Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieben (Deutsch)
- Neue Suche nach: Eicher, Dirk
- Neue Suche nach: Schlaak, Helmut F.
- Neue Suche nach: Eicher, Dirk
- Neue Suche nach: Schlaak, Helmut F.
In:
Mikrosystemtechnik Kongress, 2007
;
1-4
;
2007
-
ISBN:
- Aufsatz (Konferenz) / Datenträger
-
Titel:Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieben
-
Weitere Titelangaben:SU-8 based electro-thermal actors for application in miniaturised step drives
-
Beteiligte:Eicher, Dirk ( Autor:in ) / Schlaak, Helmut F. ( Autor:in )
-
Erschienen in:
-
Verlag:
- Neue Suche nach: VDE-Verlag
-
Erscheinungsort:Berlin, Offenbach
-
Erscheinungsdatum:2007
-
Format / Umfang:4 Seiten, 9 Bilder, 13 Quellen
-
ISBN:
-
Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
-
Format:Datenträger
-
Sprache:Deutsch
-
Schlagwörter:
-
Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis Konferenzband
Die Inhaltsverzeichnisse werden automatisch erzeugt und basieren auf den im Index des TIB-Portals verfügbaren Einzelnachweisen der enthaltenen Beiträge. Die Anzeige der Inhaltsverzeichnisse kann daher unvollständig oder lückenhaft sein.
-
Galvanische Abformung von mikro- und nanostrukturiertem Silizium für die Herstellung metallischer FormwerkzeugeSchleunitz, Arne / Kouba, Josef / Rudolph, Ivo / Schondelmaier, Daniel / Löchel, Bernd et al. | 2007
-
Aluminiumnitrid als piezoelektrisches Membranmaterial für MEMSPolster, Tobias / Albrecht, Arne / Hoffmann, Martin / Michael, Steffen et al. | 2007
-
Gasblasengetriebene Pumpe für MikroreaktorenPaust, N. / Litterst, C. / Metz, T. / Zengerle, R. / Koltay, P. et al. | 2007
-
CMOS Integrated Smart CiliaGieschke, P. / Held, J. / Doelle, M. / Bartholomeyczik, J. / Ruther, P. / Paul, O. et al. | 2007
-
„Micro Energy Harvesting“ durch Mikro-BrennstoffzellenFleischhauer, Bernward / Kloke, Arne / Rubenwolf, Stefanie / Schuh, Kerstin / Schlipf, Christine / Krüger, Michael / Müller, Claas / Prucker, Oswald / Reinecke, Holger / Rühe, Jürgen et al. | 2007
-
Miniaturisierter kalorimetrischer Strömungssensor auf der Basis mikrostrukturierbaren GlasesSchönstein, Thomas et al. | 2007
-
PDMS-Membran mit partiell verteilten Magnetpartikeln für SchalteranwendungenVoigt, Sebastian / Morschhauser, Andreas et al. | 2007
-
2D-Mikroscanner mit hoher Auslenkung zur BildaufnahmeSchenk, Harald / Drabe, Christian / Klose, Thomas / Wolter, Alexander / Lakner, Hubert et al. | 2007
-
Planares Patch-Clamping für Hochdurchsatz-Untersuchungen an biologischen MembrankanälenBaaken, G. / Sondermann, M. / Prucker, O. / Behrends, J. C. / Rühe, J. et al. | 2007
-
Piezoelektrischer Bimorphgenerator – Entwurf, Simulation, MessergebnissePobering, Sebastian / Ebermayer, Stefanie / Schwesinger, Norbert et al. | 2007
-
MEMS-Ultraschallwandlerarray für bildgebende AnwendungenKoblitz, Jörn / Felix, Nicolas et al. | 2007
-
Ein Mikromassenspektrometer in MEMS Technologie für mobile und stationäre AnwendungenHauschild, Jan-Peter / Wapelhorst, Eric / Müller, Jörg et al. | 2007
-
Aktive hochauflösende intravaskuläre MR-Sonde in Mikrosystemtechnik mit optischer SignalübertragungFandrey, S. / Weiss, S. / Müller, J. et al. | 2007
-
Neuartiger MST Ansatz zur Realisierung kostengünstiger Systeme zum "Hyperspectral Imaging" im NIREgloff, Thomas / Grüger, Heinrich / Zimmer, Fabian / Schenk, Harald / Scholles, Michael / Lakner, Hubert et al. | 2007
-
Plasma printing – a new technique for the cost-efficient manufacture of flexible printed circuitsBorris, Jochen / Thomas, Michael / Zänker, Antje / Klages, Claus-Peter / Möbius, Andreas / Elbick, Danica / Weidlich, Ernst-Rudolf et al. | 2007
-
Miniaturization of a Resonant Magnetic Sensor Using Optimized Planar Magnetic ConcentratorsBrugger, S. / Paul, O. et al. | 2007
-
Mikropumpe mit integrierter DosierkontrolleGoldschmidtböing, Frank / Witte, Holger / Schwarz, Stefan Udo / Geipel, Andreas / Doll, Alexander / Rabold, Martin / Woias, Peter et al. | 2007
-
Elektrostatisch angetriebenes Silizium-Membranventil für GasanalysesystemeFeind, Holger / Çubukçu, Ali Sükrü / Müller, Jörg et al. | 2007
-
NeuroProbes - Development of Modular Multifunctional Probe Arrays for NeuroscienceRuther, P. / Herwik, S. / Kisban, S. / Seidl, K. / Spieth, S. / Rubehn, B. / Haj-Hosseini, N. / Steigert, J. / Daub, M. / Paul, O. et al. | 2007
-
Konstruktion eines elektrostatischen Membranaktors für den Einsatz in einem Stirling-Kühler oder Stirling-MotorBange, Stefan / Hempel, Jochen / Woias, Peter et al. | 2007
-
All-Glas Bauelemente für die flüssig/flüssig PhasenseparationVoigt, Elmar / Albert, Jens / Morgenroth, Wolfgang / Mayer, Günter / Henkel, Thomas et al. | 2007
-
Systemkonzept eines chipbasierten, paramagnetischen SauerstoffsensorsKrippner, Peter / Szasz, Paul / Wetzko, Manfred / Andres, Berthold / Bauer, Thomas et al. | 2007
-
Systemanalyse eines fluidischen Infrarot-Detektors mit kapazitiver Auslese als einfaches Modell für die infrarotempfindlichen Rezeptoren des Schwarzen KiefernprachtkäfersBousack, Herbert / Offenhäusser, Andreas et al. | 2007
-
Fabrication and test of piezoresistive cantilever sensors for high-aspect ratio micro metrologyPeiner, Erwin / Balke, Michael / Doering, Lutz / Brand, Uwe / Bartuch, Herbert / Völlmeke, Stefan et al. | 2007
-
Erzeugung von Mikrotropfen aus flüssigem Lötzinn mittels einer hochparallelen und kontaktlosen DrucktechnikSchuhmacher, Dietmar / Scheithauer, Hermann / Alavi, Mani / Niekrawietz, Remigius / Heij, Bas de / Zengerle, Roland / Koltay, Peter et al. | 2007
-
Mikrostrukturierung von Kunststoffen durch Heißprägen und LaserablationBaum, Mario / Mann, Mario / Ebling, Frank / Keiper, Bernd / Hänel, Jens / Otto, Thomas / Geßner, Thomas et al. | 2007
-
NIR-Spektroskopie : Entwicklung eines miniaturisierten MOEMSSpektrometer für den Einsatz im NIR-BereichZimmer, Fabian / Grueger, Heinrich / Heberer, Andreas / Sandner, Thilo / Schenk, Harald / Lakner, Hubert et al. | 2007
-
Thermische Strömungssensoren mit monolithisch integrierten Kanalstrukturen für die Messung von kleinsten FlussratenBuchner, Rainer / Bhargava, Preety / Sosna, Christoph / Benecke, Wolfgang / Lang, Walter et al. | 2007
-
Entwicklung von Synchron-Mikromotoren mit speziellen Rotoren basierend auf PolymermagneteWaldschik, Andreas / Feldmann, Marco / Büttgenbach, Stephanus et al. | 2007
- 1
-
Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten SchrittantriebenEicher, Dirk / Schlaak, Helmut F. et al. | 2007
-
Aufbau und Charakterisierung eines mikro-elektromechanischen Torsionssensors für die HochfrequenzspannungsmessungDittmer, J. / Judaschke, R. / Büttgenbach, S. et al. | 2007
-
Adaptive Silikonmembranlinsen mit integriertem Piezo-AktorSchneider, F. / Müller, C. / Ulmer, U. / Eberhard, D. / Besser, H. / Pfleging, W. / Wallrabe, U. et al. | 2007
-
Entwicklung einer planaren Radiofrequenz-IonenfalleKröner, M. / Just, E. / Woias, P. / Debatin, M. / Mikosch, J. / Trippel, S. / Reetz-Lamour, M. / Wester, R. / Weidemüller, M. et al. | 2007
-
Technology development for 1 megapixel-micromirror arrays with high optical fill factor and stable analogue deflectionSchmidt, Jan-Uwe / Friedrichs, Martin / Bakke, Thor / Voelker, Benjamin / Rudloff, Dirk / Lakner, Hubert et al. | 2007
-
Entwicklung eines mikrofluidischen Analysesystems zur Absorptions- und FluoreszenzmessungDornbusch, K. / Schimmelpfennig, M. / Feller, K.-H. et al. | 2007
-
Massensensitives Sensor-Fließsystem zur CRP-DiagnostikMichalzik, M. / Balck, A. / Al-Halabi, L. / Hust, M. / Dübel, S. / Büttgenbach, S. et al. | 2007
-
Digital holographic two-wavelength contouring of high speed MEMS using ultrashort laser pulsesHansel, Thomas / Steinmeyer, Günter / Grunwald, Rüdiger / Griebner, Uwe / Falldorf, Claas / Kopylow, Christoph von / Bonitz, Jens / Kaufmann, Christian et al. | 2007
-
Greifsysteme für das Fügen mit schmelzklebstoffvorbeschichteten Bauteilen zur Fertigung von MEMS und MOEMSRathmann, Sven / Raatz, Annika / Dietrich, Franz / Hemken, Gregor / Böhm, Stefan et al. | 2007
-
Herstellung integrierter passiver Komponenten auf Wafer-EbeneZoschke, Kai / Reichl, Herbert et al. | 2007
-
Gesteuerte Verdampfung als fluidischer Transportmechanismus in geregelten MedikamentendosiersystemenVosseler, Michael / Dobmeier, Michael / Blaesing, Marius / Stehr, Manfred / Aslanidis, Georgios / Zengerle, Roland et al. | 2007
-
Mikroreaktorsystem als Screening-Instrument für biologische ProzesseDemming, S. / Jansen, A. / Franco-Lara, E. / Krull, R. / Büttgenbach, S. et al. | 2007
-
On-Chip Vacuum Generation: A Micromachined Vapor-Jet PumpDoms, Marco / Müller, Jörg et al. | 2007
-
Resonante mikromechanische EnergiewandlerKuehne, Ingo / Frey, Alexander / Marinkovic, Djordje / Eckstein, Gerald / Seidel, Helmut et al. | 2007
-
Flexible taktile Sensorarrays auf Basis verschiedener piezoelektrischer FunktionspolymereSchwerdtner, Robert / Otto, Thomas / Schuberth, Reinhard / Bach, Duc / Wegener, Michael / Danz, Rudi / Geßner, Thomas et al. | 2007
-
In-Ohr-Sensor für ein 24/7-Monitoring der Herz-Kreislauf- FunktionBrodersen, Olaf / Hübner, Klaus / Panitzsch, Frank / Vogel, Stefan / Hülsbusch, Markus et al. | 2007
-
Electrostatic Micro Energy Harvesting Devices based on SOI-TechnologyBartsch, U. / Gaspar, J. / Ruther, P. / Paul, O. et al. | 2007
-
Pneumatische Mikrogreifer für die PräzisionsmontageHoxhold, B. / Burisch, A. / Büttgenbach, S. et al. | 2007
-
Neue Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen über flüssige PhasenMichaeli, W. / Kamps, T. / Bach, Fr.-W. / Hartz, K. / Schmachtenberg, E. / Schmiederer, D. / Lurz, A. / Vetter, K. / Piotter, V. / Prokop, J. et al. | 2007
-
Herstellung hochpräziser planarer Mikropumpen mit Hilfe des Direkt-LIGA-VerfahrensKouba, J. / Voigt, A. / Götz, F. / Rudolph, I. / Heinrich, M. / Lilienhof, H.-J. / Waberski, Ch. / Stockhofe, Ch. / Scheunemann, H.-U. / Hollmann, H. et al. | 2007
-
CMOS Sensorsystem zur Untersuchung elektrisch aktiver ZellenSchrott, René / Tautorat, Carsten / Podssun, Angela / Koester, Philipp Julian / Kirchner, Klaus-Peter / Bausch, Gerold / Beikirch, Helmut / Baumann, Werner / Freund, Ingo et al. | 2007
-
Improving of signal-to-noise ratio of electrophysiological recordings from explanted retinas by using perforated microelectrode arraysStett, Alfred / Herrmann, Thoralf / Gutöhrlein, Katja / Rudorf, Ralf / Boven, Karl-Heinz / Nisch, Wilfried et al. | 2007
-
Herstellung von Komponenten für Mikrobolometer auf der Basis von PolymerkompositenNocke, Andreas / Wolf, Marcus / Budzier, Helmut / Moench, Ingolf / Arndt, Karl-Friedrich / Gerlach, Gerald et al. | 2007
-
Kontinuierliche Langzeitüberwachung von Vitalparametern mittels eines implantierbaren PulsoximetersBingger, P. / Fiala, J. / S. Reichelt, / Förster, K. / Klemm, R. / Heilmann, C. / Goldschmidtböing, F. / Beyersdorf, F. / Woias, P. / Zappe, H. et al. | 2007
-
Fertigung eines Miniaturkraftsensors mit asymmetrischem Grundkörper zur Anwendung bei KatheterisierungenMeiß, Thorsten / Kern, Thorsten A. / Klages, Stephanie / Werthschützky, Roland / Bartuch, Herbert et al. | 2007
-
Mechanisches Mikrosystem zur Wiederherstellung der Rückenmarkskontinuität bei QuerschnittslähmungVoss, Christian / Müller, Jörg et al. | 2007
-
Flächige Leuchtquellen für die Mikrosystemtechnik auf Basis organischer Leuchtdioden (OLED)Amelung, Jörg / Törker, Michael / May, Christian / Tomita, Yuto / Löffler, Frank / Gil, Tae Huyn / Hermann, Rüdiger et al. | 2007
-
Untersuchung eines neuen hochproduktiven Plasmaverfahrens zum Entfernen von SU 8 nach der Abformung metallischer LIGAMikroteileEngelke, Rainer / Mathuni, Josef / Ahrens, Gisela / Grützner, Gabi / Bednarzik, Martin / Schondelmaier, Daniel / Löchel, Bernd / Gutsche, Martin / Cuccinelli, Marco et al. | 2007
-
Peristaltische Ein-Membran-Mikropumpe mit zwei aktiven VentilenGeipel, A. / Katus, P. / Goldschmidtböing, F. / Woias, P. et al. | 2007
-
Mikrostrukturierte Gasverteilerstrukturen für den passiven Wasseraustrag aus PEM BrennstoffzellenMetz, T. / Paust, N. / Müller, C. / Zengerle, R. / Koltay, P. et al. | 2007
-
Mikro- und nanostrukturierte Gläser für die MikrosystemtechnikMrotzek, S. / Hülsenberg, D. / Hesse, A. et al. | 2007
-
Design, Herstellung und Charakterisierung von SU-8 Cantilevern für AFM-AnwendungenFlämig, J. / Fülle, A. / Hammacher, J. / Saupe, J. / Zahn, W. / Vogel, J. / Grimm, J. et al. | 2007
-
Chipintegrierter BrennstoffzellenakkumulatorFrank, M. / Erdler, G. / Frerichs, H.-P. / Müller, C. / Reinecke, H. et al. | 2007
-
Entwicklung eines magnetostriktiven MikroaktorsAlbach, Thorsten / Baffoun, Bassem / Sutor, Alexander / Lerch, Reinhard et al. | 2007
-
Tactile CMOS-Integrated 3D Force Sensor SystemGieschke, P. / Levey, B. / Doelle, M. / Trautmann, A. / Ruther, P. / Paul, O. et al. | 2007
-
Micro Needle Based Electrode Arrays for Surface ElectromyographyRuther, P. / Lapatki, B. / Trautmann, A. / Paul, O. et al. | 2007
-
Laminierbarer, hochauflösender Permanentphotolack für MEMS-AnwendungenStöhr, U. / Vulto, P. / Hoppe, P. / Urban, G. / Reinecke, H. et al. | 2007
-
Passives RF-Identifikationssystem mit flexiblem, bistabilem DisplayJohn, W. / Stönner, G. et al. | 2007
-
Integrierte Drucksensoren in Keramischer MultilayerbauweisePartsch, Uwe / Georgi, Hannes / Arndt, Dietmar et al. | 2007
-
Der verborgene Blistertest – eine neuartige zerstörungsfreie Testmethode zur Haftfestigkeitscharakterisierung von Full-Wafer- BondverbindungenRabold, Martin / Doll, Alexander / Goldschmidtböing, Frank / Woias, Peter et al. | 2007
-
Optimierung der Kavitätenverformung von Mikroplasma- Stempeln zur selektiven Behandlung von Oberflächen bei AtmosphärendruckLucas, N. / Hinze, A. / Klages, C.-P. / Büttgenbach, S. et al. | 2007
-
Entwicklung eines Mikromanipulators auf Basis der Piezo-TechnologieGötze, Holger / Pagel, Lienhard et al. | 2007
-
Vorrichtung zur parallelen Montage von Mikro-Kraftsensorarrays und taktilen ElementenKrah, T. / Büttgenbach, S. et al. | 2007
-
Einsatz translatorischer MOEMS-Aktoren für FTIRSpektrometerSandner, Thilo / Schenk, Harald / Lakner, Hubert / Kenda, Andreas / Scherf, Werner et al. | 2007
-
TRACK – neue Ansätze zur RFID-basierten SensorikWöllenstein, Jürgen et al. | 2007
-
Technologieintegrierte Datensicherheit bei RFID-SystemenWaldmann, Ulrich et al. | 2007
-
ST1 - ein freiprogrammierbarer Schaltkreis für 125 kHz TransponderlösungenGrätz, Hagen / Heinig, Andreas / Deicke, Frank / Fischer, Wolf- Joachim et al. | 2007
-
Ultra-dünne, künstliche Facettenaugen-Kamera – Synergie zwischen Mikrooptik und OptoelektronikBräuer, Andreas / Duparré, Jacques / Dannberg, Peter / Wippermann, Frank / Brückner, Andreas / Voltz, Stephan et al. | 2007
-
Neue oberflächenmikromechanische Technologie zur Herstellung kapazitiver Sensoren auf Basis von porösem SiliziumKnese, K. / Armbruster, S. / Benzel, H. / Seidel, H. et al. | 2007
-
Aufbau- und Verbindungstechnik für ein mikrooptisches SystemKögler, Daniela / Huster, Rolf / Kronast, Wolfgang / Mescheder, Ulrich et al. | 2007
-
Minimalinvasive Chirurgie: Entwicklung eines Mikroaktorsystems für die Resektion von erkrankten AortenklappenLeester-Schädel, M. / Demming, S. / Lesche, C. / Quaden, R. / Cremer, J. / Lutter, G. / Büttgenbach, S. et al. | 2007
-
Einsatz von Schmelzklebstoffen zur Montage von MEMS und MOEMSHemken, G. / Böhm, S. / Dilger, K. / Raatz, A. / Rathmann, S. et al. | 2007
-
Mikrostrukturierte Dünnschicht-Thermogeneratoren mit hoher Flächendichte an Thermopaaren für energieautarke SensorsystemeBöttner, Harald / Nurnus, Joachim / Schubert, Axel / Volkert, Fritz et al. | 2007
-
Layout und Integration eines Pd-Gate FeldeffekttransistorsFrers, Torsten / Hilleringmann, Ulrich et al. | 2007
-
Aktiv-Matrix Mikrodisplays auf Basis integriert realisierter organischer LeuchtdiodenKreye, Daniel / Törker, Michael / Vogel, Uwe / Amelung, Jörg et al. | 2007
-
Einsatz von Atmosphärendruck-Mikroplasmen für die Aufbau- und VerbindungstechnikEichler, M. / Michel, B. / Thomas, M. / Klages, C.-P. et al. | 2007
-
Kapazitiver Feuchtesensor auf flexiblem SubstratBauersfeld, Marie-Luise / Oprea, Alexandru / Bârsan, Nicolae / Rademacher, Sven / Matheis, Carsten / Weimar, Udo / Wöllenstein, Jürgen et al. | 2007
-
Drahtlose Überwachung physikalischer Parameter in metallischen Behältern für luftfahrtbezogene AnwendungenNgo, Luong van / Kluge, Martin / Sabater, Jordi / Schalk, Josef / Seidel, Helmut / Schmid, Ulrich et al. | 2007
-
Die Anwendung von magnetoresistiven Sensoren in der HumandiagnostikEnnen, Inga / Hütten, Andreas et al. | 2007
-
Mikrobrennstoffzellen: Aktuelle Entwicklungen und EinsatzfelderAgert, Carsten / Steffen Eccarius / Groos, Ulf / Oszcipok, Michael / Hebling, Christopher et al. | 2007
-
Niedertemperatur Wafer Bonding – Entwicklung, Charakterisierung und AnwendungRabold, Martin / Doll, Alexander / Goldschmidtböing, Frank / Woias, Peter et al. | 2007
-
Methode zur Berechnung des Einflusses mechanischer Verformung auf Funktionsparameter mikromechanischer SensorenRank, Holger / Maas, Ramona / Heitz, Markus / Mehner, Jan / Gessner, Thomas et al. | 2007
-
Verteilte Kommunikationsarchitekturen für autonome SystemeKraemer, Rolf et al. | 2007
-
Thermoelektrische Generatoren in Standard Silizium/Aluminium TechnologieGlosch, Hartmut / Billat, Sophie / Auber, Johannes / Ashauer, Matthias et al. | 2007
-
Sterile Zell-Shuttle für biologische KultursystemeHowitz, S. / Wegener, T. / Fiedler, S. / Zwanzig, M. et al. | 2007
-
Hochreflektiver mikromechanischer Scanner für Materialbearbeitung und medizinische AnwendungenBonitz, J. / Bundesmann, C. / Eichentopf, I.-M. / Mändl, S. / Neumann, H. / Kaufmann, C. / Gessner, T. et al. | 2007
-
Ableitung mikrotechnischer Prozessfolgen aus FunktionsbausteinenTriltsch, U. / Büttgenbach, S. et al. | 2007
-
Eye-Cam: Sprachgesteuerte Miniaturkamera integriert in einer BrilleHradetzky, David / Kliche, Kurt / Ehrbrecht, Bernd / Anka, Laszlo / Wölfle, Matthias / Zengerle, Roland et al. | 2007
-
Textile Mikrosysteme zur Energieumwandlung und -speicherungMöhring, Uwe / Neudeck, Andreas / Scheibner, Wolfgang / Thurner, Frank / Zimmermann, Yvonne et al. | 2007
-
Permanentmagnetische Membranen für my-fluidische AktorikMorschhauser, Andreas / Nestler, Jörg / Schüller, Martin / Voigt, Sebastian / Otto, Thomas / Gessner, Thomas et al. | 2007
-
Characterization of the DRIE Fabrication of Cell-Penetrating MicroneedlesHeld, Jochen / Gaspar, Joao / Ruther, Patrick / Paul, Oliver et al. | 2007
-
Planar-integrierte mikrofluidische Versuchskammer mit elektroakustischer Strömungserzeugung für biologische UntersuchungenGruber, Matthias / Heming, Richard / Schnäker, Eva-Maria / Seiler, Thomas et al. | 2007
-
Module zur homogenen Mischung von Zellsuspensionen und deren Prozessierung in Mikrofluidik-ChipsSchumacher, J. T. / Grodrian, A. / Lemke, K. / Römer, R. / Henkel, T. / Metze, J. et al. | 2007
-
Vitality and Functionality of Pancreatic Islets and Multicellular Spheroids after Cryopreservation in Micro-Cryosubstrates with Automatic Addition of CryoprotectantsKatsen-Globa, A . / Schulz, J. C. / Ehrhart, F. / Feilen, P. / Wiedemeier, S. / Metze, J. / Weber, M. M. / Zimmermann, H. et al. | 2007
-
Intelligente Gebäude unterstützen ihre BewohnerScherer, Klaus / Naroska, Edwin / Ressel, Christian et al. | 2007
-
IVAM – internationales Hightech-Marketing: Wettbewerbsfähigkeit sichern und ausbauenKleinkes, Uwe / Neuy, Christine et al. | 2007
-
Tunnelmagnetoresistive Materialien für Anwendungen in der SensorikPaul, Johannes / Gerken, Anna et al. | 2007
-
Stabilitätsbewertung glaslotgebondeter Inertialsensoren für Automobilanwendungen: Bruchparameter bei gemischter BeanspruchungNötzold, Kerstin / Glien, Karsten / Graf, Jürgen / Müller-Fiedler, Roland et al. | 2007
-
Micro-Nano-Technology (MNT) for biomedical applicationWechsung, Reiner et al. | 2007
-
Mikrosystemtechnik in Textilien und deren AnwendungGimpel, Sabine / Möhring, Uwe / Zschenderlein, Dirk et al. | 2007
-
Hydrogel-basierte chemische Sensoren: experimentelle und numerische UntersuchungenShi, Zhangman / Günther, Margarita / Gerlach, Gerald / Sorber, Jörg / Wallmersperger, Thomas et al. | 2007
-
Technische Hilfen ermöglichen selbständiges LebenGraf, Birgit / Schaeffer, Christoph / Verl, Alexander et al. | 2007
-
Mikroprozesstechnik für die EnergieverfahrenstechnikHessel, Volker / Kolb, Gunther et al. | 2007
-
Analytikchip zur Erfassung intrazellulärer Potentiale adhärent wachsender Zellen nach lokaler Elektroporation: Einleitung - Biologische AspekteKoester, Philipp Julian / Tautorat, Carsten / Podssun, Angela / Gimsa, Jan / Baumann, Werner et al. | 2007
-
e-manufacturing mit Mikro Laser-SinternBüse, Hans-Ulrich / Petsch, Tino et al. | 2007
-
Prozessanalyse für das APC an HochratebeschichtungsprozessenDementjev, Alexander / Kubin, Hellmuth / Kabitzsch, Klaus / Metzner, Christoph et al. | 2007
-
Hydrogen Generation for Micro Fuel CellsHöppner, Katrin / Hahn, Robert / Meumann, Christian / Wagner, Stefan / Krumbholz, Steffen / Reichl, Herbert et al. | 2007
-
Mikrosystemtechnische Lichtlenksysteme auf der Basis von Mikrospiegelarrays für Photovoltaische Anlagen an GebäudenAckermann, Julia / Viereck, Volker / Nethaji, Dharmarasu / Hillmer, Hartmut et al. | 2007
-
Bewertungssystem zum Vergleich und zur Auswahl von Sensoren in der Multisensor-KoordinatenmesstechnikFleischer, Jürgen / Peters, Jochen / Buchholz, Ivesa et al. | 2007
-
High speed video analysis of mu-capsule formation for life science applicationsEhrhart, F. / Meiser, I. / Graf, C. / Müller, K. / Shirley, S. G. / Sukhourukov, V. L. / Zimmermann, U. / Zimmermann, H. et al. | 2007
-
Integrierte optoelektronische Sensoren basierend auf OLED-on-CMOSVogel, Uwe / Kreye, Daniel / Reckziegel, Sven / Törker, Michael / Amelung, Jörg et al. | 2007
-
System Integration Technologies for Wireless SensorsReichl, Herbert / Wolf, M. Juergen et al. | 2007
-
Wagniskapital für Unternehmensgründungen der MikrosystemtechnikApitz, René / Brandkamp, Michael et al. | 2007
-
icefuel(R) - Neue Energieinfrastrukturen auf Basis der MikrosystemtechnikMarkowz, Georg et al. | 2007
-
Untersuchung der mechanischen und mikrostrukturellen Eigenschaften von GlaslotverbindungenBöttge, Bianca / Graff, Andreas / Dresbach, Christian / Bagdahn, Jörg et al. | 2007
-
Herstellung von Röntgenmasken in einem Zweistufenprozess mit dem Photoresist CAR 44Schirmer, Matthias et al. | 2007
-
Development of an Inertial Navigation System for Determining the Pose of a Mobile VehicleMahamda, Haytham Qasem / Gorgis, Omar / Kostic, Milos / Reindl, Leonhard et al. | 2007
-
Optische Qualitätskontrolle für hoch parallelen TopSpot(R) Microarray PrinterWangler, N. / Zengerle, R. / Koltay, P. et al. | 2007
-
Dehnungsanalyse an ultradünnen Siliziumchips nach dem Umschmelzen von Gold/Zinn-BumpsHungar, Kaspar / Schnakenberg, Uwe / Mokwa, Wilfried et al. | 2007
-
Magnetische Mikrosysteme in der zerstörungsfreien MaterialprüfungKreutzbruck, Marc / Bernau, Hendrik / Allweins, Kai / Lembe, Gertrud / Strackbein, Chris et al. | 2007
-
Solder Bumping – eine neue Technologie zur Montage optoelektronischer MikrosystemeBeckert, Erik / Eberhardt, Ramona / Tünnermann, Andreas / Azdasht, Ghassem / Zakel, Elke et al. | 2007
-
Montage von Mikrooptiken für mobile DVD LaufwerkeMohaupt, Matthias / Beckert, Erik / Eberhardt, Ramona / Tünnermann, Andreas / Knittel, Joachim / Steegmüller, Ulrich / Behringer, Martin / Singer, Frank / Schwarz, Thomas et al. | 2007
-
Vollautomatisierter Test von Mikrosystemen auf dem WaferGiessmann, Sebastian / Kurth, Steffen / Michael, Steffen / Rembe, Christian / Shaporin, Alexej / Klattenhoff, Jens / Armbruster, Bernd / Geißler, Holm / Werner, Frank-Michael et al. | 2007
-
Untersuchungen der druckabhängigen Eigenschaften eines in Oberflächentechnologie hergestellten DrehratensensorsKulygin, Alexander / Schmid, Ulrich / Seidel, Helmut et al. | 2007
-
Regenerative Mikro-Wärmekraftmaschinen – ein ÜberblickWoias, Peter et al. | 2007
-
Optimierung der Prozessparameter zur spannungsarmen Aufbringung von SU-8-Lack auf SiliziumSommer, Stefanie / Mayr, Andreas / Strobelt, Tilo / Osterwinter, Heinz et al. | 2007
-
Über die Verwendung nichtlinearer Federn für miniaturisierte VibrationswandlerSpreemann, Dirk / Hoffmann, Daniel / Hymon, Erwin / Folkmer, Bernd / Manoli, Yiannos et al. | 2007
-
Synthese von Nanopartikeln in MikromischernKockmann, N. / Kastner, J. / Dreher, S. / Woias, P. et al. | 2007
-
Fehlerlokalisierung und Ermittlung von Geometrie- und Materialparametern mikromechanischer Systeme mittels dynamischer Messverfahren zu frühen ProduktionsschrittenGerbach, Ronny / Naumann, Falk / Ebert, Matthias / Bagdahn, Jörg et al. | 2007
-
Eine neue Biochipplattform für die klinische DiagnostikBrandstetter, Thomas / Wagner, Katrin / Brefka, Thomas / Neumann, Thorsten / Moschallski, Meike / Prucker, Oswald / Rühe, Jürgen et al. | 2007
-
Real-Time PCR auf stationären ChipthermocyclernFelbel, J. / Julich, S. / Reichert, A. / Kielpinski, M. / Urban, M. / Henkel, T. et al. | 2007
-
Herstellung und optische Charakterisierung siliziumnitrid-basierender photonischer Kristalle für Anwendungen im sichtbaren BereichKouba, J. / Eberhardt, W. / Loechel, B. et al. | 2007
-
Applikationszentren für die MikrosystemtechnikFernholz, G. et al. | 2007
-
Micro-energy harvesters: overview, applications and marketsBouchaud, Jérémie et al. | 2007
-
Glukose-Brennstoffzellen als autarke Energieversorgung für medizinische Mikro-Implantate: Stand der Technik und aktuelle EntwicklungenKerzenmacher, Sven / Stetten, Felix von / Ducrée, Jens / Zengerle, Roland et al. | 2007
-
Integration, Automatisierung, und Parallelisierung von Silika-basierten Nukleinsäure-Extraktionen mit dem virtuellen Coriolis-SchalterHaeberle, Stefan / Pausch, Sarah / Burger, Robert / Lutz, Sascha / Stetten, Felix von / Zengerle, Roland / Ducrée, Jens et al. | 2007
-
Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellungIvanov, Alexey / Mescheder, Ulrich / Kovacs, Andras / Huster, Rolf et al. | 2007
-
Laser Mikromaterialbearbeitung – ein nützliches Werkzeug für die MikrosystemtechnikRabold, Martin / Bange, Stefan / Reichle, Rainer / Woias, Peter et al. | 2007
-
Schadensanalyse in der AVT am Beispiel bleifreier Lotverbindungen (Defect analysis on lead free solder joints)Faust, Wolfgang / Dudek, Rainer / Poller, Tilo / Michel, Bernd et al. | 2007
-
Assistenzsystem für die Modellbildung zur Messunsicherheitsbewertung in der MikrosystemtechnikWeißensee, Karina / Kühn, Olaf / Heidenblut, Stefan / Ohrmann, Stefan et al. | 2007
-
A System for Calibration and Reliability Testing of MEMS Devices Under Mechanical StressSpinner, S. / Ruther, P. / Polian, I. / Becker, B. / Paul, O. et al. | 2007
-
Sensor Calibration of Planar Four-Contact Devices with up to Two Extended ContactsCornils, Martin / Paul, Oliver et al. | 2007
-
Untersuchung des Einflusses der Polschuhneigung und Materialeigenschaften auf das Bewegungsverhalten von elektromagnetischen AktorenSchonhardt, S. / Gruschke, O. / Müller, C. / Korvink, J. G. / Hollenbach, U. / Mohr, J. / Bade, K. / Wallrabe, U. et al. | 2007
-
Direkt-LIGA-NiFe-Zahnräder mit extremen Aspektverhältnissen für Micro Harmonic Drive(R) GetriebeKirsch, Udo / Grützner, Gabi / Löchel, Bernd / Degen, Reinhard / Bednarzik, Martin / Waberski, Christoph / Ahrens, Gisela / Engelke, Rainer et al. | 2007
-
Demonstration des Einsatzes flächiger low-cost-Sensoren am Beispiel eines trainingsunterstützenden TischtennisschlägersSchuberth, Reinhard / Otto, Thomas / Schwerdtner, Robert / Bach, Duc / Wegener, Michael / Geßner, Thomas et al. | 2007
-
Micro- and Nano-NDE for future Microelectronic PackagingHeuer, Henning / Köhler, Bernd / Krüger, Peter / Meyendorf, Norbert / Oppermann, Martin / Wolter, Klaus-Jürgen et al. | 2007
-
Positionssensorik im Kfz auf der Basis integrierter dreidimensionaler HallsensorenDolenec, Sascha / Dürkopp, Klaus / Köhler, Ulrich / Lorenz, Thomas / Wesselink, Harm et al. | 2007
-
Metall-Kapillardruckgießen und Dampfphasen- Schmelzinfiltration: zwei innovative Verfahren für das Herstellen metallischer MikrobauteileBach, Fr.-W. / Möhwald, K. / Hartz, K. et al. | 2007
-
Magnetische und optische Encoder-Technologien im VergleichScherner, Hartmut / Quasdorf, Joachim / Flocke, Heiner / Hepp, Marko et al. | 2007
-
Mikro-Nano-Integration für die MikrosystemtechnikCoskina, Paradiso et al. | 2007
-
Trends in NanohandlingFatikow, S. / Eichhorn, V. / Sill, A. et al. | 2007
-
Serienfertigung von metallischen Mikrobauteilen mittels Kombination von 2K-Kunststoffspritzgießen und GalvanoformungProkop, J. / Finnah, G. / Lorenz, J. / Piotter, V. / Ruprecht, R. / Haußelt, J. et al. | 2007
-
Entwicklung eines elektronenstrahlbasierten MikroProduktionsZentrumsBöhm, S. / Welters, T. / Tanasie, G. / Zäh, M. / Reiter, A. / Baertle, J. / Loewer, T. et al. | 2007
-
Electro Wetting - Transport von Mikrotropfen auf lithographisch hergestellten, ultra-hydrophoben OberflächenMertsch, Olaf / Schondelmaier, Daniel / Walter, Antje D. / Rudolph, Ivo / Löchel, Bernd et al. | 2007
-
Heißprägen mit einem SilikonkautschukstempelMayr, Andreas / Sommer, Stefanie / Strobelt, Tilo / Osterwinter, Heinz et al. | 2007
-
Vollintegrierter aktiver Mikroport im PDA-Format: System, Performance und ApplikationenGeipel, A. / Goldschmidtböing, F. / Doll, A. / Jantscheff, P. / Esser, N. / Massing, U. / Woias, P. et al. | 2007
-
Angewandtes "Micro Energy Harvesting"-Systemkonzept für energieautarke MikrosystemeBartsch, U. / Bretthauer, C. / Hehn, T. / Mack, B. / Ungan, T. / Manoli, Y. / Paul, O. / Reindl, L. / Reinecke, H. / Wallrabe, U. et al. | 2007
-
Thermoelektrische Strukturen für wärmeoptimierte Dünnschicht- Thermogeneratoren und zur TemperaturmessungKockmann, N. / Albers, Christian / Huesgen, Till / Woias, P. et al. | 2007
-
Analytikchip zur Erfassung intrazellulärer Potentiale adhärent wachsender Zellen nach lokaler Elektroporation: Einleitung - Elektrotechnische AspekteTautorat, Carsten / Koester, Philipp Julian / Podssun, Angela / Gimsa, Jan / Baumann, Werner et al. | 2007
-
Tailormade surfaces for a guided adhesion and outgrowth of cellsWörz, Anke / Berchtold, Bernd / Kandler, Steffen / Prucker, Oswald / Egert, Ulrich / Aertsen, Ad / Rühe, Jürgen et al. | 2007
-
MEMS Mikrospiegelarrays für die Adaptive OptikGehner, Andreas / Wildenhain, Michael / Knobbe, Jens / Wagner, Michael et al. | 2007
-
"Intelligenz im Metall" – Einsatz der Mikrosystemtechnik zur Zustands und Prozessüberwachung im Anlagen- und MaschinenbauJäger, Thomas / Huber, Richard / Hobler, Michael / Ruf, Daniel / Timmler, Frank et al. | 2007
-
Mikrosystemtechnische Sensoren zum Life-Cycle-Monitoring von AutomobilelektronikPustan, David / Wilde, Jürgen et al. | 2007
-
Bedarfsorientierte WeiterbildungSchütze, Andreas et al. | 2007
-
Changes in the MEMS industryWicht, Henning / Dixon, Richard / Bouchaud, Jérémie et al. | 2007
-
Neuartige Absolutwertgeber auf Basis Magneto-Resistiver SensorenVelling, Peter / Höller, Heinrich / Stritzke, Burkhard et al. | 2007
-
Heterointegration Technologies for Polytronic SystemsBock, Karlheinz et al. | 2007
-
Intelligente Implantate im Dienste des PatientenStieglitz, Thomas et al. | 2007
-
Von der Idee zum Markt - Erfahrungsbeispiele der MST.factory dortmundKopf, Heiko et al. | 2007
-
Beschichtung der inneren Oberflächen in gedeckelten mikrofluidischen SystemenEichler, M. / Berger, C. / Thomas, M. / Klages, C.-P. et al. | 2007
-
Anwendung des Direkt-LIGA-Verfahrens zur Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem AspektverhältnisLoechel, Bernd / Bednarzik, Martin / Waberski, Christoph / Rudolph, Ivo / Kutz, Oliver / Mucha, Sebastian / Schondelmaier, Daniel / Scheunemann, Heinz-Ulrich et al. | 2007
-
Einfluss der Aufbau- und Verbindungstechnik auf die funktionalen Eigenschaften von HallsensorenFischer, Sebastian / Wilde, Jürgen et al. | 2007
-
Microtensile Testing of Thin-Film MaterialsGaspar, J. / Schmidt, M. / Held, J. / Paul, O. et al. | 2007
-
Geregeltes Flüssigkeiten-Dosiersystem für portable AnwendungenGötz, Martin / Storz, Matthias / Ashauer, Matthias / Zengerle, Roland et al. | 2007
-
Methode zur Verbesserung der Planarität von FlächenlichtmodulatorenDürr, Peter / Kunze, Detlef / Ludewig, Thomas / Wolschke, Steffen / Dauderstädt, Ulrike / Wagner, Michael / Lakner, Hubert et al. | 2007
-
PARVUS - Größenangepasstes Handhabungsgerät für die Desktop-FactoryBurisch, Arne / Raatz, Annika / Hoxhold, Björn et al. | 2007
-
Hochentwickelte Integrations- und Packagingtechnologien für miniaturisierte SystemeLang, Klaus-Dieter et al. | 2007
-
Security in Wireless Sensor NetworksUllmann, Markus / Wieschebrink, Christian / Koob, Frank / Gehring, Frank et al. | 2007
-
Nanoelektronik – eine Chance für innovative GründerDressel, Bertram et al. | 2007
-
MST meets Biology: Bioscora’s Lab-on-Chip System in der BIO CITY LeipzigVasilets, Larissa et al. | 2007
-
Smart Systems Campus – Ein neuer Technologiepark in ChemnitzGeissler, Ulrich et al. | 2007
-
Sterilisierbares Mikroventil mit PNIPAAm-Hydrogelaktuator für Lifescience-ApplikationenGastrock, Gunter / Howitz, Steffen / Metze, Josef et al. | 2007
-
Energieeffizienz in drahtlosen SensornetzenLill, Dirk / Sikora, Axel et al. | 2007
-
Wireless Sensors for Infrastructureless Outdoor Localization for eSafety Traffic ApplicationsSikora, Axel et al. | 2007
-
Kontrollierte Benetzung von mikro- und nanostrukturierten OberflächenDorrer, Christian / Prucker, Oswald / Rühe, Jürgen et al. | 2007
-
Optimierung der dynamischen Deformation von MikroscannerspiegelnKlose, Thomas / Wolter, Alexander / Sandner, Thilo / Schenk, Harald et al. | 2007
-
Miniaturisierte Laserprojektionssysteme basierend auf zweidimensionalen resonanten MikroscannerspiegelnScholles, Michael / Frommhagen, Klaus / Gerwig, Christian / Lakner, Hubert / Schenk, Harald / Schwarzenberg, Markus / Bräuer, Andreas et al. | 2007
-
Hochauflösende Flächenlichtmodulatoren auf Basis von MikrospiegelmatrizenWagner, Michael / Dürr, Peter / Dauderstädt, Ulrike / Gehner, Andreas / Friedrichs, Martin / Schmidt, Jan-Uwe / Lakner, Hubert et al. | 2007
-
SensFloor(R): Ein großflächiges Sensorsystem für Ambient-Assisted-Living AnwendungenSteinhage, Axel / Lauterbach, Christl et al. | 2007
-
Neue Technologie in der Herstellung – neue Chance am MarktThieme, Torsten / Bertz, Andreas / Dittrich, Claus / Gessner, Thomas et al. | 2007
-
Laser trimming of MEMSPetsch, Tino / Hänel, Jens / Keiper, Bernd / Bleul, Karsten / Kaufmann, Christian / Bonitz, Jens et al. | 2007
-
Tribologie amorpher Kohlenstoffschichten auf mikrostrukturierten OberflächenPhataralaoha, A. / Paulkowski, D. / Bandorf, R. / Küster, R. / Büttgenbach, S. / Bräuer, G. et al. | 2007
-
Generation of Multi-Energy Domain Macromodels of Highly Perforated and Deformable Microstructures Exposed to Squeeze Film DampingNiessner, Martin / Schrag, Gabriele / Wachutka, Gerhard et al. | 2007
-
Smart Active Label – Low Cost Mikrosysteme für MassenanwendungenKriebel, Frank et al. | 2007
-
Generation of µ - hydrogel spots for cell biology: a new tool for tissue engineering and stem cell cultureEhrhart, F. / Gepp, M. M. / Baunach, J. J. S. / Wählisch, F. / Dörr, D. / Howitz, S. / Stark, R. W. / Zimmermann, H. et al. | 2007
-
Microfluidic Platforms for Miniaturization, Integration and Automation of Biochemical AssaysHaeberle, Stefan / Ducrée, Jens / Stetten, Felix von / Zengerle, Roland et al. | 2007
-
Integrierte Anzeigen auf Leiterplatte auf Basis von hocheffizienten organischen Leuchtdioden (OLED)Kirchhof, Christian / Todt, Ulrich / Hofmann, Michael / Schneider, Oliver et al. | 2007
-
PCR im kontinuierlichen Fluss: Chips, Gerät und Methoden zur miniaturisierten PCRBecker, Holger / Klemm, Richard / Carstens, Cornelia / Gärtner, Claudia et al. | 2007
-
Multi-target reactive sputtering technology for functional Pb(Zr,Ti)O3 thin films on 6 inch wafersVidyarthi, Vinay Shankar / Suchaneck, Gunnar / Gerlach, Gerald et al. | 2007
-
Herstellungsverfahren für Vakuum gekapselte resonante Mikrospiegel auf WaferebeneOldsen, Marten / Hofmann, Ulrich / Quenzer, Hans-Joachim / Wagner, Bernd et al. | 2007
-
Einflüsse auf die Laufzeitbestimmung bei der transienten FEM-Simulation von akustischen Sender-Empfänger-AnordnungenFriedrich, Sebastian / Pfeifer, Günther et al. | 2007
-
Planar Micro Flame Ionisation DetectorKuipers, W. J. / Müller, J. et al. | 2007
-
Cantilever-Based Tactile Sensor with Improved Sensitivity for Dimensional Metrology of MicrocomponentsSpinner, S. / Cornils, M. / Paul, O. / Ruther, P. et al. | 2007
-
Konzepte zur ereignisdiskreten Regelung verteilter ProzesseHilgers, Peter / Ament, Christoph et al. | 2007
-
Conducting silver hybrid particles for RFID applicationsTürke, Alexander / Pich, Andrij / Adler, H.-J. P. / Fischer, W.-J. et al. | 2007
-
Optimierung und Charakterisierung eines Membranspiegels zur dynamischen FokussierungMescheder, Ulrich / Huster, Rolf / Kronast, Wolfgang / Hellmuth, Thomas / Khrennikov, Konstantin et al. | 2007
-
Direkte und inverse Kinematik für ein Lasertrackersystem mit GalvanometerscannerWachten, Christian / Müller, Claas / Ament, Christoph / Reinecke, Holger et al. | 2007
-
Konzepte für die Fachkräftesicherung zum Erhalt der Wettbewerbsfähigkeit und Weiterentwicklung von UnternehmenCappek, M. / Grimm, J. / Reinhold, C. et al. | 2007
-
Intelligente Textilien für ein Ernährungs- und Wasserhaushaltsmanagement - NutriwearMüller, Katrin et al. | 2007
-
Mikro-Nano-Integration am Beispiel eines neuartigen Kohlenstoff- Nanoröhren-AktorsKoker, Torsten / Gengenbach, Ulrich / Bade, Klaus / Seemann, Klaus / Peña, Zoé / Kolew, Alexander et al. | 2007
-
Einsatzmöglichkeiten der Mikrosystemtechnik in der dezentralen Energietechnik: Stand der Technik, Anforderungen, FuE-BedarfHeusinger, Peter / Ronge, Karlheinz et al. | 2007
-
Ordnungsreduktion als Simulationsmethode zur Berücksichtigung von Einflüssen der Aufbau- und Verbindungstechnik in der MEMS-GesamtsystemsimulationGugel, Denis / Sattler, Robert / Mehner, Jan / Dötzel, Wolfram et al. | 2007
-
Energy scavengers for wireless autonomous sensor nodesHohlfeld, D. / Sterken, T. / Altena, G. / Renaud, M. / Wang, Z. / Pop, V. / Vullers, R. J. M. / Boeck, J. De et al. | 2007
-
Integriertes Sensornetzwerk zur Erfassung von Stoßvorgängen in FaserverbundwerkstoffenRoscher, K.-U. / Fischer, W.-J. / Grätz, H. / Heinig, A. / Pfeifer, G. / Starke, E. et al. | 2007
-
Zerstörungsfreie Geometrieparameterbestimmung an einem BeschleunigungssensorarrayDienel, Marco / Dötzel, Wolfram / Mehner, Jan et al. | 2007
-
Einfluss von Verlustmechanismen in OFW-Bauteilen auf die AkustomigrationJewula, Tomasz / Ruile, Werner / Zidek, Herbert / Reindl, Leonhard / Courty, Diana et al. | 2007
-
Low-cost Strömungssensoren mit Chip-integrierter Fluidführung für Anwendungen in der MedizintechnikBillat, Sophie / Kliche, Kurt / Gronmaier, Roland / Nommensen, Peter / Auber, Johannes / Hedrich, Frank / Ashauer, Matthias / Zengerle, Roland et al. | 2007
-
Laser-Display-System auf Basis von MEMS-ScannernSpecht, H. / Kurth, S. / Kaufmann, C. / Hahn, R. / Dötzel, W. / Gessner, T. / Mehner, J. et al. | 2007
-
Zuverlässigkeit für elektronische Bauelemente mit hoher PackungsdichteSommer, J.-P. / Dudek, R. / Michel, B. / Noack, E. / Seiler, B. et al. | 2007
-
Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten SchrittantriebEicher, Dirk / Schlaak, Helmut F. et al. | 2007
-
Erfahrungen bei der Entwicklung eines drahtlosen Autonomen Senornetzes für die AutomatisierungstechnikPost, Peter / Kärcher, Bernd et al. | 2007
-
Pumpenfreier Partikeltransport in mikrofluidischen Lab-On-ChipsBöttcher, Michael / Jäger, Magnus / Duschl, Claus / Müller, Torsten / Schnelle, Thomas et al. | 2007
-
Forensische Untersuchungen mittels MEMS-SpektrometernOtto, Thomas / Saupe, Ray / Weiß, Alexander / Stock, Volker / Geßner, Thomas et al. | 2007
-
Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Aluminiumnitrid- Dünnschichten für MEMS AnwendungenAbabneh, A. / Seidel, H. / Schmid, U. et al. | 2007
-
Comparison of low temperature bonding approaches for application in micro optical devicesHiller, Karla / Kurth, Steffen / Neumann, Norbert / Heinz, Steffen / Gessner, Thomas et al. | 2007
-
Nasschemisches Ätzen ultra-dünner Gläser als Substratmaterial für miniaturisierte BauelementeNgo, Luong van / Behnel, Nils / Seidel, Helmut / Schmid, Ulrich et al. | 2007
-
Eine neue Methode zur Untersuchung der durch AVT-Verfahren verursachten thermomechanischen Spannungen mittels eines TestchipsMajcherek, S. / Leneke, T. / Ranzenberger, B. / Hirsch, S. / Schmidt, B. et al. | 2007
-
Hydrophobic Coatings for MEMSDoms, M. / Feindt, H. / Salvador, A. / Brinkhues, S. / Shewtanasoontorn, D. / Müller, J. et al. | 2007
-
Bulge Testing of Silicon Nitride Thin Films at the Wafer LevelGaspar, J. / Smorodin, T. / Stecher, M. / Paul, O. et al. | 2007
-
PipeJet(TM) P4.5 – Kostengünstiger Kompakt-Nanoliter-Dosierer im MikrotiterplattenformatRiegger, Lutz / Streule, Wolfgang / Henze, Carolin / Zengerle, Roland / Koltay, Peter et al. | 2007
-
Magnetic systems for airport and road traffic surveillanceGao, Haibin / Wolff, Jörg / Hartmann, Uwe / Weinmann, Michael / Voit, Stefan / Heuer, Thomas et al. | 2007
-
Entwicklung einer modularen Fertigungseinrichtung zur präzisen Justierung von faseroptischen KomponentenSchaefer, Lorenz / Zimmermann, Maik / Rank, Matthias et al. | 2007
-
Low cost RFID tags based on printed ElectronicsClemens, Wolfgang et al. | 2007
-
Micro- and Nanosecurity – Security by Means of Miniaturization in Microsystem TechnologyMichel, Bernd / Winkler, Thomas et al. | 2007
-
Replikation von Mikrostrukturen durch Vakuum-ThermoformingDisch, Alexander / Müller, Claas / Reinecke, Holger et al. | 2007
-
Emulator für piezoelektrische AktorenSchemmer, Benedikt / Schlaak, Helmut F. et al. | 2007
-
Contact-free Component Assembly – A New Approach in Microsystem PackagingBecker, K.-F. / Fiedler, S. / Bauer, J. / Mollath, G. / Schreck, G. / Kolesnik, I. / Reichl, H. et al. | 2007
-
Chancen und Risiken autonomer verteilter MikrosystemeSchischke, Karsten / Reichl, Herbert / Zuber, Karl Heinz / Beucker, Severin et al. | 2007
-
A new miniaturized Electronic Pill (ePille(R)) for mass medical application with bi-directional communication systemFawaz, Nidal / Jansen, Dirk et al. | 2007
-
Bio Impedance Spectroscopy with Textile ElectrodesZimmermann, Nadine / Gries, Thomas / Medrano, Guillermo / Leonhardt, Steffen et al. | 2007
-
Charakterisierung mikrooptischer Abstandssensoren aus einer Versuchsfertigung - Beurteilung der Bauteil- und Montagetoleranzen -Hollenbach, U. / Gartner, M. / Grund, T. / Mohr, J. et al. | 2007
-
MEMS Characterization Technique Based on Special Designed Test-StructuresShaporin, Alexey / Forke, Roman / Doetzel, Wolfram / Mehner, Jan et al. | 2007
-
PipeJet-Tip(TM) - Nanoliter-Dispenser mit kostengünstigen Dosierelementen und eingebautem ReservoirStreule, W. / Hiltmann, K. / Arnold, M. / Kück, H. / Zengerle, R. / Koltay, P. et al. | 2007
-
Mikro-Magnetometer nach dem Fluxgate-Prinzip für Anwendungen in der Roboter-Sensorik: Design und mikrotechnologischer FertigungsprozessKirchhoff, M. R. / Güttler, J. / Büttgenbach, S. et al. | 2007
-
Innovative Lichtlenksysteme zur Tageslichtnutzung und zur Wärmeregulierung in Gebäuden auf der Basis von MikrospiegelarraysViereck, V. / Li, Q. / Jäkel, A. / Werner, S. / Ackermann, J. / Dharmarasu, N. / Hillmer, H. et al. | 2007
-
Modellbasierte Verfahren zur Bestimmung der LuftgütePeter, A. / Ament, Ch. / Bauersfeld, M.-L. / Rademacher, S. / Wöllenstein, J. / Kritwattanakhron, J. / Kovács, A. / Müller, B. / Mescheder, U. et al. | 2007