Defect requirements for advanced 300 mm DRAM substrates (Englisch)
- Neue Suche nach: Kupfer, C.
- Neue Suche nach: Roth, H.
- Neue Suche nach: Dietrich, H.
- Neue Suche nach: European Materials Research Society
- Neue Suche nach: Kupfer, C.
- Neue Suche nach: Roth, H.
- Neue Suche nach: Dietrich, H.
- Neue Suche nach: Richter, H.
- Neue Suche nach: Umeno, M.
- Neue Suche nach: Wagner, P.
- Neue Suche nach: European Materials Research Society
In:
The 300 mm silicon era: materials, equipment, technology
4-5
;
381-386
;
2002
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ISSN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:Defect requirements for advanced 300 mm DRAM substrates
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Beteiligte:Kupfer, C. ( Autor:in ) / Roth, H. ( Autor:in ) / Dietrich, H. ( Autor:in ) / Richter, H. / Umeno, M. / Wagner, P. / European Materials Research Society
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Kongress:Symposium O, The 300 mm silicon era: materials, equipment, technology ; 2002 ; Strasbourg, France
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Erschienen in:The 300 mm silicon era: materials, equipment, technology , 4-5 ; 381-386MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 5, 4-5 ; 381-386
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Verlag:
- Neue Suche nach: Pergamon
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Erscheinungsdatum:01.01.2002
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Format / Umfang:6 pages
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ISSN:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
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