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  1. MIRS: Miniaturisierte IR-basierte Sensorsysteme : Schlussbericht zum BMBF-Förderprojekt : Teilvorhaben: Wafer-Level-Integration von Si-Linsen Arrays für IR-Sensoren und hochvakuum Packaging mit AlGe-Bonden und extern aktivierbaren Getterschichten : Laufzeit: 1.5.2017 bis 31.7.2020

    Free access
    Tavassolizadeh, Ali / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH | TIBKAT | 2021
    Publisher: XFAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH, Itzehoe

  2. Plattform für Silizium-Glas-Verbund : Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020 innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Laufzeit des Vorhabens: 01.10.2017-30.09.2020

    Weinberger, Stefan / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH | TIBKAT | 2020
    Publisher: XFAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH, Itzehoe

  3. MIRS: Miniaturisierte IR-basierte Sensorsysteme : Schlussbericht zum BMBF-Förderprojekt : Teilvorhaben: Wafer-Level-Integration von Si-Linsen Arrays für IR-Sensoren und hochvakuum Packaging mit AlGe-Bonden und extern aktivierbaren Getterschichten : Laufzeit: 1.5.2017 bis 31.7.2020

    Tavassolizadeh, Ali / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH | TIBKAT | 2021
    Publisher: XFAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH, Itzehoe

  4. Plattform für Silizium-Glas-Verbund innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020

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    Weinberger, Stefan / X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH | TIBKAT | 2020
    Publisher: XFAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH, Itzehoe
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