Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter Kinematik (Deutsch)
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In:
Mikrosystemtechnik Kongress, 2005
;
387-391
;
2005
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ISBN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter Kinematik
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Weitere Titelangaben:Novel scalable mikro-positioning systems with integrated kinematic
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Beteiligte:
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Erschienen in:Mikrosystemtechnik Kongress, 2005 ; 387-391
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Verlag:
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Erscheinungsort:Berlin, Offenbach
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Erscheinungsdatum:2005
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Format / Umfang:5 Seiten, 9 Bilder, 4 Quellen
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ISBN:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Deutsch
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Schlagwörter:
-
Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis Konferenzband
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Aufbau und Hermetisierung einer ultraflachen aufladbaren MikrobatterieMarquardt, Krystan / Hahn, Robert / Luger, Thomas / Reichl, Herbert et al. | 2005
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Kontaktierung von Mikrobauelementen auf partiell leitfähigen textilen StrukturenGimpel, Sabine / Linz, Torsten et al. | 2005
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Integrierte CMOS Sensorsysteme für biochemische AnalysenPaulus, Christian / Frey, Alexander / Schienle, Meinrad / Augustnyak, Marcin / Eckstein, Gerald et al. | 2005
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Fabrication and properties of sub-micro meter spaced nano-porous electrode systems for application to highly sensitive biosensorsMüller, Ulrich / Kentsch, Jörg / Nisch, Wilfried / Neugebauer, Sebastian / Schuhmann, Wolfgang / Linke, Stephan / Kaczor, Markus / Lohmüller, Theo / Spatz, Joachim / Stelzle, Martin et al. | 2005
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Interferometric sensor platform for biomolecular interaction analysisHradetzky, David / Müller, Claas / Reinecke, Holger et al. | 2005
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Analysis of microelectrode-signals in the peripheral nervous system, in-vivo and post-processingKrueger, T.B. / Reischl, M. / Lago, N. / Burmeister, O. / Mikut, R. / Ruff, R. / Hoffmann, K.P. / Navarro, X. / Stieglitz, T. et al. | 2005
- 77
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Three-axial silicon force sensor for dimensional metrology of micro componentsRuther, P. / Bartholomeyczik, J. / Dominicus, W. / Paul, O. / Roth, O. / Seitz, K. / Strauss, W. / Trautmann, A. / Wandt, M. et al. | 2005
- 81
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Modelling and investigation of the temperature drift of tactile piezoresistive silicon force- and deflection nanosensorsNesterov, Vladimir / Doering, Lutz / Brand, Uwe / Peiner, Erwin et al. | 2005
- 85
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Mikromechanischer Kreisel für die LuftfahrtGeiger, Wolfram / Breng, Uwe / Deppe-Reibold, Olaf / Fuchs, Werner / Gutmann, Walter / Hafen, Martin / Handrich, Eberhard / Huber, Marcel / Kaufmann, Matthias / Kunz, Jürgen et al. | 2005
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Maßgeschneiderte Oberflächen für die MikrosystemtechnikJeyaprakash, J.D. / Samuel, S. / Freidank, D. / Neumann, T. / Klapproth, H. / Dahme, G. / Moschallski, M. / Mädge, D. / Toomey, R. / Park, I.J. et al. | 2005
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Innenbehandlung und -beschichtung von gedeckelten mikrofluidischen SystemenEichler, M. / Hacker, J. / Thomas, M. / Klages, C.P. et al. | 2005
- 111
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Auf Waferebene integrierter Plasmareaktor für den AtmosphärendruckbereichSichler, K.H. / Baars-Hibbe, P. / Lucas, L. / Schrader, N. / Büttgenbach, C. / Gericke, S. et al. | 2005
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Ortsselektive Atmosphärendruck-Plasmavorbehandlung für das Direkt-Wafer-Bonden bei niedrigen TemperaturenEichler, M. / Thomas, M. / Mewes, H. / Klages, C.P. et al. | 2005
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Verschleißarme Beschichtungen für MikroaktorenKüster, Rolf / Bandorf, Ralf / Lüthje, Holger / Bräuer, Günter / Gatzen, Hans-Heinrich / Neumeister, Claudia et al. | 2005
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Spritzgießmaschine und Werkzeugtechnik für das Pulverspritzgießen von PräzisionsbauteilenMaetzig, Marko / Walcher, Hartmut / Pannhorst, Johann / Grieb, Walter et al. | 2005
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Simulation des Pulverspritzgießprozesses für ProbekörperHeldele, R. / Müller, K. / Piotter, V. / Rohde, M. / Pannhorst, J. / Ruprecht, R. / Schulz, M. et al. | 2005
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Low temperature adhesive bonding: a novel technology for high-precision fabrication of BioMEMSKentsch, Jörg / Breisch, Stefanie / Stelzle, Martin et al. | 2005
- 167
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Fabrikation und Integration von mechanisch-optischen Strukturen zur Kopplung von VCSELs mit GlasfasernWohlfeld, Denis / Brenner, Karl-Heinz et al. | 2005
- 171
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Multifunktionale 3D-Packages auf Polymerbasis für die MikrosystemtechnikEberhardt, W. / Ahrendt, D. / Keßler, U. / Pein, C. / Schubert, M. / Kück, H. et al. | 2005
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Fügeverfahren für Mikrobauteile auf der Basis von "Black Silicon"Stubenrauch, Mike / Albrecht, Arne / Fischer, Michael / Kremin, Christoph et al. | 2005
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Micro optical devices for light modulation and deflectionSchenk, Harald / Sandner, Thilo / Lakner, Hubert et al. | 2005
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Passive Fabry-Perot-Interferenzdisplays zur einfachen MusterprojektionKnieling, T. / Lang, W. / Benecke, W. et al. | 2005
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Silicon-based tunable optical thin-film filtersHohlfeld, D. / Zappe, H. et al. | 2005
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Mikrooptische Systeme für Bildaufnahmeverfahren - Funktionalität und PrototypingDuparre, Jacques / Bräuer, Andreas / Wippermann, Frank et al. | 2005
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BioMEMS for rapid and sensitive capillary immunoassay in hepatitis serologyRiebeseel, Katja / Enderle, Barbara / Jobst, Gerhard / Urban, Gerald / Moser, Isabella et al. | 2005
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Chip-Thermocycler für die Polymerase Kettenreaktion (PCR)Felbel, Jana / Reichert, Anett / Kielpinski, Mark / Urban, Matthias / Bieber, Ivonne / Henkel, Thomas / Fritzsche, Wolfgang et al. | 2005
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Contactless handling of biological nanoparticles by dielectrophoretic forces - tools and resultsKentsch, Jörg / Geggier, Peter / Gradl, Gabriele / Müller, Torsten / Normann, Andrea / Schnelle, Thomas / Stelzle, Martin et al. | 2005
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Eine neue Generation thermoelektrischer Strömungssensoren optimiert für den Einsatz in FlüssigkeitenBuchner, Rainer / Sosna, Christoph / Benecke, Wolfgang / Lang, Walter et al. | 2005
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Thermische detektierte Taupunktsensoren: Ein neues Verfahren zur Bestimmung von Taupunkt und FeuchteKunze, Michael / Glosch, Hartmut / Billat, Sophie / Ashauer, Matthias et al. | 2005
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Ein inertiales Navigationssystem basierend auf LinearbeschleunigungssensorenPeters, C. / Buhmann, A. / Maurath, D. / Manoli, Y. et al. | 2005
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Compact multi-stress sensitive field effect transistor with eight source/drain contactsDoelle, M. / Bartholomeyczik, J. / Ruther, P. / Paul, O. et al. | 2005
- 241
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Keramikpulverspritzgießen von Präzisionsteilen am Beispiel von FerrulenBeck, Martin / Rund, Dietrich / Müller, Klaus / Ruprecht, Robert / Piotter, Volker / Haußelt, Jürgen et al. | 2005
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Spritzgießen von Präzisionsbauteilen aus Al2O3 - Keramik für die MedizintechnikBitz, G. / Mayer, H. / Yanarsönmez, S. / Heldele, R. / Örlygsson, G. / Ruprecht, R. et al. | 2005
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Metallpulver-Spritzgießen von Präzisionsbauteilen für KleingetriebeBaumgärtner, Frank / Pannhorst, Johann / Ruprecht, Robert / Thürigen, Christian / Paul, Alexander et al. | 2005
- 261
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Biomedizinische Mikrosysteme in Neuroprothesen und Human-Computer-InterfacesStieglitz, Thomas et al. | 2005
- 271
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Mikrosensoren aus metallbeschichteten KunststoffenBenz, D. / Kück, H. / Mayer, V. / Warkentin, D. et al. | 2005
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Die Einsatzmöglichkeiten der UV-Tiefenlithographie bei der Entwicklung von MikrosystemenFeldmann, Marco / Büttgenbach, Stephanus et al. | 2005
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Große, dreidimensionale Mikrostrukturen mittels InterferenzlithographieMick, Jörg / Forberich, Karen / Bläsi, Benedikt / Gombert, Andreas / Reinecke, Holger / Müller, Claas et al. | 2005
- 287
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Development of microsystem technologies for a monolithically integrated programmable Aperture Plates System used in mask less 45 nm e-beam lithography toolsWitt, M. / Eichholz, J. / Ratzmann, L. / Kähler, D. / Brünger, W.H. / Reimer, K. / Döring, H.J. / Haugeneder, E. et al. | 2005
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Ein resonanter 24 kHz Scanner für hoch auflösende LaserdisplaysKurth, Steffen / Kaufmann, Christian / Hahn, Ramon / Mehner, Jan / Dötzel, Wolfram / Gessner, Thomas et al. | 2005
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Batchfertigung von SU8-Mikrogreifern mit FormgedächtnisantriebHoxhold, B. / Büttgenbach, S. et al. | 2005
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Magnetisch schaltbare PolymernanomembranenSchlemmer, Christian / Berchtold, Bernd / Rühe, Jürgen / Santer, Svetlana et al. | 2005
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Charakterisierung eines bistabilen Schalters mit großem Schaltweg und einstellbaren HaltekräftenMescheder, Ulrich / Freudenreich, Markus et al. | 2005
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Smart piezoelectric bending micro actuator -An integrated inductive non-contact proximity sensor to detect tip deflectionBallas, Rüdiger G. / Greiner, Paul F. / Schlaak, Helmut F. et al. | 2005
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Hochtemperatur-Tropfenerzeugung mittels eines elektromagnetischen Drop-on-Demand-SystemsIrlinger, F. / Harnisch, J. et al. | 2005
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Nutzung hochfrequenter wandernder Wellen zur Strömungsinduktion in MikrokanälenFelten, Maika et al. | 2005
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Treibmittel-Vakuumpumpe mit Integrierter Druckmessung in MikrosystemtechnikDoms, Marco / Müller, Jörg et al. | 2005
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Experimentelle Methoden zur Charakterisierung von Mikromischern anhand der Vermischungsleistung und VerweilzeitverteilungSchlüter, Michael / Hoffmann, Marko / Fokken, Jürren / Räbiger, Norbert et al. | 2005
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Zell Monitoring System mit multiparametrischen CMOS Halbleiter MikrosensorchipsBaumann, Werner / Schreiber, Erik / Krause, Guido / Podssun, Angela / Homma, Susanne / Schrott, Rene / Beikirch, Helmut / Ehret, Ralf / Keuer, Andreas / Freund, Ingo et al. | 2005
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Mikro-Heißstanzen - Erzeugung von Durchlochstrukturen in ebenen KunststoffsubstratenRapp, Bastian / Worgull, Matthias / Heckele, Mathias / Guber, Andreas / Herrmann, Dirk et al. | 2005
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Forisomen - Natürliche Fluidikaktuatoren aus PflanzenproteinenJäger, Magnus / Uhlig, Katja / Clausen-Schaumann, Hauke / Geggier, Peter / Duschl, Claus et al. | 2005
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Entwicklung einer magnetischen Führung für MikroaktorenGehrking, Ralf / Ruffert, Christine / Demmig, Sven / Gatzen, Hans-Heinrich / Ponick, Bernd et al. | 2005
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Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter KinematikSchlaak, Helmut F. / Jungnickel, Uwe / Eicher, Dirk et al. | 2005
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Intelligente RFID - mehr als IdentifizierungLang, Walter / Jedermann, R. / Behrens, C. / Sklorz, A. / Benecke, W. / Laur, R. et al. | 2005
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Koplanare elektromagnetische Koppler zur Signalkontaktierung von RF-MEMS Bauelementen bei MikrowellenfrequenzenVoigt, Sebastian / Leidich, Stefan / Kurth, Steffen / Geßner, Thomas / Dötzel, Wolfram et al. | 2005
- 401
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Surface-micromachined capacitive RF switches and varactorsLisec, T. / Huth, C. / Wagner, B. et al. | 2005
- 405
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Micro energy harvesting - a novel supply concept for distributed and embedded microsystemsWoias, Peter et al. | 2005
- 411
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Künstliches Akkommodationssystem auf der Basis von Mikro- und NanotechnologieGengenbach, Ulrich / Guthoff, Rudolf / Bretthauer, Georg et al. | 2005
- 415
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IntelliDrug - Intelligentes Medikamenten-Mikrodosiersystem für den MundraumKohnle, Jörg / Schumacher, Axel / Göttsche, Thorsten / Messner, Stephan / Zengerle, Roland et al. | 2005
- 419
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Design of an implantable active microport system for autonomous time-variant drug releaseGeipel, A. / Doll, A. / Goldschmidtböing, F. / Jantscheff, P. / Esser, N. / Massing, U. / Woias, P. et al. | 2005
- 423
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Packaged Multidimensional Stress Sensing - Towards the Smart orthodontic BracketBartholomeyczik, J. / Haefner, J. / Joos, J. / Lapataki, B. / Schubert, F. / Ruther, P. / Paul, O. et al. | 2005
- 427
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Perforated polyimide microelectrode arrays for single-cell and tissue recordingStett, Alfred / Rudorf, Ralf / Stein, Bernhard / Egert, Ulrich / Boven, Karl-Heinz / Gottschlich, Norbert / Nisch, Wilfried et al. | 2005
- 431
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Perforated microelectrode arrays optimize oxygen availability and signal-to-noise ratio in brain slice recordingsEgert, Ulrich / Okujeni, Samora / Nisch, Wilfried / Boven, Karl-Heinz / Gottschlich, Norbert / Stett, Alfred et al. | 2005
- 435
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3D microfluidic chip for automated patch-clampingvan Stiphout, Peter / Knott, Thomas / Danker, Timm / Stett, Alfred et al. | 2005
- 439
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Erfassung und Analyse von Aktionspotentialen eines neuronalen Mikrosensors unter EchtzeitbedingungenBeikirch, H. / Schrott, R. / Keuer, A. / Bausch, G. / Baumann, W. / Schreiber, E. / Tautorat, C. / Freund, I. / Lehmann, M. et al. | 2005
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Measurement technique for the density, the thickness and Young's modulus of thick polysilicon films using surface acoustic wavesBennis, Abdelali / Lomonosiv, Alexey / Hesse, Peter et al. | 2005
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Charakterisierung der mechanischen Zuverlässigkeit von wafergebondeten MikrosystemenBagdahn, Jörg / Wiemer, Maik et al. | 2005
- 455
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Non-destructive strength characterization of wafer-bonded micromechanical componentsRabold, Martin / Doll, Alexander / Goldschmidtböing, Frank / Woias, Peter et al. | 2005
- 467
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PSM-X2: Polysilicon surface micromachining process platform for vacuum-packaged sensorsMerz, P. / Reinert, W. / Reimer, K. / Wagner, B. et al. | 2005
- 471
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Mikrostrukturierte Formeinsätze aus Epoxidharz für den Spritzguss und das Heißprägen von KunststoffenBrenner, Thilo / Gottschlich, Norbert / Knebel, Günter / Müller, Claas / Reinecke, Holger / Zengerle, Roland / Ducree, Jens et al. | 2005
- 481
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Neue Aufbau- und Fertigungstechniken für Smart LabelKallmayer, Christine et al. | 2005
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Miniaturisierter Sensor zur Bestimmung der Nässe der MundhöhleSteinmetz, O. / Schuck, H. / Scholz, O. / Koch, K.P. / Beiski, B.Z. / Wolff, A. / Velten, T. et al. | 2005
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Eine neue Schließmuskelprothese basierend auf einer Hochleistungs-Silizium-MikropumpeDoll, Alexander / Geipel, Andreas / Heinrichs, Matthias / Goldschmidtböing, Frank / Woias, Peter / Schrag, Hans-Jörg / Hopt, U.T. et al. | 2005
- 501
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Eine neue Generation von Instrumenten für die minimal-invasive TheragnostikDisch, Alexander / Stumm, Ulrich / Förster, Ralf / Gehringer, Andreas / Reinecke, Holger / Müller, Claas et al. | 2005
- 505
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Nano- and Micro-Dialysis BioMEMS for In-Vivo UseEnderle, Barbara / Moser, Isabella / Jobst, Gerhard / Urban, Gerald A. et al. | 2005
- 509
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Gas sensors - From conductance modulation via electrochemistry to potential readout, ceramics vs. siliconFleischer, Maximilian et al. | 2005
- 515
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Floating Gate Field Effect Devices (FGFET) for Gas SensingEisele, I. / Sulima, T. et al. | 2005
- 519
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Versatile charge coupled field effect transistor platform for hybrid gas sensors: Nitrogen dioxide and ammonia detectionOprea, A. / Frerichs, H.P. / Wilbertz, C. / Lehmann, M. / Weimar, U. et al. | 2005
- 523
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Vollständig integrierte Plasma Elektronenquelle für ein MikromassenspektrometerWapelhorst, Eric / Hauschild, Jan-Peter / Müller, Jörg et al. | 2005
- 527
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Steuerbarer CMOS-Metalloxid-GassensorWöllenstein, J. / Bauersfeld, M.L. / Moretton, E. / Frerichs, H.P. / Willbertz, C. / Doll, T. / Lehmann, M. et al. | 2005
- 531
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Wieder entfernbarer Negativresist für die MikrosystemtechnikSchirmer, Matthias et al. | 2005
- 535
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Mikroprägen als Strukturierungsverfahren für LTC-KeramikKallenbach, M. / Bartsch de Torres, H. / Albrecht, A. / Botiov, J. / Hintz, M. et al. | 2005
- 539
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Flexible Herstellung und Charakterisierung von Inertialsensoren basierend auf der AIM-TechnologieLohmann, Christian / Bertz, Andreas / Reuter, Danny / Küchler, Matthias / Geßner, Thomas et al. | 2005
- 543
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Elektrochemische Bearbeitung mit oszillierender Werkzeugelektrode von TitanFörster, Ralf / Sippel, Matthias / Gehringer, Andreas / Reinecke, Holger / Kappmeyer, Gregor / Mielke, Rainer et al. | 2005
- 547
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Spanende Fertigungsverfahren für die Herstellung von MikrostrukturenHoffmeister, H.W. / Hlavac, M. et al. | 2005
- 551
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Neuartiges Konzept der ultraschallunterstützte Reinigung von mikrostrukturierten AbformwerkzeugenGuttmann, Markus / Winkler, Frank / Laier, Rupert / Schulz, Joachim / Nold, Eberhard / Hielscher, Gerhard et al. | 2005
- 555
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Mikro-Metallpulverspritzguss als innovatives Fertigungsverfahren in der MikrotechnikSalk, Natalie / Rota, Astrid / Imgrund, Philipp et al. | 2005
- 569
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Ein Low-Cost MEMS Positioniersystem basierend auf der Piezo-Polymer-Composite TechnologieJust, Elmar / Wachten, Christian / Woias, Peter et al. | 2005
- 573
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Vereinfachtes Handling von Substraten in der Mikrogalvanoformung und der ÄtztechnikGuttmann, Markus / Bade, Klaus / Matthis, Barbara / Moritz, Hans et al. | 2005
- 577
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Neuartige Polymer-Nanokomposite mit gezielt einstellbarem Brechungsindex: Materialeigenschaften und Anwendungspotenziale in der MikrooptikRitzhaupt-Kleissl, Eberhard / Haußelt, J. / Hanemann, T. et al. | 2005
- 581
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Herstellung polymergebundener Hartmagnete durch in SU-8 eingebrachtes MagnetpulverBedenbecker, M. / Gatzen, H.H. et al. | 2005
- 589
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Microneedle arrays replicated using vacuum casting and hot embossingTrautmann, A. / Heuck, F. / Mueller, C. / Ruther, P. / Paul, O. et al. | 2005
- 597
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Tribologische lineare MikroführungenPhataralaoha, A. / Büttgenbach, S. / Schiffmann, K. / Sick, J.H. / Bandorf, R. / Küster, R. et al. | 2005
- 601
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Poly(ethyleneimine) - Poly(ethylene glycol) - graft copolymer - modified surfaces to prevent protein adsorption in micro-fluidic systemsBreisch, Stefanie / Stelzle, Martin et al. | 2005
- 611
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Low power-low cost gaseous ammonia sensors based on flip-chip suspended gate field effect transistorsOpera, A. / Simon, E. / Fleischer, M. / Frerichs, H.P. / Wilbertz, C. / Lehmann, M. / Weimar, U. et al. | 2005
- 615
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Dynamische Modellierung von mikrostrukturierten HalbleitergassensorenHerm, S. / Peter, A. / Ament, C. et al. | 2005
- 619
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Sensorarray zur LuftqualitätsmessungAment, C. / Bauersfeld, M.L. / Kovacs, A. / Kritwattanakhorn, J. / Mescheder, U. / Müller, B. / Peter, A. / Radebacher, J. / Wöllenstein, J. et al. | 2005
- 625
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Reduced power consumption of a gradient gas sensor microarray with downsized chip geometry, optimized packaging and nanogranular gas detection layersGoschnick, Joachim / Walter, Thomas / Schneider, Thomas / Frietsch, Markus et al. | 2005
- 633
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Verschleißmonitoring bei Hüftgelenkendoprothesen durch integrierte MikrosensorikBaum, M. / Hientzsch, M. / Boese-Landgraf, J. / Otto, T. / Geßner, T. et al. | 2005
- 661
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Systemsimulation für den Entwurf von PräzisionstribometernBastian, J. / Clauß, C. / Mollenhauer, O. / Neidhold, T. / Reitz, S. / Schneider, P. / Schwarz, P. et al. | 2005
- 669
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Rauheitsmessung an MikrostrukturenFörster, Ralf / Reinecke, Holger / Menz, Wolfgang / Christoph, Ralf / Andräs, Matthias et al. | 2005
- 677
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Neue multiskalige Mess- und Prüfstrategien für die Produktion von MikrosystemenWiesendanger, T. / Osten, W. / Pannekamp, J. / Regin, J. / Westkämper, E. et al. | 2005
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Entwicklung und Vergleich auf Leiterplattentechnologie basierender statischer MikromischerGötze, Holger / Gassmann, Steffan / Pagel, Lienhard et al. | 2005
- 697
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Dosierung von Flüssigkeiten im PikoliterbereichWeise, Frank / Burgold, J. / Dressler, L. / Wurmus, H. / Ambacher, O. et al. | 2005
- 701
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Kontaktfreie und medienunabhängige Volumenbestimmung in Nanoliter DispensernStreule, Wolfgang / Storz, Matthias / Gracki, Sebastian / Ashauer, Matthias / Zengerle, Roland / Koltay, Peter et al. | 2005
- 705
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Ein thermisch angetriebenes, schnelles pneumatisches 2/2 Wege MikroventilQuenzer, H.J. / Günther, G. / Murrenhoff et al. | 2005
- 709
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Chipintegrierte BrennstoffzelleErdler, Gilbert / Frank, Mirko / Müller, Claas / Reinecke, Holger / Lehmann, Mirko et al. | 2005
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Systemaspekte in planaren MikrobrennstoffzellensystemenEccarius, Steffen / Litterst, Christian / Wolff, Andreas / Tranitz, Marco / Koltay, Peter / Agert, Carsten et al. | 2005
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Mikrofluidische Plattform für die massensensitive BlutanalytikGronmaier, R. / Gehring, F.K. / Claußen, J. / Scheufele, B. / Grumann, M. / Cupelli, C. / Viertel, J. / Kohnle, J. / Ducree, J. / Messner, S. et al. | 2005
- 721
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Study of the inlet flow from a flat channel into the microchannels of a heat exchanger using both micro PIV and DNSHeinzel, V. / Imke, U. / Jianu, A. / Sauter, H. et al. | 2005
- 731
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TopSpot vario: New method for parallel nanoliter dosing by direct liquid displacementSteinert, Chris / Koltay, Peter / Sandmaier, Hermann / Zengerle, Roland et al. | 2005
- 735
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A new method of fabrication of heat transfer surfaces with micro-structured profileSchulz, Andreas et al. | 2005
- 737
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Entwicklung eines miniaturisierten Laser-Tracking-Systems zur 3D-PositionserfassungWachten, Christian / Ament, Christoph / Müller, Claas / Theile, Daniel et al. | 2005
- 743
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Micro- and nanostructured organic electronic devicesNiggemann, M. / Bläsi, B. / Glatthaar, M. / Müller, C. / Riede, M. / Ruf, D. / Zimmermann, B. / Gombert, A. et al. | 2005
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Adaptiver Polymerspiegel zur LaserfokussierungGreger, W. / Arnold, D. / Jurischka, R. / Schoth, A. / Müller, C. / Wilde, J. / Reinecke, H. et al. | 2005
- 751
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Modulare Sensorsysteme für die optische PositionssensorikFreitag, H.J. / Ortlepp, H.G. et al. | 2005
- 755
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Silizium-Mikrogitter als Komponente eines optischen BewegungssensorsLeester-Schädel, M. / Morgeneyer, C. / Büttgenbach, S. / Prelle, C. / Lamarque, F. et al. | 2005
- 759
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MikrooptikKornfeld, Andreas / Bärsch, Niko / Loleit, Hagen / Ostendorf, Andreas et al. | 2005
- 763
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Entwicklung und Erprobung von Mikrostrukturen zur durchflusszytometrischen Charakterisierung humaner ZellenNeukammer, Jörg / Theisen, Janko / Brattke, Kerstin / Kummrow, Andreas / Guschauski, Thilo / Schmidt, Martin et al. | 2005
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Towards cell-based microsystems: Cell-adhesion on polymerized peptide-amphiphilic microstructuresShroff, K. / Rühe, J. / Biesalski, M. et al. | 2005
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Mikrotiterplatte mit integrierter funktionalisierter FilterstrukturRapp, Bastian / Herrmann, Dirk / Guber, Andreas et al. | 2005
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Grid-based discrete spinning current method for the extraction of two stresses and the hall voltage from planar four-contact sensorsBartholomeyczik, J. / Doelle, M. / Ruther, P. / Paul, O. et al. | 2005
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The spinning transverse voltage method for the extraction of compensated sigma(xx)- sigma(yy) and sigma(xy) stresses from a single four-contact sensorBartholomeyczik, J. / Kibbel, S. / Ruther, P. / Paul, O. et al. | 2005
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3D-Mikrotaster für Anwendungen in der WegmesstechnikPhataralaoha, A. / Triltsch, U. / Büttgenbach, S. / Seitz, K. / Roth, R. et al. | 2005
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RFID-Transponder im MID-GehäuseHehlgans, Jörg et al. | 2005
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Pick 'n' Stick - Automatisiertes Fügen klebstoffbeschichteter BauteileBöhm, Stefan / Dilger, Klaus / Hesselbach, Jürgen / Hemken, Gregor / Rathmann, Sven et al. | 2005
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Wirtschaftliches Deckeln temperaturempfindlicher StrukturenTahhan, Isam / Blattert, C. / Jurischka, R. / Schoth, A. / Reinecke, H. et al. | 2005
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Ein neuer Testchip zur Charakterisierung durch Packagingverfahren verursachter mechanischer SpannungenHirsch, Sören / Schmidt, Bertram et al. | 2005
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Statische Mikromischer für chemische Reaktionen mit hohem MassendurchsatzKockmann, Norbert / Engler, Michael / Kiefer, Thomas / Woias, Peter et al. | 2005
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Miniaturisierungsfortschritte kostengünstiger piezoelektrischer Aktoren und MikroschwingungsmotorenMagnussen, Björn et al. | 2005
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Evaluation von Ferrofluiden für hydraulische AktorenSchneider, F. / Hohlfeld, D. / Vogel, W. / Wallrabe, U. et al. | 2005
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Untersuchung des Stabilitätsverhaltens von elektromagnetischen AktorenSchonhardt, S. / Wallrabe, U. / Korvink, J.G. / Solf, C. et al. | 2005
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Automatisiertes Greifen und Positionieren eines ultradünnen Interferenzfilterelements zur Integration in einem OptohybridBöhme, Steffen / Beckert, Erik / Mohaupt, Matthias / Blank, Gunter / Schmidt, Matthias et al. | 2005
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Vollintegrierte Alkoholbestimmung in Vollblut über CD-basierte, zeitaufgelöste AbsorptionsmessungGrumann, M. / Harter, J. / Riegger, L. / Dube, M. / Lutz, S. / Brenner, T. / Zengerle, R. / Ducree, J. et al. | 2005
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Neues Konzept zur Realisierung von Analysechips mit integrierten Lichtwellenleitern in PDMSFleger, M. / Neyer, A. et al. | 2005