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Plattform für Silizium-Glas-Verbund innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020 (German)
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- Further information on X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH:
- http://d-nb.info/gnd/1084791730
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2020
- Report / Electronic Resource
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Title:Plattform für Silizium-Glas-Verbund innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020
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Contributors:Weinberger, Stefan (author) / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH (issuing body)
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Publisher:
- New search for: XFAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH
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Place of publication:Itzehoe
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Publication date:2020
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Size:1 Online-Ressource (43 Seiten, 3,20 MB)
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Remarks:Illustrationen, Diagramme
Förderkennzeichen BMBF 16ES0728K
Verbundnummer 01180525
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Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek -
Further editions:Druck-Ausgabe: Plattform für Silizium-Glas-Verbund
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DOI:
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Type of media:Report
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Type of material:Electronic Resource
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Language:German
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Contract number:16ES0728K, 01180525
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Source:
