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Quasi-static micromirror with enlarged deflection based on aluminum nitride thin film springs
Online Contents | 2014| -
Die Anti Double Dip Regelung des § 14 Abs. 1 S. 1 Nr. 5 KStG bei Organschaft : zugleich ein Beitrag zum Verständnis der Zurechnung des Organeinkommens
GWLB - Gottfried Wilhelm Leibniz Bibliothek | 2020| -
Anodic bonding of a substrate of glass having contact vias to a substrate of silicon
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2022| -
Anodic Bonding of a Substrate of Glass having Contact Vias to a Substrate of Silicon
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2020| -
Anodic Bonding of a Substrate of Glass having Contact Vias to a Substrate of Silicon
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2020| -
Halbleiterbauelement und Anordnung zur Kontaktierung des Halbleiterbauelements beim anodischen Bonden eines Glassubstrats mit Kontaktdurchführungen an ein Siliziumsubstrat
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2020| -
Anodic Bonding of a Substrate of Glass having Contact Vias to a Substrate of Silicon
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2020| -
Anodisches Bonden eines Glassubstrats mit Kontaktdurchführungen an ein Siliziumsubstrat
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2019| -
Plattform für Silizium-Glas-Verbund : Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020 innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Laufzeit des Vorhabens: 01.10.2017-30.09.2020
TIBKAT | 2020|
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