Cu coating inside small (15 μm) and ultrahigh-aspect-ratio (>130) through-holes using supercritical CO~2 fluid (Englisch)
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In:
Advanced metallization Asian session; Advanced metallization for ULSI applications
5
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05GA08
;
2014
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ISSN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:Cu coating inside small (15 μm) and ultrahigh-aspect-ratio (>130) through-holes using supercritical CO~2 fluid
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Beteiligte:Watanabe, M. ( Autor:in ) / Takeuchi, Y. ( Autor:in ) / Ueno, T. ( Autor:in ) / Kondoh, E. ( Autor:in ) / Yamamoto, S. ( Autor:in ) / Kikukawa, N. ( Autor:in ) / Suemasu, T. ( Autor:in ) / Nakatsuka, Osamu / Maekawa, Kazuyoshi / Nemoto, Takenao
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Kongress:Conference; 23rd, Advanced metallization Asian session; Advanced metallization for ULSI applications ; 2013 ; Tokyo
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Erschienen in:JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS -NEW SERIES- ; 53, 5 ; 05GA08
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Verlag:
- Neue Suche nach: Japan Society of Applied Physics
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Erscheinungsort:Tokyo
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Erscheinungsdatum:01.01.2014
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Format / Umfang:05GA08
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Anmerkungen:Based on those presented at the conference. Also known as ADMETA plus 2013.
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ISSN:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
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