Untersuchung und Optimierung eines plasmagestützten Ruthenium-ALD-Prozesses : Studienarbeit (Deutsch)

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Dokumentinformationen

  • Titel:
    Untersuchung und Optimierung eines plasmagestützten Ruthenium-ALD-Prozesses : Studienarbeit
  • Sonstige Beteiligte:
  • Hochschulschrift:
    Dresden, Techn. Univ., Diss.; 2009
  • Verlag:
    Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik u. Informationstechnik, Inst. f. Halbleiter- u. Mikrosystemtechnik
  • Erscheinungsort:
    Dresden
  • Erscheinungsjahr:
    2009
  • Format / Umfang:
    Online-Ressource (138 S., 6,16 MB)
  • Anmerkungen:
    graph. Darst.
    Förderkennzeichen BMBF 13N9082. - Verbund-Nr. 01050107
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden. - Auch als gedr. Ausg. vorhanden
  • DOI:
  • Medientyp:
    Hochschulschrift
  • Format:
    Elektronische Ressource
  • Sprache:
    Deutsch
  • Reportnr. / Förderkennzeichen:
    13N9082, 01050107

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