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Entwurf und tiefenlithographische Realisierung mikrostrukturierter Schrittantriebe
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Baugruppe einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2015| -
Bistable clamping mechanism for use in a microstructured electrothermal inchworm plattform
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Combined Simulation of a Micro Permanent Magnetic Linear Contactless Displacement Sensor
Freier ZugriffDOAJ | 2010|