Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsfreie aktive Membranspiegel in SOI Technologie (Deutsch)
- Neue Suche nach: Kronast, Wolfgang
- Neue Suche nach: Mescheder, Ulrich
- Neue Suche nach: Müller, Bernhard
- Neue Suche nach: Huster, Rolf
- Neue Suche nach: Kronast, Wolfgang
- Neue Suche nach: Mescheder, Ulrich
- Neue Suche nach: Müller, Bernhard
- Neue Suche nach: Huster, Rolf
In:
Von Bauelementen zu Systemen, Mikrosystemtechnik-Kongress, 5
;
432-435
;
2013
-
ISBN:
- Aufsatz (Konferenz) / Datenträger
-
Titel:Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsfreie aktive Membranspiegel in SOI Technologie
-
Weitere Titelangaben:Development of a stress relief structure for stress free active micro mirrors in SOI technology
-
Beteiligte:Kronast, Wolfgang ( Autor:in ) / Mescheder, Ulrich ( Autor:in ) / Müller, Bernhard ( Autor:in ) / Huster, Rolf ( Autor:in )
-
Erschienen in:
-
Verlag:
- Neue Suche nach: VDE-Verlag
-
Erscheinungsort:Berlin, Offenbach
-
Erscheinungsdatum:2013
-
Format / Umfang:4 Seiten, 9 Bilder, 1 Tabelle, 7 Quellen
-
ISBN:
-
Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
-
Format:Datenträger
-
Sprache:Deutsch
-
Schlagwörter:
-
Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis Konferenzband
Die Inhaltsverzeichnisse werden automatisch erzeugt und basieren auf den im Index des TIB-Portals verfügbaren Einzelnachweisen der enthaltenen Beiträge. Die Anzeige der Inhaltsverzeichnisse kann daher unvollständig oder lückenhaft sein.
-
LabTube – eine innovative Plattform zur Assay-Automatisierung in LaborzentrifugenFiebach, Ana R. / Zhang, Shuo / Drechsel, Lisa / Kloke, Arne / Fritzemeier, Nina / Wulff, Dörte / Steigert, Jürgen / Stetten, Felix von / Zengerle, Roland / Paust, Nils et al. | 2013
-
Zentrifugo-thermopneumatisches Aliquotieren auf der LabDisk und Anwendung zum DNA-basierten Nachweis verschiedener BakterienKeller, M. / Focke, M. / Strohmeier, O. / Reith, P. / Roth, G. / Mark, D. / Zengerle, R. / Stetten, F. von et al. | 2013
-
Räumlich modulierte Fluoreszenz für die miniaturisierte DurchflusszytometrieBaßler, Michael / Myagmar, Khaliun / Sommer, Christian / Quint, Stephan et al. | 2013
-
Fluidischer Partikeltransport an Grenzflächen durch aktorisch bewegte Mikrohaare mit schaltbarer NanostrukturierungRockenbach, A. / Kunder, M. / Uhlmann, P. / Brücker, C. / Hess, A. / Schnakenberg, U. et al. | 2013
-
Mikrofluidisches Modell der Blut-Hirn-SchrankeKiessling, Heiko / Stelzle, Martin / Schütte, Julia et al. | 2013
-
Mehrachsiger piezoelektrischer Aktuator für optische KomponentenKampmann, Michael / Stoppel, Fabian / Quenzer, Hans-Joachim / Kaden, Dirk / Janes, Joachim / Wagner, Bernhard et al. | 2013
-
Freiform Einzelschicht-Biegewandler: Neue Designfreiheit für PiezoaktorenWapler, Matthias C. / Brunne, Jens / Wallrabe, Ulrike et al. | 2013
-
Vom Sattel bis zur Sphäre: Piezobiegeaktoren mit variabler OberflächenkrümmungStürmer, Moritz / Wapler, Matthias C. / Brunne, Jens / Wallrabe, Ulrike et al. | 2013
-
Herstellung eines preiswerten, bistabilen Mikroventils mit niedriger AnsteuerspannungBarth, A. / Krabbe, S. / Schomburg, W. K. et al. | 2013
-
Magnetische Sensoren auf Mars – ein deutscher Beitrag zur “Curiosity” MissionSlatter, Rolf et al. | 2013
-
AMR vs. GMR vs. TMR – Eigenschaften, Unterschiede, AnwendungenDoms, Marco / Paul, Johannes / Lehndorff, Ronald / Grimm, Hubert et al. | 2013
-
Implementierung einer magnetischen Delta-Sigma-Rückkopplung zur Regelung der Auslese eines AMR-MagnetfeldsensorsKuderer, M. / Nouna, R. / Keller, M. / Mintenbeck, D. / Manoli, Y. et al. | 2013
-
MEMS based magnetoelectric field sensor characteristics under vacuum and after heat treatmentLofink, F. / Marauska, S. / Jahns, R. / Kirchhof, Ch. / Claus, M. / Knöchel, R. / Quandt, E. / Wagner, B. et al. | 2013
-
Gedruckte ferritkernbasierte Ringkernspulen als MagnetfeldsensorenKeck, J. / Polzinger, B. / Eberhardt, W. / Kück, H. / Giousouf, M. / A. Kießling, / Schreivogel, A. / J. Kostelnik, et al. | 2013
-
Vertikal ausgerichtete Kohlenstoffnanoröhren-Teppiche als Basismaterial in DehnungsmessstreifenRiekeberg, S. / Trieu, H. K. / Müller, J. et al. | 2013
-
Silicium-Platin Nanostrukturen für hochgradig Infrarot-emissive Oberflächen in Hotplate-EmitternMüller, Lutz / Hoffmann, Martin / Käpplinger, Indira / Brode, Wolfgang / Biermann, Steffen et al. | 2013
-
Neuartige laserinduzierte ITO Nanodrähte für Gassensorik-AnwendungenAfshar, M. / Preiß, E. / Sauerwald, T. / Schütze, A. / Feili, D. / Seidel, H. et al. | 2013
-
Gold-Nanodrähte auf Mikroelektroden zur extrazellulären Ableitung elektrogener ZellenNick, C. / Quednau, S. / Sarwar, R. / Thielemann, C. / Schlaak, H. F. et al. | 2013
-
Nano-modifiziertes flexibles Mikroelektroden-Array mit integriertem CMOS-Chip für medizinische AnwendungenWinkin, N. / Gierth, U. / Michaelis, A. / Mokwa, W. / Rabbow, T. et al. | 2013
-
Enabling efficient design of self-supplied SSHI-circuit for piezoelectric MEMS energy harvesterHohlfeld, Dennis / Sayed, Fatma / Eker, Muharrem / Rudnyi, Evgenii / Bechtold, Tamara / Korvink, Jan G. et al. | 2013
-
Preiswerter und robuster Harvester für VibrationsenergieMescheder, Ulrich / Gu, Qingyun / Müller, Bernhard et al. | 2013
-
Experimentelle Evaluierung piezokeramischer Materialien für nicht-lineare Energy Harvesting VibrationswandlerNeiss, S. / Goldschmidtboeing, F. / Kroener, M. / Woias, P. et al. | 2013
-
Doppelresist-Prozess zur Herstellung eines Mikro-Thermogenerators im cross-plane Design mit reflowgelöteten KontaktenRoth, Reinhard / Rostek, Raimar / Cobry, Keith / Woias, Peter et al. | 2013
-
Gehäusetechnologien für SAW-Filter, MEMS-Mikrofone und DrucksensorenFeiertag, Gregor / Waber, Tobias / Bauer, Christian / Krüger, Hans / Leidl, Anton / Pahl, Wolfgang / Seitz, Stefan et al. | 2013
-
TSVs mit hohem Aspektverhältnis und Kupfer-Bonden für MEMSHofmann, Lutz / Baum, Mario / Schulz, Stefan. E. / Wiemer, Maik / Geßner, Thomas et al. | 2013
-
Aufbau konfigurierbarer Kamera-Mikrosysteme durch Kombination mikrotechnischer VerfahrenBarth, M. / Beyer, S. / Graf, H.-G. / Scheithauer, H. / Keßler, U. / Eberhardt, W. / Kück, H. et al. | 2013
-
3D-Assemblierungsverfahren für intrakortikale SondenarraysBarz, Falk / Paul, Oliver / Ruther, Patrick et al. | 2013
-
Elektrostatische und fluidische Selbstassemblierung für die hochgenaue Mikro-Montage von MEMSMouselimis, Konstantinos / Gan, Yifei / Huhn, Andreas / Wilde, Jürgen et al. | 2013
-
Opto-mechanische Mikrosysteme zur hyperspektralen BildgebungGrewe, A. / Endrödy, C. / Fütterer, R. / Cu-Nguyen, P.-H. / Steiner, S. / Hillenbrand, M. / Correns, M. / Hoffmann, M. / Linß, G. / Zappe, H. et al. | 2013
-
Flachbauende Multiaperturkameras mit Freiformarrays hergestellt in Wafer Level TechnologieDunkel, J. / Brückner, A. / Reimann, A. / Wippermann, F. / Bräuer, A. et al. | 2013
-
Mikrooptisches head-mounted DisplaySchreiber, Peter / Sieler, Marcel et al. | 2013
-
Planar integrierte opto-fluidische Mikrosysteme aus PMMA für die PartikelanalyseHofmann, Meike / Müller, Ralf / Grewe, Adrian / Brodersen, Olaf / Sinzinger, Stefan et al. | 2013
-
Anwendungen Chip-basierter photonischer Systeme aus amorphem Silizium in der Kommunikationstechnik und der Bio-SensorikLipka, Timo / Amthor, Julia / Trieu, Hoc Khiem / Müller, Jörg et al. | 2013
-
Ein CMOS-Stresskartierungssystem mit 24 FET-basierten Stresssensoren für intelligente kieferorthopädische BracketsKuhl, Matthias / Gieschke, Pascal / Paul, Oliver / Manoli, Yiannos et al. | 2013
-
Smart ToothBecker, Felix / Sander, Christian / Schmidt, Falko / Lapatki, Bernd / Paul, Oliver et al. | 2013
-
Klinische Erprobung eines intraoralen Medikamentendosiersystems mit telemedizinischem TherapiemonitoringHerrlich, S. / Nouna, Rachid / Spieth, Sven / Zengerle, R. et al. | 2013
-
Kapazitive integrierte Drucksensoren für ein implantierbares System zur drahtlosen Druckmessung in der PulmonalarterieGembaczka, P. / Görtz, M. / Kordas, N. / Lerch, R. / Müntjes, J. / Kraft, M. / Mokwa, W. et al. | 2013
-
Adaptive Mikrolinsen basierend auf Aluminiumnitrid MembranenLeopold, Steffen / Pätz, Daniel / Sinzinger, Stefan / Hoffmann, Martin et al. | 2013
-
Thermisch aktuierbare asphärische MikrospiegelPauls, M. / Brunne, J. / Wallrabe, U. et al. | 2013
-
7mm-MEMS-Spiegel für einen omnidirektionalen LaserscannerHofmann, Ulrich / Senger, Frank / Stenchly, Vanessa / Hagge, Jürgen / Mallas, Christian / Wantoch, Thomas von / Janes, Joachim / Benecke, Wolfgang et al. | 2013
-
Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen MultischichtenKovacs, A. / Malisauskaite, A. / Ivanov, A. / Mescheder, U. et al. | 2013
-
Gemeinsame Entwicklungsthemen für Halbleiterhersteller und ihre Zulieferer in DeutschlandSchellenberger, Martin et al. | 2013
-
Heterogeneous 3D Integration for Smart SystemsWolf, Juergen / Lang, Klaus-Dieter et al. | 2013
-
Smart Packaging in der Fertigung von ElektroniksystemenWolf, J. / Kostelnik, J. et al. | 2013
-
Integrierte ein Chip Lösung für die Synchronisation von Hochvoltmotoren im ns BereichLiem, Marco et al. | 2013
-
Flexible Systeme in Folie – Intelligente Haut für MaschinenHarendt, Christine / Burghartz, Joachim N. et al. | 2013
-
Sensorbasierte Mikrosysteme zur Überwachung von Fertigungs-prozessenLahmann, Heinz-Wolfgang et al. | 2013
-
Laser-Rangefinder auf Basis von MEMS-Spiegeln für adaptive Robo-tikBogatscher, Siegwart / Streck, Andreas / Fox, Maik / Meinzer, Sebastian / Stork, W. et al. | 2013
-
Absolute Positionsbestimmung mit magnetoresistiven SensorenVoss, A. / Meisenberg, A. / Pieper, R. / Bartos, A. et al. | 2013
-
Fernmonitoring komplexer Fertigungsprozesse mit Hochgeschwindigkeits-BildsensorenDöge, Jens / Schäfer, Edgar et al. | 2013
-
Mobile Robotik in der HalbleiterfertigungPollack, Steffen et al. | 2013
-
Neue Märkte durch intelligente InertialsensorsystemeSchunke, Stefan et al. | 2013
-
Kohlenstoff-dotierter-Fotolack als Elektrodenmaterial für die in-situ Messung von NitritWahn, L. / Behrendt, L. / Hemanth, S. / Trieu, H. K. et al. | 2013
-
Echtzeit Analyse von Spurenkontaminationen in wässrigen Lösungen im ppb-BereichBauhuber, Michael / Hutterer, Albert / Hummel, Helmut / Lechner, Alfred et al. | 2013
-
Mikrothermischer Sensor zur Bestimmung von Methanolkonzentration und Strömungsgeschwindigkeit für DirektmethanolbrennstoffzellenSchmitt, Bastian / Kiefer, Christian / Schütze, Andreas et al. | 2013
-
Mikro-Helmholtzspule mit austauschbaren, mikrofluidischen Probenbehältern für MRT-Mikroskopie und -SpektroskopieSpengler, N. / Moazenzadeh, A. / Meier, R. Ch. / Badilita, V. / Korvink, J. G. / Wallrabe, U. et al. | 2013
-
Mikrokraftsensor als Transfernormal für die Kalibrierung von AntastkräftenBütefisch, S. / Weimann, T. / Danzebrink, H.-U. / Flügge, J. / Solzbacher, F. et al. | 2013
-
Sensitivitätssteigerung von piezoelektrischen, resonant angetriebenen Mikrosensoren durch digitale Q-FaktorverstärkungKucera, Martin / Hofbauer, Franz / Wistrela, Elisabeth / Bittner, Achim / Schmid, Ulrich et al. | 2013
-
Resonanter berührungsloser Mikrotastkopf in Silicium-MikromechanikGoj, Boris / Dressler, Lothar / Hoffmann, Martin et al. | 2013
-
MEMS-Testeinrichtung für die Wafer-Level-Charakterisierung von integrierten KohlenstoffnanoröhrenShaporin, A. / Voigt, S. / Bonitz, J. / Hermann, S. / Hartmann, S. / Kaufmann, C. / Mehner, J. / Schulz, S. E. / Wunderle, B. / Gessner, T. et al. | 2013
-
Funktionale 3D-Strukturierung von Keramiken zur Herstellung sensorischer MikrosystemeZiesche, Steffen / Lenz, Christian / Lohrberg, Carolin et al. | 2013
-
CMOS basierte Mikrosystemplattformen - Integrierte Hochfrequenz-, MEMS- und Photonic-ModuleMai, A. / Tillack, B. / Knoll, D. / Heinemann, B. / Kaynak, M. / Lischke, S. / Sorge, R. / Zimmermann, L. / Mehr, W. et al. | 2013
-
Farb- und Multispektralsensoren mit CMOS-Nanostrukturen zur LED-LichtsteuerungJunger, Stephan / Verwaal, Nanko / Tschekalinskij, Wladimir / Weber, Norbert et al. | 2013
-
Ultradünne Siliziumchips in flexiblen MikrosystemenWolf, J. / Berschauer, K. / Gneiting, T. / Harendt, C. / Kostelnik, J. / Kugler, A. / Lorenz, E. / Rempp, H. et al. | 2013
-
CMOS integrierte Spannungsversorgung basierend auf Mikro-BrennstoffzellenMoranz, C. / Kuhl, M. / Zimmermann, D. / Becker, J. / Müller, C. / Reinecke, H. / Manoli, Y. et al. | 2013
-
LTCC Membranen mit integrierter Heizern, Temperatur- und Deh-nungssensorikGutzeit, N. / Appelfelder, M. / Reinlein, C. / Fischer, M. / Müller, J. et al. | 2013
-
Entwicklung eines robusten, keramischen MEMS - Packaging als hermetisch dichtes und hoch-schockfestes SMD-BauteilGoldberg, Adrian / Ihle, Martin / Ziesche, Steffen / Külls, Robert et al. | 2013
-
Herstellung textilverstärkter Verbundbauteile mit strukturintegrierten SensornetzwerkenHeinig, Andreas / Weder, Andreas / Fischer, Wolf-Joachim et al. | 2013
-
Innovationsbeschleunigung: Vorteile für Start-ups durch strategische ClusterentwicklungNestle, V. / Neuy, C. / Sautter, B. / Schmierer, C. et al. | 2013
-
Erweiterungen und Anwendungen der BDRIE-Technologie zur Herstellung hermetisch gekapselter Sensoren mit hoher GüteHiller, K. / Hahn, S. / Küchler, M. / Billep, D. / Forke, R. / Köhler, D. / Konietzka, S. / Pohle, A. / Geßner, T. et al. | 2013
-
Verbesserter Herstellungsprozess für dreidimensionale mikromechanische Sensoren aus SU-8-FotoresistOerke, Alexa / Büttgenbach, Stephanus / Dietzel, Andreas et al. | 2013
-
Neues LIGA2.X Verfahren zur industriellen Fertigung von hochpräzisen Kunststoff-MikrobauteilenHeneka, J. / Guttmann, M. / Hanemann, T. / Plewa, K. / Mohr, J. / Saile, V. et al. | 2013
-
Herstellung ferroelektrischer Dünnschichten mittels direkter UV-LithografieBenkler, Manuel / Paul, Florian / Hanemann, Thomas et al. | 2013
-
Rolle-zu-Rolle-Produktion von Mikrosystemen aus Kunststofffolien mittels UltraschallheißprägenMemering, B. / Gerhardy, C. / Schomburg, W. K. et al. | 2013
-
Entwicklung eines SiC basierten LeistungswandlermodulsKnoll, Heiko et al. | 2013
-
Effiziente Energiewandlung mit GaN-basierter LeistungselektronikWaltereit, Patrick / Reiner, Richard / Müller, Stefan / Czap, Heiko / Mikulla, Michael / Ambacher, Oliver et al. | 2013
-
Konzepte für halbleiterbasierende Schutzschalter für Gleichspannungsbord- und Verteilnetze – BMBF Vorhaben NEST-DCMauder, Anton / Koszescha, Jochen et al. | 2013
-
Hocheffiziente Leistungsverstärker für drahtlose KommunikationssystemePaulo, Robert / Wolf, Robert / Fritsche, David / Ihle, David / Kreißig, Martin / Schulze, Johannes / Tzschoppe, Christoph / Ellinger, Frank et al. | 2013
-
Energieeffiziente Sensornetze zur AnlagenüberwachungNiedermayer, Michael / Guttowski, Stephan / Lang, Klaus-Dieter et al. | 2013
-
Energieautarke Sensorik und Interaktion mit mobilen Anwendern – Ziele und Inhalte des Verbundprojekts ESIMAKärcher, Bernd / Haase, Heiko / Hülsmann, Steffen et al. | 2013
-
Kapazitive Dosierüberwachung für die Mikroschmierung von Präzisionslagern in HochleistungsspindelnKibler, S. / Meier, C. / Möller, B. / Richter, M. / Kutter, C. et al. | 2013
-
Mikrotropfenerzeuger Hergestellt mit Rapid Manufacturing VerfahrenKagerer, Markus / Eiler, Kenji L. / Ottnad, Thomas / Irlinger, Franz / Lueth, Tim C. et al. | 2013
-
Herausforderungen für die Anwendung von kontaktfreien Dosiertechniken in in-vitro Diagnostik (IVD) AnalysesystemenLosleben, Nadine / Spinke, Jürgen / Zengerle, Roland / Oranth, Norbert et al. | 2013
-
Erzeugung von Verdünnungsreihen auf einer LaborzentrifugeStrohmeier, O. / Rombach, M. / Mark, D. / Roth, G. / Zengerle, R. / Stetten, F. von et al. | 2013
-
Entwicklung und Simulation passiver Mikromischer für Strömungen im Bereich niedriger Reynolds-ZahlenLorenz, T. / Al-Halhouli, A. T. / Mohsen, M. / Matar, M. / Büttgenbach, S. / Dietzel, A. et al. | 2013
-
Entwicklung von Kanalstrukturen mit dem Anwendungsziel ZytometerFreundlieb, M. / Schütte, H. / Schlüter, M. / Lilienhof, H. J. et al. | 2013
-
Gasaustauschsystem mit hochgradig parallelisierten MikrokanälenRieper, T. / Wehrstein, B. / Maurer, A. N. / Müller, C. / Reinecke, H. et al. | 2013
-
Topological microfluidic structures for rapid mixing of emulsionsLand, K. J. / Mbanjwa, M. M. / Korvink, J. G. et al. | 2013
-
Mikrofluidisches Chipsystem mit integriertem Elektrodenlayout für zellbasierte toxikologische AnalysenBüttner, B. / Ott, J. / Priem, M. / Hofmann, U. / Michaelis, S. / Wegener, J. / Feller, K.-H. et al. | 2013
-
Automatisierte Vor-Ort-Detektion von Botulinum Toxin auf der LabDisk PlattformOordt, T. van / Stevens, G. / Vashist, S. / Urban, G. / Zengerle, R. / Stetten, F. von et al. | 2013
-
DNA-Gelelektrophorese in offenen mikrofluidischen SystemenGutzweiler, Ludwig / Riegger, Lutz / Koltay, Peter / Zengerle, Roland / Tanguy, Laurent et al. | 2013
-
Rapid Immunodiagnostic Kits based on proprietary 1-step chemistry for covalent and leach-proof antibody immobilisationVashist, S. K. / Czilwik, G. / Stetten, F. von / Zengerle, R. et al. | 2013
-
Mikrofluidisches System für AgglutinationsuntersuchungenMorschhauser, A. / Geidel, S. / Große, A. / Nestler, J. / Otto, T. / Gessner, T. et al. | 2013
-
Herstellung und Charakterisierung von mikrofluidischen Strukturen für die Analyse von hochdichten PeptidarraysSchillo, S. M. / Fischer, A. / Huang, S. / Hahn, K. L. et al. | 2013
-
Segmentierte, geschlossene Mikrobioreaktoren für Hochdurchsatzapplikationen humaner embryonaler StammzellenMeiser, I. / Primavessy, D. A. A. / Beier, A. F. J. / Gastrock, G. / Lemke, K. / Zimmermann, H. / Neubauer, J. C. et al. | 2013
-
Mikrofluidische Partikelmanipulation mit elektrischen FeldkräftenRuffert, Christine / Müller, Stefan / Rissing, Lutz et al. | 2013
-
Automatisierung der DNA Extraktion aus Vollblut unter Verwendung magnetischer Partikel auf der LabDisk PlattformWadle, S. / Strohmeier, O. / Rombach, M. / Mark, D. / Zengerle, R. / Stetten, F. von et al. | 2013
-
Immunoassay auf der LabDisk Plattform auf Basis einer Grundopera-tion zum Transfer magnetischer PartikelCzilwik, G. / Jin, J. / Roth, G. / Vashist, S. / Oordt, T. van / Strohmeier, O. / Stetten, F. von / Zengerle, R. / Mark, D. et al. | 2013
-
Automatisierte elektrochemische On-Chip-Medikamentenüberwachung mit Mikropartikeln auf integrierten MagnetstrukturenMoschallski, Meike / Templin, Markus / Maier, Sandra / Stelzle, Martin / Becker, Holger / Möller, Andreas / Boven, Karl-Heinz et al. | 2013
-
Optimierung von Chip-Architekturen effizienter Zellsorter basierend auf dem Elektrowetting-VerfahrenSchreiber, Fedor / Rennings, Andreas / Erni, Daniel et al. | 2013
-
Entwicklung einer Mikrochip navigierten ZellsortieranlageKahnert, S. / Goehlich, A . / Greifendorf, D. / Vogt, H. / Lennartz, K. / Kirstein, U. / Goellner, B. / Michelsen, U. / Bartels, F. et al. | 2013
-
Mikrosysteme für die ZellmanipulationGarcés Diedrich, Mayra / Hoxhold, Björn / Beutel, Tobias / Ferreira, Nelson / Leester-Schädel, Monika / Büttgenbach, Stephanus / Dietzel, Andreas et al. | 2013
-
Nanoabguss von rauen Glasoberflächen für die optische LichtstreuungDöring, Christoph / Hein, Eric / Saiad, Mohamed Oulad / Fouckhardt, Henning et al. | 2013
-
Hocheffizienter piezoelektrischer Mikrospiegel mit hohen Frequenzen und AmplitudenGu-Stoppel, Shanshan / Janes, Joachim / Quenzer, Hans-Joachim / Hofmann, Ulrich / Benecke, Wolfgang et al. | 2013
-
Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsfreie aktive Membranspiegel in SOI TechnologieKronast, Wolfgang / Mescheder, Ulrich / Müller, Bernhard / Huster, Rolf et al. | 2013
-
120° Doppelspiegel aus Silizium für den Einsatz in einem MOEMS-GyroskopNiesel, Thalke / Dietzel, Andreas et al. | 2013
-
Parallelisierte Fertigung mikro-optischer KameraobjektiveWippermann, F. C. / Reimann, A. / Dunkel, J. / Bräuer, A. et al. | 2013
-
Mikrosystemtechnische Realisierung eines Zeitbereichsfilters für ultrakurze optische PulseBohling, M. / Jahns, J. / Mohr, J. / Börner, M. et al. | 2013
-
Fertigung laminarer optischer Gitter am HZBLemke, Stephanie / Seliger, Tino / Naß, Christopher / Göttert, Philipp / Rudolph, Ivo / Kutz, Oliver / Gwalt, Grzegorz / Nelles, Bruno / Senf, Fridmar / Löchel, Bernd et al. | 2013
-
Gitterstrukturen mit hohem Aspektverhältnis für eine neuartige auf Phasen- und Dunkelfeldkontrast beruhende RöntgenbildgebungMeiser, Jan / Kunka, Danays / Meyer, Pascal / Koch, Frieder / Amberger, Maximilian / Schulz, Joachim / Walter, Marco / Mohr, Jürgen et al. | 2013
-
Refraktive Röntgenlinsen zur Intensitätserhöhung im Spot einer RöntgenröhreVogt, H. / Last, A. / Mohr, J. / Marschall, F. / Kluge, M. / Nazmov, V. / Mettendorf, K.-U. / Eisenhower, R. et al. | 2013
-
Polarisationsunabhängige SOI-Wellenleiter und integrierte SOI-PolarisationsdreherAmthor, Julia / Horn, Oliver / Gong, Lin / Lipka, Timo / Trieu, Hoc Khiem / Müller, Jörg et al. | 2013
-
Neuer optischer Sensor zur Bestimmung des Ecklastfehlers in WaagenMüller, Ralf / Völlmeke, Stefan / Förster, Erik et al. | 2013
-
Miniaturisierte optische Integrationsplattform für III-N basierte opto-chemische DetektorenKleindienst, R. / Cimalla, V. / Eickhoff, M. / Grewe, A. / Holc, K. / Schätzle, J. / Schörmann, J. / Schwarz, U. / Teubert, J. / Sinzinger, S. et al. | 2013
-
Mikrolasertracker zur multisensorischen 3D-KoordinatenmessungMarkweg, Eric / Weinberger, Stefan / Nguyen, Tran Trung / Schädel, Martin / Brodersen, Olaf / Ament, Christoph / Hoffmann, Martin et al. | 2013
-
Prototyp eines Reachthrough-SiliziumphotomultipliersLong, L. / Brodersen, O. / Hiller, E. / John, W. / Ortlepp, H. G. / Röder, R. et al. | 2013
-
Folienaktor aus einer ferromagnetischen FormgedächtnislegierungPinneker, V. / Sozinov, A. / Kohl, M. et al. | 2013
- 480
-
Piezoelektrische AIN-Bimorphe als niederfrequent-resonante Mikroaktoren mit großem StellwegHampl, S. / Hoffmann, M. et al. | 2013
- 483
-
Der Einfluss verschiedener Randeinspannungen auf die Verformung oberflächenstrukturierter piezoelektrischer MikromembranantriebeZähringer, Sandra / Purr, Julia / Schwesinger, Norbert et al. | 2013
-
Herstellung von robusten und kostengünstigen Nickel-WanderkeilaktorenLämmle, D. / Schlosser, M. / Schlaak, H. F. et al. | 2013
-
Untersuchung des Bucklingeffektes an mittels gesputtertem Wolfram vorgespannten Siliziummembranen für MikroaktorikanwendungenKirsch, C. / Feili, D. / Schmid, U. / Balck, A. / Leester-Schädel, M. / Büttgenbach, S. / Seidel, H. et al. | 2013
- 496
-
Fertigung eines Mikroktors zur Manipulation von Nanopartikeln auf einem GlassubstratKaiser, M. / Delyagina, E. / Steinhoff, G. / Rissing, L. et al. | 2013
-
Design und Prozessfolge zur Herstellung eines elektromagnetischen Mikroaktors zur Erzeugung einer Flüssigkeitslinse für den Einsatz in einem MikroskopHoheisel, Dominik / Rissing, Lutz et al. | 2013
-
Rotatorischer Mikroaktor auf Basis des Gerotor-Prinzips mit neuartiger fluidischer SteuerungLeester-Schädel, Monika / Thies, Jan-Wilhelm / Schubert, Thomas / Büttgenbach, Stephanus / Dietzel, Andreas et al. | 2013
-
Herstellung und Charakterisierung einer piezoelektrisch aktuierten bidirektionalen Polymer-MikropumpeFeth, H. / Pothof, F. / Thoma, F. / Mueller, C. / Schmidt, T. / Goldschmidtboeing, F. / Woias, P. et al. | 2013
-
Mikropumpe mit elektrostatischem DirektantriebDittrich, L. / Endrödy, C. / Hoffmann, M. et al. | 2013
-
Konzept einer neuartigen Edelstahl-Mikropumpe für Anwendungen in Medizin und BiotechnologieWald, C. / Richter, M. / Holzer, M. / Weigl, M. / Roth, S. et al. | 2013
-
Entwicklung einer pulsationsfreien Pumpe für mikrofluidische AnwendungenHoffmeier, Konrad L. / Hoffmann, Dirk / Schimmelpfennig, Michael / Feller, Karl-Heinz et al. | 2013
-
Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten EnergiegewinnungHampl, S. / Leistritz, B. / Saft, B. / Hoffmann, M. / Hennig, E. et al. | 2013
-
Wirkungsgrade, Charakterisierung und Alterung indoorphotovoltaischer WandlerFreunek, M. / Reindl, L. M. et al. | 2013
-
Nichtlineares Steifigkeits- und Dämpfungsmodell für weiche und harte PZT KeramikenGoldschmidtböing, F. / Neiss, S. / Kröner, M. / Woias, P. et al. | 2013
-
Energy Harvesting mit einer Figur-8 Spule – in Richtung energieautonomer MRI-MessungenHöfflin, J. / Fischer, E. / Hennig, J. / Korvink, J. G. et al. | 2013
-
Angepasste Piezosensorelektronik und integrierte drahtlose Sensornetzwerke zur Herstellung intelligenter LeichtbauteileWeder, Andreas / Geller, Sirko / Fischer, Wolf-Joachim et al. | 2013
- 544
-
Development of an Energy-Autarkic Water Meter Using Wireless M-Bus based on TinyOS platformSikora, Axel / Villalonga, Pankrac / Becker, Philipp / Cisneros, Andres / Hoffmann, Daniel / Willmann, Alexander et al. | 2013
-
Kapazitiver sensitiver Mikroschalter für autarke MikrosystemeFrank, Thomas / Cyriax, Andrea / Long, Li / Steinke, Arndt et al. | 2013
-
Simulation der Energiebilanz von autonomen mobilen SensorsystemenRombach, S. / Meckler, S. / Manoli, Y. et al. | 2013
-
Integrierte Sensorik für HochtemperaturumgebungenWienecke, Anja / Wurz, Marc Christopher / Rissing, Lutz et al. | 2013
-
Sensitivitätsoptimierung von vertikalen Hallsensoren mit drei KontaktenSander, C. / Cornils, M. / Vecchi, M. C. / Paul, O. et al. | 2013
-
Lorentzkraft-basierter MEMS 3D-Magnetfeldsensor für die Integration zu einer 1-Chip 9D IMUBehmüller, M. / Weiss, M. / Claus, M. / Bohse, S. / Schwarzelbach, O. / Schröder, C. / Reimer, K. et al. | 2013
-
Thermisch robuste und hysteresearme Tunnelmagnetowiderstands-Sensoren für Längen- und WinkelmessungenLehndorff, R. / Paul, J. / Casper, F. et al. | 2013
-
Autonomes Sensorsystem für differenzierte BewegungsanalysenBeißner, S. / Dzido, R. / Elbel, T. / Kang, Z. / Lastzka, N. / Niehe, S. / Nowoisky, H. et al. | 2013
-
Entwicklung eines Impulslärm-Dosimeters zur Untersuchung von Ge-hörschädigungen bei MenschenBecsi, L. / Benyoucef, D. / Bier, T. / Kronast, W. / Mescheder, U. et al. | 2013
-
Flexible Verkapselungsschichten für intelligente MikroimplantateWeinmann, Michael / Nisch, Wilfried / Stett, Alfred / Bucher, Volker / Urban, Gerald et al. | 2013
-
Verkapselungstechniken für implantierbare integrierte MEMSDrucksensorenGörtz, M. / Betz, W. / Mokwa, W. / Vogt, H. / Kraft, M. et al. | 2013
-
Laser-strukturierte Keramikadapter für flexible Dünnfilm-NervenelektrodenFiedler, E. / Ordonez, J. S. / Kohler, F. / Stieglitz, T. et al. | 2013
-
CMOS kompatible, nanomodifizierte Multi-Elektroden-ArraysJupe, A. / Goehlich, A. / Meißner, F. / Endler, I. / Vogt, H. et al. | 2013
-
Magnetische Flussführung mit elastisch verbundenen, gekoppelten Resonatoren: Anwendung in der MagnetresonanztomographieBollgrün, P. / Mager, D. / Bock, M. / Korvink, J. G. et al. | 2013
-
Galois-StreuscheibenFouckhardt, Henning / Jaax, Michael / Wolff, Sandra / Lägel, Bert et al. | 2013
-
Horizontales Wachstum von mehrwandigen Kohlenstoffnanoröhren in Mikrogräben in MikrosystemtechnikRiekeberg, S. / Nawaz, A. S. / Trieu, H. K. / Müller, J. et al. | 2013
-
Integration und Charakterisierung von Nanostrukturen in Mikrosysteme für sensorische AnwendungenQuednau, S. / Dassinger, F. / Hottes, M. / Stegmann, C. / Ensinger, W. / Schlaak, H. F. et al. | 2013
-
Nanofluidic gates for diffusion-free controlled release from microfluidic devicesJones, P. D. / Molares, M. E. Toimil / Trautmann, C. / Stelzle, M. et al. | 2013
-
Mechanische Fertigung und Analyse von nanoskaligen optischen StrukturenKühne, S. / Haskic, K. / Löchel, B. / Schmidt, M. et al. | 2013
-
Flexible Mehrlagen-Schaltungen in Dünnschichttechnik: Technologien und CharakteristikaKaiser, Alexander / Rueß, Karin / Matej, Paul / Herbort, Christian / Holl, Bruno / Bauböck, Günther et al. | 2013
-
Variation des intrinsischen Stressgradienten dünner AluminiumnitridschichtenMehner, H. / Leopold, S. / Hoffmann, M. et al. | 2013
-
Neue Materialien und Konzepte für BiobrennstoffzellenKerzenmacher, S. / Danzer, J. / Erben, J. / Kipf, E. / Kloke, A. / Köhler, C. / Sané, S. / Zengerle, R. et al. | 2013
-
Poröses Silizium auf SOI SubstratenBackes, A. / Patocka, F. / Walkoun, P. / Schmid, U. et al. | 2013
-
Untersuchung des Temperatureinflusses auf den spezifischen elektrischen Widerstand von nanokristallinem Nickel und röntgenamorphem Nickel-PhosphorSchnaithmann, M. / Sägebarth, J. / Sandmaier, H. / Weiland, A. / Seekamp, J. / Böhm, G. / Schäfer, W. et al. | 2013
-
Herstellung von SiC-Dünnschichten in einem Hochtemperatur-PECVD-Verfahren und deren piezoresistive EigenschaftenJakovlev, Oleg / Fuchs, Tino / Seidel, Helmut et al. | 2013
-
Charakterisierung des Schrumpfs von SU-8 für intrinsisch vorgespannte MikrostrukturenWinterstein, T. / Schlaak, H. F. et al. | 2013
-
Betrachtungen zum Trocknungsverhalten mehrschichtiger PhotoresistsystemeSchönfeld, M. / Schubert, S. / Saupe, J. / Grimm, J. et al. | 2013
-
Anwendung eines HF-Gasphasenätzprozesses zum Freilegen von monolithisch integrierten RF-MEMS-SchalternGöritz, A. / Fraschke, M. / Drews, J. / Wietstruck, M. / Tolunay, S. / Kaynak, M. / Tillack, B. et al. | 2013
-
Bestimmung thermomechanischer Werkstoffeigenschaften von photosensitiven Polymeren mit hohem Aspektverhältnis für MEMSVogel, Jürgen / Feige, Hans-Jürgen / Saupe, Jens / Grützner, Gabi / Grimm, Jürgen et al. | 2013
-
Wasser-lösliche Opferschicht ermöglicht die low-cost Herstellung von Mikrospulen mit einem Füllgrad von 100 %Gruschke, O. G. / Kamberger, R. / Ho¨fflin, J. / Korvink, J. G. et al. | 2013
-
Energiefilter für IonenimplantationKrippendorf, Florian / Csato, Constantin / Bischof, Tina / Gupta, Sandeep / Han, Weiqi / Morgenroth, Wolfgang / Nobst, Michael / Ronning, Carsten / Rupp, Roland / Schewior, Andre et al. | 2013
-
Monolithisch-integrierte Through-Silicon Vias für Grounding, Power Distribution Networks und System-on-Chip AnwendungenWietstruck, M. / Kaynak, M. / Marschmeyer, S. / Göritz, A. / Tolunay, S. / Tillack, B. et al. | 2013
-
Replikation von sub-100 nm Strukturen mittels UV-NIL unter Verwendung von Kompositstempeln aus h- und s-PDMSHülsen, Christoph / Probst, Jürgen / Löchel, Bernd et al. | 2013
-
Tintenstrahldruck von leitfähigen und transparenten IonengelenLöffelmann, U. / Mager, D. / Korvink, J. G. et al. | 2013
-
Materialentwicklung des In-mould Labelling Prozesses für Anwen-dungen in der MikrotechnikHonza, Elvira / Piotter, Volker / Hanemann, Thomas et al. | 2013
-
InkJet-Druck piezoresistiver Widerständen auf flexiblen SubstratenKoch, Eugen / Dietzel, Andreas et al. | 2013
-
Inkjet-gedruckte Diffusionsbarriere gegen Diffusion aus dotierten PECVD-SilikatgläsernStüwe, David / Keding, Roman / Hahn, David / Clement, Florian / Hofmann, Marc / Woehl, Robert / Biro, Daniel / Korvink, Jan G. / Tüshaus, Christian / Doll, Oliver et al. | 2013
-
Realisierung von Low-Cost-Packaging-Lösungen in der Sensorik durch Einsatz von dünnen, hermetisch dichten BorosilikatglasfilmenHansen, Ulli / Maus, Simon / Töpper, Michael et al. | 2013
-
Fertigung mehrlagiger mikrofluidischer Papier-Systeme mittels WachsdruckHecht, Lars / Mattern, Kai M. / Dietzel, Andreas et al. | 2013
-
Druckluftunterstützes Thermodiffusionsbonden zur Herstellung dünnwandiger Lab-on-a-Chip Kartuschen mit zwei fluidischen EbenenKosse, D. / Schwemmer, F. / Buselmeier, D. / Zengerle, R. / Stetten, F. von et al. | 2013
-
Multifunktionaler Werkzeugwechsler für den Einsatz in mikrotechnischen Prozessketten – Messen, Prüfen, MontierenBoese, Christoph / Dietzel, Andreas / Büttgenbach, Stephanus et al. | 2013
-
Desktop Mikromontagezelle für Automatisierte Präzisionsmontagen Optischer KomponentenBrecher, C. / Haag, M. / Müller, T. / Haag, S. / Pyschny, N. / Härer, S. et al. | 2013
-
Flip-Chip Technologie für Anwendungstemperaturen > 250 °CHeiermann, Wolfgang / Geruschke, Thomas / Ruß, Marco / Vogt, Holger et al. | 2013
-
Technologieentwicklung für optimiertes MEMS Packaging durch Si-TSV-RückseitenkontaktierungMeinecke, Ch. / Hofmann, L. / Bertz, A. / Gottfried, K. / Geßner, T. et al. | 2013
-
Erhöhung des Integrationsgrades von Membranaktorik in LOCs mithilfe von LasertechnologieGeidel, S. / Enderlein, T. / Nestler, J. / Morschhauser, A. / Otto, T. / Gessner, T. et al. | 2013
-
Verformungsmessung von Mikrosystemen bei hohen Temperaturen mit ESPI, DIC und HolographieZeiser, Roderich / Steiert, Matthias / Berndt, Michael / Wilde, Jürgen / Beckmann, Tobias / Fratz, Markus et al. | 2013
-
Einsatz der Dielektrischen Analyse zur Untersuchung der Alterung von Polymeren bei HochtemperaturlagerungBecker, K.-F. / Bauer, J. / Thomas, T. / Kahle, R. / Braun, T. / Daus, Lars H. / Aschenbrenner, R. / Lang, K.-D. et al. | 2013
-
Elektromigrationsverhalten von Silberdünnfilmen auf LTCCBittner, Achim / Backes, Andreas / Schmid, Ulrich et al. | 2013
- 733
-
Vereinzelung von Chips mit komplexen Formen unter Verwendung von Parafilm™Sun, Shen-Huei / Graf, Heinz-Gerd / Sailer, Holger / Burghartz, Joachim / Schröder, Sven / Thewes, Roland et al. | 2013
-
Wire bonder made on-chip microtransformers for very high frequency (VHF) regime applicationsMoazenzadeh, A. / Spengler, N. / Korvink, J. G. / Wallrabe, U. et al. | 2013
-
Hoch-integrierte hermetische Durchführungen - Designaspekte und ZuverlässigkeitOrdonez, Juan / Bentler, Christian / Keller, Mark / Schuettler, Martin / Stieglitz, Thomas et al. | 2013
-
Untersuchung der thermo-mechanischen Eigenschaften von bleifreien Hochtemperatur-Lötverbindungen aus VerbundwerkstoffenSeehase, D. / Bremerkamp, F. / Novikov, A. / Nowottnick, M. et al. | 2013
-
Flexible Heißfilm-Anemometrie-Arrays zur Strömungsmessung an gekrümmten StrukturenSchwerter, Martin / Beutel, Tobias / Leester-Schädel, Monika / Dietzel, Andreas / Büttgenbach, Stephanus et al. | 2013
-
AlN auf flexiblem Substrat für langzeitstabile, energieautonome SensorsystemeHau, S. / Marschibois, M. / Seidel, H. / Feili, D. et al. | 2013
-
Hochempfindliche Drucksensoren mit lasergerechter MessbrückenanordnungGöttel, D. / Cerino, M. / Schultes, G. et al. | 2013
-
Kapazitiver low cost Drucksensor mit medienbeständiger Wandlermembran auf LeiterplattenbasisSchwenck, Adrian et al. | 2013
-
Direktintegration von Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische SpannungenHaas, S. / Schramm, M. / Heinz, S. / Loebel, K.-U. / Reuter, D. / Bertz, A. / Horstmann, J. T. / Gessner, T. et al. | 2013
-
Piezoresistive Sensorschichten auf der Basis von nano-Cermets für HochtemperaturanwendungenUhlig, S. / Schmid-Engel, H. / Werner, U. / Schultes, G. et al. | 2013
-
Stressmessung beim Aufbau und Test von MikrosystemenSchreier-Alt, Thomas / Chmiel, Gerhard / Ansorge, Frank / Lang, Klaus-Dieter et al. | 2013
-
Hoch dehnungsempfindliche Ni:a-C:H-Widerstandsschichten auf PolyimidfoliePelt, T. / Probst, A.-C. / Bieck, W. / Clos, H. / Uhlig, S. / Schultes, G. et al. | 2013
-
Sensorfasern auf Basis von Ni:a-C:H-Dünnschichten und zugehörige MesselektronikVollberg, D. / Uhlig, S. / Göttel, D. / Schultes, G. et al. | 2013
-
Drahtloses Auswertesystem für kapazitive gedruckte BeschleunigungssensorenGöstenkors, Timo / Schindler, Rico / Schweiger, Hendrik / Bau, Roland / Zielke, Dirk et al. | 2013
-
Dynamic analysis of the torsional resonant mode of piezoelectric microcantileversQiu, H. C. / Feili, D. / Wu, X. Z. / Seidel, H. et al. | 2013
-
Offene Test- und Entwicklunsplattform für MikrosystemeToszkowski, G. / Dahmen, N. / Dahmen, U. / Degen, C. / Göttert, J. / Hermanns, F. et al. | 2013
-
Kostengünstige und ressourceneffiziente Herstellung von Glukose- und Laktatsensoren mittels Plasma Printing-Technologie auf flexiblen SubstratenLachmann, Kristina / Thomas, Michael / Jänsch, Mareike / Hartlep, Michael / Künnecke, Wolfgang et al. | 2013
-
Induktiv Gekoppelte Detektoren für multinukleare Kernspinresonanzspektroskopie: Vorläufige ErgebnisseKamberger, R. / Gruschke, O. G. / Göbel, K. / Hövener, J. B. / Elverfeldt, D. / Utz, M. / Korvink, J. G. et al. | 2013
-
Kombiniertes Zustandsüberwachungssystem für technische Fluide bestehend aus Ölqualitäts- und PartikelmesssystemPignanelli, Eliseo / Bley, Torsten / Schütze, Andreas et al. | 2013
-
Herstellung einer Messküvette als Teil eines Messsensors für Echtzeit ÖlqualitätsmessungenGünschmann, Sabine / Mannebach, Horst / Steffensky, Jörg / Fischer, Michael / Müller, Jens et al. | 2013
-
Sensorsystem zur Fluoreszenzdetektion in der MikrofluidikJeske, D. / Alstadt, B. / Büddefeld, J. / Göttert, J. / Klauth, P. et al. | 2013
-
Einfluss der Morphologie auf die Sensitivität eines photonischen BiosensorsKovacs, A. / Malisauskaite, A. / Mescheder, U. et al. | 2013
-
CMOS integrated free standing circular membrane for the detection of allergens and biomarkersBurmester, Kim / Goehlich, Andreas / Celik, Yusuf / Schmidt, Andreas / Klieber, Robert / Haas, Norbert / Greifendorf, Dieter / Vogt, Holger et al. | 2013
-
Neues Biosensorkonzept auf der Basis der Kelvin-MethodeÜnlübayir, S. / Kumar, P. / Trieu, H-K. et al. | 2013
-
Rapid-Prototyping von Dünnschichtsensoren für Zellkulturchips durch direkte Strukturierung mit einem Ultra-KurzpulslaserBonk, S. M. / Oldorf, P. / Weihe, T. / Stubbe, M. / Peters, R. / Baumann, W. H. / Gimsa, J. et al. | 2013
-
Entwicklung eines hochtemperaturfesten Kondensators für die MikrosystemtechnikCelik, Y. / Goehlich, A. / Jupe, A. / Vogt, H. et al. | 2013
-
Integration von aufgerollten Nanomembranen mittels MEMS- und Laser-basierten HerstellungsverfahrenHelke, C. / Enderlein, T. / Morschhauser, A. / Nestler, J. / Harazim, S. M. / Schmidt, O. G. / Otto, T. / Gessner, T. et al. | 2013
-
Prozesskette zur Herstellung von polymeren Mikrohohlnadeln mittels UV Imprint-LithographieWelte, G. / Rieper, T. / Schumacher, A. / Schmelz, M. / Müller, C. / Reinecke, H. et al. | 2013
-
Fertigung von Mikrotaststiften und kugelförmigen Mikrokavitäten mittels MikrofunkenerosionFerreira, N. / Metz, D. / Krah, T. / Richter, C. / Dietzel, A. / Härtig, F. / Büttgenbach, S. et al. | 2013
-
Microfluidic Design Automation für den Entwurf anwendungsspezifischer Lab-on-a-Chip SystemeGleichmann, Nils / Malsch, Daniell / Horbert, Peter / Henkel, Thomas et al. | 2013
-
Innovativer Ansatz eines Expertensystems für die Entwicklung von MikrosystemenBoese, Christoph / Rustemeyer, Thomas / Dietzel, Andreas et al. | 2013
-
Virtuelles Design nano- und mikroporöser Materialien für EnergieanwendungenThiele, S. / Erben, J. / Hutzenlaub, T. / Zengerle, R. et al. | 2013
-
Einfluss der Materialverteilung in porosizierter LTCC auf die effektive Permittivität durch finite 3D Feld-SimulationSteinhäußer, F. / Talai, A. / Koelpin, A. / Weigel, R. / Bittner, A. / Schmid, U. et al. | 2013
-
Modeling the adhesion between nanoneedle surfaces bonded based on Velcro® or Gecko principleKeshavarzi, Shervin / Mescheder, Ulrich / Reinecke, Holger et al. | 2013
-
Experimentelle Evaluierung eines analytischen Modellansatzes zur Berechnung beladungsinduzierter Frequenzshifts an Mikrocantilevern aus PhotoresistSchönfeld, M. / Kolker, A. / Schubert, S. / Saupe, J. / Grimm, J. et al. | 2013
-
Fertigung eines Mikroaktors zur Manipulation von Nanopartikeln auf einem GlassubstratKaiser, M. / Delyagina, E. / Steinhoff, G. / Rissing, L. et al. | 2013
-
Integrierte LC-Glieder in keramische LTCC-SchaltungsträgerBartsch, H. / Löhnert, R. / Bierlich, S. / Töpfer, J. / Barth, S. / Capraro, B. / Müller, J. et al. | 2013
-
Piezoelektrische AlN-Bimorphe als niederfrequent-resonante Mikroaktoren mit großem StellwegHampl, S. / Hoffmann, M. et al. | 2013
-
Der Einfluss verschiedener Randeinspannungen auf die Verformung oberflachenmikrostrukturierter piezoelektrischer :MikromembranantriebeZähringer, Sandy / Purr, Julia / Schwesinger, Norbert et al. | 2013
-
Vereinzelung von Chips mit komplexen Formen unter Verwendung von Parafilm(exp TM)Sun, Shen-Huei / Graf, Heinz-Gerd / Sailer, Holger / Burghartz, Joachim / Schröder, Sven / Thewes, Roland et al. | 2013
-
Development of an Energy-Autarkic Water MeterSikora, Axel / Werner, Rico / Villalonga, Pancraç / Cisneros, Andres / Becker, Philipp / Hoffmann, Daniel / Willmann, Alexander et al. | 2013