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Untersuchung digital-pneumatisch ansteuerbarer Linear-Feinpositioniersysteme [1980]

1
Einleitung
1
Stand der Technik
3
Aufgabenstellung und Zielsetzung
5
Die Problematik bei der Verwendung von dosierten Flüssigkeitsvolumina zur Positionierung
10
Untersuchung eines nach dem Prinzip der leckfreien Volumenverdrängung gebauten Positioniersystems
43
Untersuchung eines nach dem Prinzip der leckbehafteten Volumenverdrängung gebauten Positioniersystems
62
Aufbau des Steuerfahne-Düsenanordnung-Systems
79
Pneumohydraulischer Antrieb
86
Steuerungsaufbau
91
Untersuchungen am Gesamtsystem
96
Zusammenfassung
100
Literaturverzeichnis
104
Bildanhang
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