T. / Mehner, J. | 2017
586
Flexibles magnetisches Lese-/Schreibsystem: Einfluss von Wärme auf das Datenbit
Taptimthong, P. / Wurz, M.C. | 2017
Investigation of boiling phenomena in microchannels using impedance spectroscopy technique correlated with videography
Talebi, Mohammadmahdi / Cobry, Keith / Zhou, Zhonglei / Sadir, Sahba / Dittmeyer, Roland / Woias, Peter | 2017
594
MEMS-basiertes Schallemissionssensorsystem für die Zustandsüberwachung
Berner, T. / Schulze, R. / Shaporin, A. / Forke, R. / Otto, T. | 2017
598
Zuverlässigkeit von Silizium-Dehnmessstreifen für Anwendungen bis 300 °C
Frank, T. / Grün, A. / Jagomast, S. / Täschner, R. / Vazquez, P. / Ortlepp, Z. | 2017
602
Hochgenaue kalibrationsfreie Temperaturdioden für den Temperaturbereich von 3K bis 500K
Tobehn-Steinhäuser, Ingo / Blech, Michael / Ortlepp, Thomas | 2017
606
Langzeitstabilität von Flip-Chip-Absolutdrucksensoren mit TSV's
Täschner, R. / Jagomast, S. / Cyriax, A. / Völlmeke, S. | 2017
610
Kompakte Faserankopplung für einen extrem kleinen Einzelphotonendetektor
Möller, C. / Neckermann, K. / Ortlepp, T. | 2017
612
Flying Dies im Fan-Out Wafer Level Package
Raatz, S. / Braun, T. / Becker, K.F. / Bauer, J. / Hölck, O. / Kahle, R. / Bader, V. / Thomas, T. / Voges, S. / Dreissigacker, M. et al. | 2017
616
Herstellung von LED-Beleuchtungsmodulen mittels innovativer Flip-Chip Technologie
Goullon, L. / Hutter, M. / Schneider-Ramelow, M. | 2017
620
Mikrostrukturelle Veränderungen in Gold-Zinn- und Kupfer-Zinn-Bumps nach Wärmebehandlung bei bis zu 300 °C
Schmeiser, Felix / Weber, Constanze / Goullon, Lena / Hutter, Matthias / Lang, Klaus-Dieter | 2017
624
Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten
Beringer, S. / Dinulovic, D. / Bengsch, S. / Haug, M. / Wurz, M.C. | 2017
628
Prozess zum Transfer und zur Einbettung von kleinen Dies in ein flexibles Foliensystem bei niedrigen Temperaturen
Heid, Andreas / Scheuble, Lukas / Metzen, Rene von / Bucher, Volker | 2017
632
Dünnglas-basierter Aufbau von elektrisch-optischen Hybrid-Systemen
Böttger, Gunnar / Weber, Daniel / Schröder, Henning / Schneider-Ramelow, Martin | 2017
Development of an Extended Gate Field Effect Transistor (EGFET) based low-cost pH-sensor
Mokhtarifar, Naser / Goldschmidtboeing, Frank / Woias, Peter | 2017
638
Interdigitaltransducer als Oberflächenwellen-basierter Impedanzsensor
Nguyen, V.H. / Kaulen, C. / Simon, U. / Schnakenberg, U. | 2017
A replaceable bioreactor array for monitoring mold spore contamination in archives
Vinayaka, Poornachandra Papireddy / Blank, Roland / Frodl, Mathias / Tahir, Muhammad Waseem / Zaidi, Nayyer Abbas / Oellers, Martin / Driesche, Sander van den / Lang, Walter / Vellekoop, Michael J. | 2017
645
Mikro-Opto-Elektro-Mechanisches Sensorsystem zur Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie
Hausler, Peter / Genslein, Christa / Roth, Carina / Hirsch, Thomas / Bierl, Rudolf | 2017
648
In situ Messung der Konzentrationsverteilung von H2, O2, und H2O2 in Mikroreaktoren für die H2O2-Direktsynthese mit miniaturisierten elektrochemischen Sensoren
Urban, Sebastian / Deschner, Benedikt J. / Weltin, Andreas / Kraut, Manfred / Dittmeyer, Roland / Urban, Gerald A. | 2017
652
"Smart Apple" - Wireless Smart Sensor System
Mayer, Christoph / Krivec, Matic / Leitner, Raimund / Maier, Dieter / Waldner, Roland | 2017
655
Label-freie bildgebende Echtzeitdetektion von Molekül-Molekül-Interaktionen auf Mikroarrays
Burger, J. / Meyer, P. / Woehrle, J. / Rath, C. / Herz, T. / Kilb, N. / Kraemer, S. / Proll, G. / Roth, G. | 2017
658
Portable photoakustische Messeinheit zur NO2 Detektion im Spurengasbereich
Gaida, P. / Weigl, S. / Gaßner, S. / Rück, T. / Bierl, R. | 2017
662
Fluor-basiertes Plasmatiefenätzen von Zerodur für mikrotechnische Anwendungen
Weigel, Christoph / Hoffmann, Martin | 2017
666
Galvanische Abscheidung von Aluminium für die Mikrosystem- und Leiterplattentechnik
Hertel, Silvia / Wünsch, Dirk / Wiemer, Maik / Otto, Thomas | 2017
670
3-dimensionale Mehrlagenkeramik-Module
Kloska, Manja / Bartsch, Heike / Müller, Jens / Zeilmann, Christian / Haas, Thomas | 2017
High Intensity UV-LED Mask Aligner for Applications in Industrial Research
Schindler, Katrin / Leischner, Ulrich / Lopper, Christina / Striebel, Thomas / Kaiser, Paul / Schoembs, Ulrike | 2017
High aspect ratio silver nanowires for flexible conductive networks with high optical transparency as electrodes for mechanical actuators
Schierle, Stefan / Woias, Peter / Goldschmidtboeing, Frank | 2017
680
Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensor-direktabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage
Klaas, Daniel / Pehrs, Florian / Wurz, Marc Christopher | 2017
684
Verkleinerung periodischer Nanostrukturen für NIL-Master mit einstellbaren Strukturdimensionen
Si, S. / Dittrich, L. / Weigel, C. / Hoffmann, M. | 2017
688
Analyse und Optimierung des ECDM Prozesses von Gläsern
Müller, Claas / Pauls, Lars | 2017
3D Structuring of Silicon using Grayscale Technology
Muthiah, Uma / Khazi, Isman / Mescheder, Ulrich | 2017
696
Ultrakurzpulslaserfertigung von Mikroantrieben aus Formgedächtnislegierungen
Garces-Schröder, Mayra / Leester-Schädel, Monika / Gursky, Benjamin / Böl, Markus / Dietzel, Andreas | 2017
700
Herstellung keramischer Mikroreaktoren im Spritzgussverfahren
Medesi, A. / Nötzel, D. / Pursche, K. / Hanemann, T. / Schlehahn, S. / Türk, M. | 2017
704
Silicium-Keramik-Verbundsubstrat für einen HF-MEMS Oszillator
Gropp, Sebastian / Stegner, Johannes / Stehr, Uwe / Fischer, Michael / Müller, Jens / Hein, Matthias / Hoffmann, Martin | 2017
708
Mikrozerspanung als maskenlose Alternative zu reinraumgebundenen Mikrofertigungsverfahren im Forschungsbetrieb
Stopp, Michael / Klär, Patrick | 2017
712
MEMS-basierter Elektrospray-Chip zur Materialabscheidung
Pagel, N. / Feili, D. / Bauer, K. / Seidel, H. | 2017
716
fs-Laser induzierte Ätzstrukturen in Foturan© für hoch parallelisierte Mikroreaktoren
Meinen, Sven / Frey, Lasse / Krull, Rainer / Dietzel, Andreas | 2017
720
Prozessentwicklung für das Mikropulverspritzgießen kurzfaserverstärkter Oxid-Oxid-Komposite
Tülümen, Hasan Metin / Ehreiser, Benjamin / Hanemann, Thomas / Hoffmann, Michael J. / Oberacker, Rainer / Piotter, Volker | 2017
724
2D-Materialien basierende MEMS
Wagner, Stefan / Kataria, Satender / Lemme, Max C. | 2017
727
Analytische Modellierung von kreisförmigen, bistabilen Membranen mit unterschiedlichen, geometrischen Abmessungen
Dorfmeister, M. / Pfister, R. / Scheider, M. / Schmid, U. | 2017
731
Strömungsbeeinflussung durch stehende akustische Wellen und Umsetzung mittels mikrotechnischer Ultraschall-Arrays
Kiefer, C. / Gillo, D. / Bauer, K. / Feili, D. / Seidel, H. | 2017
735
Kapazitive mikromechanische Ultraschallsysteme (CMUT) für die zerstörungsfreie Prüfung und Überwachung
Koch, Sandro G. | 2017
Modeling Shear Stress and Oxygen Concentration for Optimization of Micropillars Microbioreactors
Venegas-Rojas, Deybith / Budde, Jens / Noerz, Dominik / Juecker, Manfred / Trieu, Hoc Khiem | 2017
Motion analyzer for characterization of micro actuators with movements in 3 degrees of freedom
Nakic, Christian / Schlaak, Helmut F. | 2017
747
Sprayganik - Spraytool für organische Halbleiter
Betz, M.A. / Lechner, A. | 2017
751
Schlauchbasierte Einwegpumpen und -ventile für mikrofluidische Anwendungen
Loth, Andreas / Förster, Ralf | 2017
755
Fabrikation und Analyse von deterministic lateral displacement (DLD) - Systemen zur Patikelsortierung bei Re>1
Kottmeier, Jonathan / Kwade, Arno / Dietzel, Andreas | 2017
759
Fertigung von modularen mikrofluidischen Bioreaktoren zur Synthese von pflanzlichen Sekundärmetaboliten
Finkbeiner, T. / Ahrens, R. / Maisch, J. / Raorane, M.L. / Manz, C. / Ullisch, D.A. / Lenke, J. / Gorr, G. / Nick, P. / Guber, A.E. | 2017
762
Keramische Mikro-Plasmaquelle für die selektive Behandlung von Zellkulturen
Fischer, Michael / Naber, Ady / Stubenrauch, Mike / Gutzeit, Nam / Klett, Maren / Schober, Andreas / Witte, Hartmut / Müller, Jens | 2017
766
Mikrofluidischer Chip zur in vitro-Diagnostik von Infektionskrankheiten
Rajabi, T. / Melzer, H. / Aalami, M. / Böse, G. / Ahrens, R. / Guber, A. | 2017
770
Modellierung einer siliziumbasierten Membran für die Brennstoffzellen-Anwendung
Sun, Shen-Huei / Obertun, Konstantin / Letzkus, Florian / Dura, Georg | 2017
774
Gewitter im Chip - Resistive Speicher für low-power Anwendungen
Seidel, Konrad / Riedel, Stefan / Mamathamba, K.M. / Polakowski, Patrick / Müller, Johannes | 2017
777
Piezoresistive Eigenschaften p- und n-dotierter polykristalliner Siliziumschichten
Blech, M. / Karolewski, D. / Täschner, R. / Übensee, H. / Brokmann, G. / Ortlepp, T. | 2017
Organic Thin-Film Transistors for AMOLED Applications
Meyers, Thorsten / Vollbrecht, Joachim / Vidor, Fabio / Reker, Julia / Kitzerow, Heinz-Siegfried / Hilleringmann, Ulrich | 2017
785
Integration von "bottom-up"-gewachsenen Silizium-Nanodrähten in Rastersonden für "lab-on-a-tip"-Sensorik
Roos, M.M. / Behroudj, A. / Nilsen, M. / Strehle, S. | 2017
Thermal noise in ideal micro-machined levitated gyroscope
Poletkin, Kirill | 2017
793
Optimierung industrieller Mikrosysteme mit Hilfe maßgeschneiderter Modelle: Systemsimulation eines Silizium-Mikrophons
Schrag, G. / Künzig, T. / Wachutka, G. | 2017
797
Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission
Bieker, J. / Roustaie, F. / Langer, C. / Schreiner, R. / Schlaak, H.F. | 2017
Integration of MEMS models in simulations on electronic system level
Blochmann, Tino / Gerth, Stephan / Schneider, Peter | 2017
805
Robuste adaptive Linsen mit Silikon- und Glasmembranen
Stürmer, Moritz / Wapler, Matthias C. / Wallrabe, Ulrike | 2017
809
Adaptive Spiegel mit asphärischer Korrektur für Miniatur- Spiegellinsenobjektive mit langer Brennweite
Wapler, M.C. / Lemke, F. / Alia, G. / Wallrabe, U. | 2017
813
Integrierte Multispektralsensoren in CMOS-Technologie
Junger, Stephan / Verwaal, Nanko / Nestler, Rico / Gäbler, Daniel | 2017
816
Zweifarbige Optrode basierend auf ungehäusten Laserdioden und hybridpolymeren Wellenleitern für optogenetische Anwendungen
Schwaerzle, Michael / Ringwald, Patrick / Paul, Oliver / Ruther, Patrick | 2017
820
Miniaturisierte Anregungsquelle für die Fluoreszenzlebensdauermessung
Möller, C. / Winzer, A.T. / Ortlepp, H.G. / Heinze, C. / Ortlepp, T. | 2017
822
Extrem miniaturisierter optischer Drehwinkelsensor
Seybold, J. / Bülau, A. / Zimmermann, A. / Frank, A. / Scherjon, C. / Burghartz, J. | 2017
824
Innovatives nanoskalares Metallschichtsystem trifft wärmesensible Laserdiode oder von der Anwendung einer reaktiven Raum-Temperatur-Verbindungstechnologie am Beispiel einer miniaturisierten optischen Baugruppe
Freitag, Jan / Käpplinger, Indira / Vogel, Klaus | 2017
828
Integration von SMD-LEDs in elektrisch-optische Leiterplatten für Sensoranwendungen
Schmidt, Jendrik / Sergeeva, Ekaterina / Hartwig, Haldor / Hohlfeld, Dennis | 2017
832
Mikrotechnisch hergestellte Strahlteileraufnahme zur Verwendung in einem optischen Gyroskop
Leber, Ingmar / Niesel, Thalke / Werner, Chrsitian / Yu, Liang / Flügge, Jens / Dietzel, Andreas | 2017
836
Schmalbandige photonische Kristalle für Multispektral-Analyse
Kovacs, A. / Ivanov, A. / Mescheder, U. | 2017
840
Robuster Vibrationssensor zur Zustandsüberwachung an Schienenfahrzeugen
Pleul, Michael / Meinecke, Christoph / Streit, Petra / Albers, Jonas / Kürschner, Rene / Schubert, Eric / Reuter, Danny / Otto, Thomas | 2017
844
Faseroptisches Sensorarray aus PDMS zur Ermittlung lokaler Druckbelastung beim Coiling intrakranieller Aneurysmen
Khatouni, S. Shojaei / Kaiser, K. / Trieu, H.K. | 2017
848
Einbindung eines 2D-Photodetektors in einen hochintegrierten SPR-Imaging-Sensor
Roth, C. / Hausler, P. / Bierl, R. | 2017
851
Entwicklung elektrochemisch abgeschiedener, hartmagnetischer Maßstäbe aus einer Kobaltlegierung für eine lineare Positionssensorik
Theis, M. / Boecker, A. / Sailer, C. / Sickart, R. / Vetter, C. / Saumer, M. | 2017
A New Approach for In-Line Heat Chuck Temperature Measurement Based on SAW Technology
Lenzhofer, Martin / Stocksreiter, Wolfgang / Szirch, Stefan | 2017
858
Prozess- und Zustandsüberwachung von Leichtbaustrukturen durch Sensorintegration
Rost, F. / Arnold, B. / Decker, R. / Mehner, J. / Kroll, L. / Rzepka, S. / Otto, T. | 2017

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