Untersuchung und Optimierung eines plasmagestützten Ruthenium-ALD-Prozesses : Studienarbeit (German)

2009
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  • Title:
    Untersuchung und Optimierung eines plasmagestützten Ruthenium-ALD-Prozesses : Studienarbeit
  • Contributors:
  • Dissertation:
    Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss.; 2009
  • Publisher:
    Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik u. Informationstechnik, Inst. f. Halbleiter- u. Mikrosystemtechnik
  • Place of publication:
    Dresden
  • Year of publication:
    2009
  • Size:
    Online-Ressource (138 S., 6,16 MB)
  • Remarks:
    graph. Darst.
    Förderkennzeichen BMBF 13N9082. - Verbund-Nr. 01050107
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  • DOI:
  • Type of media:
    Theses
  • Type of material:
    Electronic Resource
  • Language:
    German
  • Contract number:
    13N9082, 01050107
  • Source:
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