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Modellierung von qualitäts- und effektivitätsbestimmenden Mechanismen beim Laserabtragen [1999]

11
Einführung
19
Modellierung des strukturierenden Abtrags
29
Qualitätsbestimmende Mechanismen beim Strukturieren
41
Simulation der Materialdampfexpansion
61
Wechselwirkungsmechanismen im Materialdampf
87
Effektivitätsbestimmende Faktoren ermittelt durch ganzheitliche Betrachtungsweise
101
Zusammenfassung und Ausblick
103
Literatur
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