Vorhabenbezeichnung: KMU-innovativ-Verbundprojekt: Nanointegration als Schlüsseltechnologie für einen MEMS basierten IR-Emitter für spektroskopische Sensorsysteme (NaMIS) - Teilvorhaben: Qualifizierung von nanobeschichteten MEMS basierten IR Emittern für den Einsatz NDIR Multigasanalysesystemen : Abschlussbericht : Laufzeit des Vorhabens: 01.05.2016-30.04.2019 —  Version: 1.1 (German)

2019
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