Microelectronic engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology (Englisch)
1.1983(1983/85) - 88.2011; Vol. 89.2012 -
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ISSN:
- Zeitschrift / Print
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Bestand:1.1983 - 88.2011; Vol. 89.2012 - 282.2023
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Titel:Microelectronic engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology
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Verlag:
- Neue Suche nach: Elsevier
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Erscheinungsort:Amsterdam [u.a.] , Amsterdam , Tokyo
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Erscheinungsverlauf:1.1983(1983/85) - 88.2011; Vol. 89.2012 -
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ISSN:
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ZDBID:
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Coden:
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Medientyp:Zeitschrift
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Klassifikation:
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Bestand:1.1983 - 88.2011; Vol. 89.2012 - 282.2023
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