Erscheinungsjahr
Medientyp
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Fach
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Through-pellicle imaging of extreme ultraviolet mask with extreme ultraviolet ptychography microscope
Freier ZugriffSPIE | 2019|Schlagwörter: extreme ultraviolet pellicle, extreme ultraviolet lithography, extreme ultraviolet mask -
Spectral investigations of low-temperature plasma induced in CO2 gas by nanosecond pulses of extreme ultraviolet (EUV)
Freier ZugriffIOP Institute of Physics | 2021|Schlagwörter: extreme ultraviolet induced plasma, extreme ultraviolet photoionization, extreme ultraviolet -
Investigation of waveguide modes in EUV mask absorbers
Freier ZugriffSPIE | 2021|Schlagwörter: extreme ultraviolet mask absorber, extreme ultraviolet lithography, extreme ultraviolet mask -
Optical and EUV lithography : a modeling perspective
TIBKAT | 2021|Schlagwörter: Extreme ultraviolet lithography -
Investigating extreme ultraviolet radiation chemistry with first-principles quantum chemistry calculations
SPIE | 2020|Schlagwörter: extreme ultraviolet exposure chemistry, extreme ultraviolet lithography, extreme ultraviolet fundamentals -
The Solar Extreme Ultraviolet Monitor for MAVEN
Online Contents | 2015|Schlagwörter: Extreme ultraviolet -
Design and Performance of the ICON EUV Spectrograph
Online Contents | 2017|Schlagwörter: Extreme ultraviolet -
Throughput compensation through optical proximity correction for realization of an extreme ultraviolet pellicle
SPIE | 2016|Schlagwörter: extreme ultraviolet pellicle, extreme ultraviolet optical proximity correction -
Rare‐Earth Plasma Beyond Extreme Ultraviolet (BEUV) Sources at 6.x nm
Wiley | 2015|Schlagwörter: extreme ultraviolet (EUV), extreme ultraviolet lithography (EUVL) -
Monitoring the Temperature of a Mo/Si Mirror with Photoluminescence in Extreme-Ultraviolet Lithography
American Chemical Society | 2022|Schlagwörter: extreme-ultraviolet radiation, extreme-ultraviolet lithography -
Multisegmented, multilayer-coated mirrors for the Solar Ultraviolet Imager
SPIE | 2013|Schlagwörter: extreme ultraviolet solar physics, power spectral density of extreme ultraviolet optics, Solar Ultraviolet Imager, extreme ultraviolet optics, extreme ultraviolet reflectivity, extreme ultraviolet scattering -
Mask three-dimensional effects of etched multilayer mask for 16-nm half-pitch in extreme ultraviolet lithography
SPIE | 2016|Schlagwörter: extreme ultraviolet lithography, extreme ultraviolet mask structure -
Recent developments in photoresists for extreme-ultraviolet lithography
Elsevier | 2023|Schlagwörter: Extreme-ultraviolet lithography -
Photon flux dependent image resolution of reflective ptychographic microscope for extreme ultraviolet actinic mask metrology
SPIE | 2022|Schlagwörter: extreme ultraviolet, extreme ultraviolet mask -
Nitrogen-Vacancy Centers in Diamond for High-Performance Detection of Vacuum Ultraviolet, Extreme Ultraviolet, and X‑rays
American Chemical Society | 2020|Schlagwörter: extreme ultraviolet, vacuum ultraviolet -
The Atmospheric Imaging Assembly (AIA) on the Solar Dynamics Observatory (SDO)
Freier ZugriffOnline Contents | 2011|Schlagwörter: Extreme ultraviolet -
Cylindrically and non-cylindrically symmetric expansion dynamics of tin microdroplets after ultrashort laser pulse impact
Freier ZugriffBASE | 2021|Schlagwörter: Extreme ultraviolet -
Impact of noise sources and optical design on defect detection sensitivity in extreme ultraviolet actinic pattern inspection tool
SPIE | 2017|Schlagwörter: extreme ultraviolet actinic pattern inspection, extreme ultraviolet lithography, extreme ultraviolet mask pattern defect -
Extreme ultraviolet lithography patterned mask defect detection performance evaluation toward 16- to 11-nm half-pitch generation
SPIE | 2015|Schlagwörter: extreme ultraviolet lithography, extreme ultraviolet -
Mask-absorber optimization: the next phase
SPIE | 2020|Schlagwörter: extreme ultraviolet masks, extreme ultraviolet lithography
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