Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik ([my]geoMess) : Teilvorhaben: Vorentwicklung und Optimierung eines Mikrotasters ([my]Tast) ; Schlussbericht zum Vorhaben ; Berichtszeitraum: 01.01.2005 bis 30.06.2008 (German)
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2008
- Report / Electronic Resource
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Title:Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik ([my]geoMess) : Teilvorhaben: Vorentwicklung und Optimierung eines Mikrotasters ([my]Tast) ; Schlussbericht zum Vorhaben ; Berichtszeitraum: 01.01.2005 bis 30.06.2008
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Additional title:Testing and evaluation of geometric features in Microtechnology - [my]geoMess - subproject: Predevelopement and optimisation of a micro tactile probe ([my]Tast)
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Contributors:
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Publisher:
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Place of publication:Braunschweig
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Publication date:2008
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Size:Online-Ressource (64 S., 24,9 MB)
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Remarks:Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 16SV1944. - Verbund-Nr. 01034368. - [Engl. T.: Testing and evaluation of geometric features in Microtechnology - [my]geoMess - subproject: Predevelopement and optimisation of a micro tactile probe ([my]Tast)]
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Auch als gedr. Ausg. vorhanden
Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek -
DOI:
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Type of media:Report
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Type of material:Electronic Resource
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Language:German
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Contract number:16SV1944, 01034368
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- Further information on Basic classification
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Classification:
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Source: