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Topology optimization for optical microlithography with partially coherent illumination
Freier ZugriffBASE | 2017| -
Optical microlithography on oblique and multiplane surfaces using diffractive phase masks
Freier ZugriffSPIE | 2015| -
A Rigorous Finite-Element Domain Decomposition Method for Electromagnetic Near Field Simulations
Freier ZugriffArXiv | 2008|
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Im FID move kann nach fachspezifischer Literatur, Forschungsdaten und weitere Informationen aus der Mobilitäts- und Verkehrsforschung gesucht werden.
Der Open Research Knowledge Graph liefert strukturiert beschriebene Forschungsinhalte und macht diese vergleichbar.
Frei zugänglicher Ausschnitt der Verbunddatenbank K10plus des GBV und des SWB mit für die Fernleihe und Direktlieferdienste relevanten Materialien.