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Assessment of 3D for Future On-Chip Wiring and Novel System Solutions
British Library Conference Proceedings | 2004| -
A Comparative Study of the Etching Behavior of Thin AlN and Al~2O~3 Films
British Library Conference Proceedings | 2003| -
Challenges of interconnection technology till the end of the roadmap and beyond
Online Contents | 2002| -
Etching Characteristics of Atomic Layer Deposited Al~2O~3 Films In Chlorine Based MERIE
British Library Conference Proceedings | 2002| -
Advanced polysilicon etching in a magnetically confined reactor: An ECR alternative
Tema Archiv | 1993| -
Design and characteristics of a magnetic collimating lens spectrometer for electron beam probing
Online Contents | 1996| -
Design and characteristics of a magnetic collimating lens spectrometer for electron beam probing
British Library Online Contents | 1996| -
Design and characteristics of a magnetic collinating lens spectrometer for electron beam probing
British Library Conference Proceedings | 1996| -
Single crystal silicon etching in a tri-electrode etcher using CBrF(3) chemistry
Tema Archiv | 1989| -
Neutral particle flux calculations in plasma etching for cylindrical trench holes
Tema Archiv | 1994| -
A Comparative Study of the Etching Behavior of Thin AlN and Al~2O~3 Films
British Library Conference Proceedings | 2003|
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