Nanostrukturen als Problemlöser – Emissionserhöhung und Interferenzvermeidung am Bsp. eines IR-basierten Fluidsensors (Deutsch)

In: Mikro-Nano-Integration   ;  5  ;  2014

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Am Beispiel eines IR-basierten Fluidsensors – bestehend aus den drei Komponenten IR-Emitter, IR-Durchflusszelle (Küvette) und IR-Detektor – welcher auf Basis einer wellenlängenspezifischen Transmissionsmessung die Überwachung der Ölqualität ermöglicht, wird die Lösung der IR-optischen Problemstellungen durch die Integration von Nanostrukturen in die mikrosystemtechnischen Einzelkomponenten vorgestellt. So konnte durch das Ätzen von Silicium-Mikrostrukturen in die emittierende Siliciummembran des thermischen IR-Emitters und das nachträgliche, selbstorganisierte Aufwachsen von Platin-Nanokristalliten ein nahezu ideales Strahlungsspektrum (Schwarzstrahler) realisiert werden. Zur Reduzierung der Reflexionsverluste (Fresnel-Verluste) an den vier Grenzflächen der Silicium-basierten und mittels SiCer(r)-Technik realisierten Fluidmesszelle wurden ebenfalls Nanostrukturen, sog. Black Silicon, eingesetzt. Dies bewirkt sowohl eine Erhöhung der Gesamttransmission als auch eine Vermeidung der durch den Fluidkanal hervorgerufenen Interferenzen im Transmissionsspektrum.

Inhaltsverzeichnis Konferenzband

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Genzflächendiffusions- und Adhäsionsverhalten von Epoxidharzen für mikroelektronische Sensorapplikationen
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Inkjet-Technologie zum Bedrucken dreidimensionaler kunststoffbasierter Substrate
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Template-assisted fabrication of self-supported 3D functional nanostructure arrays towards high performance devices
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Selektive Erzeugung von Nanostrukturen auf einer Waferoberfläche zur Realisierung von optischen und mechanischen Funktionen beim Aufbau eines Echtzeitölsensors
Günschmann, S. / Müller, L. / Fischer, M. / Hoffmann, M. / Müller, J. | 2014
Fatigue analysis of anisotropic copper-vias in a circuit board
Abali, B. E. / Reich, F. A. / Müller, W. H. | 2014
Strukturierung von Elektronen-Feldemitter auf Basis metallischer Nanodrähte
Roustaie, Farough / Wilfert, Stefan / Quednau, Sebastian / Dassinger, Florian / Lotz, Marcel / Schlaak, Helmut F. | 2014
UV-imprinting for the integration of inkjet-printed micro-optical elements
Jacot-Descombes, Loic / Schleunitz, Arne / Klein, Jan J. / Grützner, Susanne / Bullerjahn, Franziska | 2014
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Kaestner, Marcus / Ivanov, Tzvetan / Krivoshapkina, Yana / Ahmad, Ahmad / Angelov, Tihomir / Reum, Alexander / Lipowicz, Hubert / Budden, Matthias / Lenk, Steve / Hofer, Manuel et al. | 2014
Localized Collection of Airborne Analytes: A Transport Driven Approach to Improve the Response Time of Existing Gas Sensor Designs including SERS based Detection of Small Molecules
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Funktionale Integration bei Magnetoresistiven Sensoren
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Vollautomatische nanorobotische Bestückung von mikroskaligen Magazinen im Rasterelektronenmikroskop
Bartenwerfer, M. / Diederichs, Claas / Fatikow, S. | 2014
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Markweg, Eric / Schädel, Martin / Brodersen, Olaf / Ortlepp, Hans Georg / Hoffmann, Martin / Mollenhauer, Olaf | 2014
Untersuchung der thermoelektrischen Eigenschaften von Submikrometer-Silizium-Säulen
Stranz, A. / Waag, A. / Peiner, E. | 2014
Electrically excited plasmon resonances in hybrid metallic nano-structures as innovative sensor concept in bioanalytics
Dathe, André / Ziegler, Mario / Hübner, Uwe / Stranik, Ondrej / Fritzsche, Wolfgang | 2014
Nanostrukturen als Problemlöser – Emissionserhöhung und Interferenzvermeidung am Bsp. eines IR-basierten Fluidsensors
Müller, Lutz / Günschmann, Sabine / Fischer, Michael / Müller, Jens / Hoffmann, Martin / Käpplinger, Indira / Brode, Wolfgang / Biermann, Steffen | 2014
Temperatur- und Feuchtesensor basierend auf planarisierten LTCC-Oberflächen
Goj, Boris / Bartsch, Heike / Hanitsch, Stefan / Hoffmann, Martin / Müller, Jens | 2014
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Kleindienst, R. / Krüger, M. / Grewe, A. / Sinzinger, S. / Holc, K. / Schätzle, J. / Steffen, A. / Cimalla, V. / Schwarz, U. T. / Becker, P. et al. | 2014
Automated reel-to-reel fluidic self-assembly enabling the production of solid state lighting panels
Park, Se-Chul / Fang, Jun / Biswas, Shantonu / Mozafari, Mahsa / Stauden, Thomas / Jacobs, Heiko O. | 2014