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Inhaltsverzeichnis
1
Wavelet analysis of directional variations of plasma etch profile
Choi, Seok Rim
/ Kim, Byungwhan
/ Kim, Beom Soo
et al.
| 2003
7
Control of plasma equipment by regulating radio frequency impedance matching
Kim, Byungwhan
/ Park, Jang-Hyun
/ Kim, Bum Soo
et al.
| 2003
15
Effect of tip length and normal and lateral contact stiffness on the flexural vibration responses of atomic force microscope cantilevers
Wu, Tser-Son
/ Chang, Win-Jin
/ Hsu, Jung-Chang
et al.
| 2003
21
Plasma cleaning technology in the dual damascene process
Kang, Tsung-Kuei
et al.
| 2003
28
The Effect of nitrogen partial pressure on Zr–Si–N diffusion barrier
Song, Z.X
/ Xu, K.W
/ Chen, H
et al.
| 2003
34
Rigorous electromagnetic modeling of near-field phase-shifting contact lithography
Wang, Fei
/ Horn, Mark W
/ Lakhtakia, Akhlesh
et al.
| 2003
54
Etching mechanisms of (Ba,Sr)TiO3 thin films in CF4/Ar inductively coupled plasma
Efremov, A.M
/ Kim, Dong-Pyo
/ Kim, Kyoung-Tae
et al.
| 2003
54
Etching mechanisms of (Ba,Sr)TiO3 thin in CF4/Ar inductively coupled plasma
Efremov, A.M.
/ Kim, Dong-Pyo
/ Kim, Kyoung-Tae
et al.
| 2004
63
Processing chemically amplified resists on advanced photomasks using a thermal array
Schaper, Charles D.
/ El-Awady, Khalid
/ Kailath, T.
et al.
| 2003
69
High temperature stability of Zr–Si–N diffusion barrier in Cu/Si contact system
Wang, Ying
/ Zhu, Changchun
/ Song, Zhongxiao
et al.
| 2003
76
Effects of mechanical stress at no current stressed area on electromigration reliability of multilevel interconnects
Park, Young-Bae
/ Jeon, In-Su
et al.
| 2003
90
The combinatorial effect of complexing agent and inhibitor on chemical–mechanical planarization of copper
Du, Tianbao
/ Luo, Ying
/ Desai, Vimal
et al.
| 2003
98
In-plane reactive ion etched fibre grooves for optical integration and coupling
Chaffey, Jason
/ Austin, Mike
/ Switala, Igor
et al.
| 2003
104
Thermal stability study of NiSi and NiSi2 thin films
Zhao, F.F
/ Zheng, J.Z
/ Shen, Z.X
et al.
| 2003
112
High-voltage power integrated circuit technology using bulk-silicon for plasma display panels data driver IC
Sun, Weifeng
/ Wu, Jianhui
/ Lu, Shengli
et al.
| 2003
ii
Editorial board
| 2003