New Test Structure Development for Pattern Collapse Evaluations (Englisch)
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- Neue Suche nach: Mannaert, G.
- Neue Suche nach: Sánchez, E. A.
In:
15th International symposium on Ultra clean processing of semiconductor surfaces, UCPSS
;
167-171
;
2021
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ISSN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:New Test Structure Development for Pattern Collapse Evaluations
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Beteiligte:Xu, X. M. ( Autor:in ) / Pak, M. ( Autor:in ) / Delvaux, C. ( Autor:in ) / Sebaai, F. ( Autor:in ) / Mannaert, G. ( Autor:in ) / Sánchez, E. A. ( Autor:in )
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Kongress:15th International symposium on Ultra clean processing of semiconductor surfaces, UCPSS
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Erschienen in:Diffusion and defect data ; 314 ; 167-171
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Verlag:
- Neue Suche nach: Trans Tech Publications
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Erscheinungsdatum:01.01.2021
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Format / Umfang:5 pages
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ISSN:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Datenquelle:
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