Approach of the microwave PACVD of TMS by in situ OES (Englisch)
- Neue Suche nach: Thomas, L.
- Neue Suche nach: Badie, J. M.
- Neue Suche nach: Ducarroir, M.
- Neue Suche nach: Berger, N.
- Neue Suche nach: Societe Francaise du Vide
- Neue Suche nach: Deutsche Vakuum Gesellschaft
- Neue Suche nach: Swedish Vacuum Society
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- Neue Suche nach: Ducarroir, M.
- Neue Suche nach: Berger, N.
- Neue Suche nach: Societe Francaise du Vide
- Neue Suche nach: Deutsche Vakuum Gesellschaft
- Neue Suche nach: Swedish Vacuum Society
In:
Trends and applications of thin films
;
149-151
;
2000
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ISSN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:Approach of the microwave PACVD of TMS by in situ OES
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Beteiligte:Thomas, L. ( Autor:in ) / Badie, J. M. ( Autor:in ) / Ducarroir, M. ( Autor:in ) / Berger, N. ( Autor:in ) / Societe Francaise du Vide / Deutsche Vakuum Gesellschaft / Swedish Vacuum Society
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Kongress:International symposium; 7th, Trends and applications of thin films ; 2000 ; Nancy, France
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Erschienen in:Trends and applications of thin films ; 149-151VIDE -PARIS- ; 295 ; 149-151
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Verlag:
- Neue Suche nach: Societe Francaise du Vide
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Erscheinungsdatum:01.01.2000
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Format / Umfang:3 pages
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Anmerkungen:Also known as TATF 2000
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ISSN:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
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