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Metrology and deep learning integrated solution to drive OPC model accuracy improvement
British Library Conference Proceedings | 2019| -
Improved validation and optimization of physics-based NTD compact modeling flows
British Library Conference Proceedings | 2019| -
Robust alignment mark design for DRAM using a holistic computational approach
British Library Conference Proceedings | 2019| -
Modeling of dynamic image performance for lithographic projection lens
British Library Conference Proceedings | 2019| -
Localized source and mask optimization with narrow-band level-set method
British Library Conference Proceedings | 2019|
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