Effect of residual stress on RF MEMS switch (Englisch)
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In:
Microsystem Technologies
;
17
, 12
;
1739-1745
;
2011
-
ISSN:
- Aufsatz (Zeitschrift) / Print
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Titel:Effect of residual stress on RF MEMS switch
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Beteiligte:Dutta, Shankar ( Autor:in ) / Imran, Mohd ( Autor:in ) / Pal, Ramjay ( Autor:in ) / Jain, K.K. ( Autor:in ) / Chatterjee, R. ( Autor:in )
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Erschienen in:Microsystem Technologies ; 17, 12 ; 1739-1745
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:2011
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Format / Umfang:7 Seiten, 10 Bilder, 14 Quellen
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ISSN:
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Coden:
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis – Band 17, Ausgabe 12
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