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Inhaltsverzeichnis
95
Origins of debris and mitigation through a secondary RF plasma system for discharge-produced EUV sources
Vargas López, E.
/ Jurczyk, B.E.
/ Jaworski, M.A.
et al.
| 2004
103
Illinois debris-mitigation EUV applications laboratory
Jurczyk, B.E.
/ Vargas-Lopez, E.
/ Neumann, M.N.
et al.
| 2004
110
Application of the Taguchi’s design of experiments to optimize a bromine chemistry-based etching recipe for deep silicon trenches
Chen, Ping Hsun
/ Yau, Colin
/ Wu, Kuang Yung
et al.
| 2004
110
Application of the Taguchi#8217s design of experiments to optimize a bromine chemistry-based etching recipe for deep silicon trenches
Chen, Ping Hsun
et al.
| 2005
116
Micro-scale metallization of high aspect-ratio Cu and Au lines on flexible polyimide substrate by electroplating using SU-8 photoresist mask
Cho, S.H.
/ Kim, S.H.
/ Lee, J.G.
et al.
| 2004
125
Structural, electrical and mechanical properties of templated silsesquioxane porous films
Yu, Suzhu
/ Wong, Terence K.S.
/ Hu, Xiao
et al.
| 2004
132
Effects of oxidant additives for exact selectivity control of W- and Ti-CMP process
Seo, Yong-Jin
/ Lee, Woo-Sun
et al.
| 2004
139
The SOI planar photonic crystal fabrication: patterning of Cr using Cl2/O2 plasma etching
Milenin, A.P.
/ Jamois, C.
/ Wehrspohn, R.B.
et al.
| 2004
144
Study of PECVD SiOxNy films dielectric properties with different nitrogen concentration utilizing MOS capacitors
Albertin, K.F.
/ Pereyra, I.
et al.
| 2004
150
Modeling plasma etching process using a radial basis function network
Kim, Byungwhan
/ Park, Kyungyoung
et al.
| 2004
158
Optimization of a very cost-effective high voltage p-channel transistor implemented in a standard twin-tub CMOS technology
Pérez-Tomás, A.
/ Jordà, X.
/ Godignon, P.
et al.
| 2004
168
Wafer to wafer nano-imprinting lithography with monomer based thermally curable resin
Lee, Heon
/ Jung, Gun-Young
et al.
| 2004
175
A scaling theory for fully-depleted, surrounding-gate MOSFET’s: including effective conducting path effect
Chiang, T.K.
et al.
| 2004
175
A scaling theory for fully-depleted, surrounding-gate MOSFET#8217s: including effective conducting path effect
Chiang, T.K.
et al.
| 2005
184
Interfacial reactions and electrical properties of hafnium-based thin films in Cu/barrier/n+ –p junction diodes
Ou, Keng-Liang
/ Tsai, Ming-Hung
/ Huang, Haw-Ming
et al.
| 2004
184
Interfacial reactions and electrical properties of hafnium-based thin films in Cu-barrier-n+#8211p junction diodes
Ou, Keng-Liang
et al.
| 2005