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Hinweis auf die besondere Bedeutung der Oberflaechenzustaende auf den Betrieb von Si-Sperrschichtzaehlern. Es wurde festgestellt, dass Au-bedampfte Oberflaechen-Sperrschichten gewisse Alterungseffekte aufweisen. In der vorliegenden Arbeit wird der Einfluss verschiedener Aetzmittel auf den Elektronenzustand von n- und p-Si-Oberflaechen untersucht. Als Ausgangsmaterial dienten n-Si und p-Si. Angabe der Zusammensetzung der benutzten Aetzmittel. Wiedergabe der Verteilungen des gemessenen Kontakt-Potentialunterschiedes nach 2 h, nach 1 Tag und 1 Monat. Versuch einer Deutung der gemessenen Verteilungskurven.