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Reticle heating feed-forward control (RHC2) on NXT:1980Di immersion scanner for enhanced on-product overlay [10147-42]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Scanner-to-scanner CD analysis and control in an HVM environment [10147-9]
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Effective use of aerial image metrology for calibration of OPC models [10147-33]
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Lithography and OPC friendly triple patterning decomposition method for VIA [10147-55]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
450mm lithography status for high volume manufacturing [10147-11]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Stokes polarimeter using vector diffractive optical elements
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Automated atrial flutter detection using photoplethysmography
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Improvement of image characteristics of intraoral and panoramic radiographs by utilizing OCT as a control method
British Library Conference Proceedings | 2023| -
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Alignment solutions on FBEOL layers using ASML scanners [10147-65]
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Process margin improvement through finger-print removal based on scanner leveling data [10147-8]
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British Library Conference Proceedings | 2023| -
Permeable diffractive optical elements for real-time sensing of running fluids
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British Library Conference Proceedings | 2021| -
Using supervised deep-learning to model edge-FBG shape sensors: a feasibility study
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Micro-opto-fluidic platform for spectroscopic identification of water-based fluids
British Library Conference Proceedings | 2021|
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