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  1. MIRS: Miniaturisierte IR-basierte Sensorsysteme : Schlussbericht zum BMBF-Förderprojekt : Teilvorhaben: Wafer-Level-Integration von Si-Linsen Arrays für IR-Sensoren und hochvakuum Packaging mit AlGe-Bonden und extern aktivierbaren Getterschichten : Laufzeit: 1.5.2017 bis 31.7.2020

    Tavassolizadeh, Ali / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH | TIBKAT | 2021

  2. Plattform für Silizium-Glas-Verbund innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020

    Free access
    Weinberger, Stefan / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH | TIBKAT | 2020

  3. MIRS: Miniaturisierte IR-basierte Sensorsysteme : Schlussbericht zum BMBF-Förderprojekt : Teilvorhaben: Wafer-Level-Integration von Si-Linsen Arrays für IR-Sensoren und hochvakuum Packaging mit AlGe-Bonden und extern aktivierbaren Getterschichten : Laufzeit: 1.5.2017 bis 31.7.2020

    Free access
    Tavassolizadeh, Ali / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH | TIBKAT | 2021

  4. Plattform für Silizium-Glas-Verbund : Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020 innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Laufzeit des Vorhabens: 01.10.2017-30.09.2020

    Weinberger, Stefan / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH | TIBKAT | 2020

  5. Silizium basierte Hochtemperatur-Thermogeneratoren auf Wafer-Level; Teilvorhaben: Material- und Prozessentwicklung für die Herstellung von Silizium basierten Hochtemperatur-Thermogeneratoren : Abschlussbericht : Berichtszeitraum: 1.1.2011-31.12.2013 inklusive Zeitraum kostenneutrale Verlängerung bis 30.6.14

    Free access
    Löwenstern, Otto / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH | TIBKAT | 2014

  6. Silizium basierte Hochtemperatur-Thermogeneratoren auf Wafer-Level; Teilvorhaben: Material- und Prozessentwicklung für die Herstellung von Silizium basierten Hochtemperatur-Thermogeneratoren : Abschlussbericht : Berichtszeitraum: 1.1.2011-31.12.2013 inklusive Zeitraum kostenneutrale Verlängerung bis 30.6.14

    Löwenstern, Otto / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH | TIBKAT | 2014

  7. BMBF "MIRS" - Verbundprojekt: Miniaturisierte Infrarot-basierte Sensorsysteme : Sachbericht Teil 1 : Kurzbericht - aixACCT Systems : Laufzeit: 1.5.2017-30.4.2020 (verlängert bis 31.7.2020)

    Free access
    Melexis, Tessenderlo / aixACCT Systems GmbH / Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie et al. | TIBKAT | 2021

  8. BMBF "MIRS" - Verbundprojekt: Miniaturisierte Infrarot-basierte Sensorsysteme : Sachbericht Teil 1 : Kurzbericht - aixACCT Systems : (PENTA-Projekt ES1PENC1/03) : Laufzeit: 1.5.2017-30.4.2020 (verlängert bis 31.7.2020)

    Bette, Sebastian / Melexis, Tessenderlo / aixACCT Systems GmbH et al. | TIBKAT | 2021
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