Plattform für Silizium-Glas-Verbund innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020 (German)
Free access
- New search for: Weinberger, Stefan
- New search for: X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH
- Further information on X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH:
- http://d-nb.info/gnd/1084791730
More details on this result
-
Title:Plattform für Silizium-Glas-Verbund innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020
-
Contributors:Weinberger, Stefan (author) / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH (issuing body)
-
Place of publication:Itzehoe
-
Publication date:2020
-
Size:1 Online-Ressource (43 Seiten, 3,20 MB)
-
Remarks:Illustrationen, Diagramme
Förderkennzeichen BMBF 16ES0728K
Verbundnummer 01180525
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek -
Further editions:Druck-Ausgabe: Plattform für Silizium-Glas-Verbund
-
DOI:
-
Type of media:Report
-
Type of material:Electronic Resource
-
Language:German
-
Contract number:
-
Keywords:
German copyright law applies. The work or content may be downloaded, consumed, stored or printed for your own use but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.