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High fluence testing of optical materials for 193-nm lithography extensions applications [7640-127]
British Library Conference Proceedings | 2010| -
High-index immersion lithography: preventing lens photocontamination and identifying optical behavior of LuAG [6924-41]
British Library Conference Proceedings | 2008| -
Laser durability studies of high index immersion fluids: fluid degradation and optics contamination effects [6520-197]
British Library Conference Proceedings | 2007| -
Studies of consequences of photo-acid generator leaching in 193-nm immersion lithography [6154-43]
British Library Conference Proceedings | 2006| -
Ambient effects on the laser durability of 157-nm optical coatings [5040-185]
British Library Conference Proceedings | 2003| -
Accelerated damage to blank and antireflectance-coated CaF~2 surfaces under 157-nm laser irradiation [5040-172]
British Library Conference Proceedings | 2003| -
Photo-induced changes in 157-nm optical coatings [5377-11]
British Library Conference Proceedings | 2004| -
Immersion liquids for lithography in the deep ultraviolet [5040-59]
British Library Conference Proceedings | 2003| -
Contamination rates of optical surfaces at 157-nm: impurities outgassed from construction materials and from photoresists [5040-55]
British Library Conference Proceedings | 2003| -
Simulation study of process latitude for liquid immersion lithography [5040-187]
British Library Conference Proceedings | 2003| -
Angle-resolved scattering measurements of polished surfaces and optical coatings at 157 nm [5040-63]
British Library Conference Proceedings | 2003| -
Preliminary microfluidic simulation for immersion lithography [5040-61]
British Library Conference Proceedings | 2003| -
Contamination rates of optical surfaces at 157 nm in the presence of hydrocarbon impurities [4691-71]
British Library Conference Proceedings | 2002| -
Scattering in liquid immersion lithography [5377-43]
British Library Conference Proceedings | 2004| -
Behavior of candidate organic pellicle materials under 157-nm laser irradiation [4691-56]
British Library Conference Proceedings | 2002|
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