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Synonyme wurden verwendet für: ENGINEERING • FOR • OPTICAL ENGINEERING • SOCIETY
Suche ohne Synonyme: journal:(PROCEEDINGS - SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING)
Verwendete Synonyme:
- industrielle technik
- ingenieurwesen
- ingenieurwissenschaft
- ingenieurwissenschaften
- technik
- technikwissenschaften
- technique
- technische wissenschaften
Verwendete Synonyme:
- fur
Verwendete Synonyme:
- angewandte optik
- optische technik
- technische optik
Verwendete Synonyme:
- gesellschaft
-
High-repetition-rate fluorine laser for microlithography [4000-173]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Highly durable low CoO mass production version of 2-kHz ArF excimer laser for DUV lithography [4000-158]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Output stabilization technology with chemical impurity control on ArF excimer laser [4000-157]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Lens aberration measurement technique using attentuated phase-shifting mask [4000-139]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Simulation-based method for sidelobe supression [4000-124]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Precise control of critical dimension shrinkage and enlargement by in-situ polysilicon etch [4000-101]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Effect of nonlinear errors on 300-mm wafer overlay performance [4000-87]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Deducing aerial image behavior from AIMS data [4000-74]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
157-nm lithography simulation using a finite-difference time-domain method with oblique incidence in a multilayered medium [4000-71]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Rigorous diffraction analysis for future mask technology [4000-69]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Aberration averaging using point spread function for scanning projection systems [4000-51]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Long-term testing of optical components for 157-nm lithography [4000-44]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Comparison study for sub-0.13-mum lithography between ArF and KrF lithography [4000-39]
British Library Conference Proceedings | 2000|
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