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Deposition of a-C:H films with an ECWR-reactor at 27 MHz: plasma diagnostics and film properties
Online Contents | 2001|Beteiligte: Scheubert, P. -
Diagnostics in Reactive Plasmas with Optical Emission Spectroscopy, Probe Measurement and Energy-Mass Spectrometry
British Library Conference Proceedings | 1998| -
Diagnostics of reactive Iow temperature - Iow pressure plasmas with probe measurement, optical emission spectroscopy and energy-mass spectrometry
British Library Conference Proceedings | 1999| -
Deposition of a-C:H films with an ECWR-reactor at 27 MHz: plasma diagnostics and film properties
British Library Conference Proceedings | 2001| -
The Multipole Resonance Probe: Progression and Evaluation of a Process Compatible Plasma Sensor
British Library Online Contents | 2014| -
Fluid dynamic modelling and experimental diagnostics of an inductive high density plasma source (ICP)
British Library Conference Proceedings | 2001|
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