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Reticle heating feed-forward control (RHC2) on NXT:1980Di immersion scanner for enhanced on-product overlay [10147-42]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Scanner-to-scanner CD analysis and control in an HVM environment [10147-9]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Effective use of aerial image metrology for calibration of OPC models [10147-33]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Lithography and OPC friendly triple patterning decomposition method for VIA [10147-55]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
450mm lithography status for high volume manufacturing [10147-11]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Automated atrial flutter detection using photoplethysmography
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Improvement of image characteristics of intraoral and panoramic radiographs by utilizing OCT as a control method
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Stokes polarimeter using vector diffractive optical elements
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Study of aging behaviour on 193nm phase-shift masks [10147-74]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Alignment solutions on FBEOL layers using ASML scanners [10147-65]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Enhanced OPC recipe coverage and early hotspot detection through automated layout generation and analysis [10147-26]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Process margin improvement through finger-print removal based on scanner leveling data [10147-8]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Optimal structure sampling for etch model calibration [10147-17]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
FinFET-induced anisotropy in printing of implantation shapes [10147-40]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Si-photonics waveguides manufacturability using advanced RET solutions [10147-36]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Bending fiber sensor based on capillary hollow-core fiber
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Permeable diffractive optical elements for real-time sensing of running fluids
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Experimental verification of on-product overlay improvement by intra-lot overlay control using metrology based grouping [10147-38]
British Library Conference Proceedings | 2017
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