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Ausgangspunkt der Arbeit war der Bedarf an einer neuen Monte-CarloSimulation für die Bildentstehung im Rasterelektronenmikroskop bei der PTB. Eine solche Modellierung ist notwendig, um das SEM als Meßinstrument für dimensioneile Größen im Mikro- und Nanobereich nutzen zu können. Die bei Beginn der Arbeit zu Verfügung stehenden Simulationsprogramme waren veraltet, nicht frei verfügbar, schwer erweiterbar bzw. nicht anpaßbar genug oder hatten andere Schwach stellen. Zielsetzung war daher, eine neue Simulationssoftware zu erstellen, die modular die wesentlichen Schritte in der Bildgebungskette eines SEM sowohl für BSE/TE-Signale als auch für SE-Signale eines SEM darstellt und so einfach erweiterbar bzw. anpassungsfähig ist, und die es ermöglicht, komplexe dreidimensionale Strukturen zu untersuchen und daher auch zu modellieren. Diese Vorgaben wurden in dem, auf Monte- Carlo-Methoden beruhenden Programm MCSem umgesetzt: Es wurde ein Strahlformungsmodul programmiert, mit dem Strahlkippung, ein gaußverteilter Strahlfleck variabler Größe, ein konischer Strahl mit einer festen Fokuslänge und die Auswahlmöglichkeit zwischen parallelem Strahleinfall und Zentralprojektion umgesetzt werden kann. Das entwickelte Geometriemodul ermöglicht es, verschiedene dreidimensionale Basiskörper auch zu aufwendigeren Strukturen zu kombinieren, oder eine einprogrammierte/-bare Geometrie zu nutzen. In Verbindung mit diesem Modul wurden auch Lösungen zu Materialwechseln während der freien Elektronenbewegung in dem Probenobjekt und die damit einhergehende Bestimmung und Annäherung an Materialgrenzen ent wickelt, sowie mit dem "Dummy-Vakuum" eine Möglichkeit geschaffen, auch in quasi-materialfreien Bereichen die Elektronenbewegung weiterzuverfolgen. Im Kern-Modul wurde die Elektronenbewegung und Wechselwirkung mit dem Festkörper umgesetzt. Die elastische Streuung wurde anfänglich durch die klassische Rutherford-Streuung beschrieben und ist auch noch in der aktuellen Version von MCSem auswählbar, eine physikalisch bessere Umsetzung ist jedoch durch tabellierte Mott-Streuquerschnitte geschehen. Eine Konvertierung der erhaltenen Streuwinkel ins Laborsystem wurde programmiert und die Energieabgabe des Primärelektrons an den Festkörper durch inelastische Streuungen entlang der, durch die elastische Streuung bestimmten, freien Weglänge wurde mittels der CSDA verwirklicht. Basierend auf diesem Energietransfer werden mittels einer parametrischen Funktion SE erzeugt und durch das Material transportiert.