Infrarotmesstechnik zur In-Line-Inspektion für gekapselte Siliziumbauelemente "IRIS" : Schlussbericht zum Vorhaben : Teilvorhaben der Polytec GmbH: Rasterndes Optisches Kohärenz Tomographie Vibrometer : Projektzeitraum: 01.06.2015-31.03.2019 (Deutsch)
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2019
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Titel:Infrarotmesstechnik zur In-Line-Inspektion für gekapselte Siliziumbauelemente "IRIS" : Schlussbericht zum Vorhaben : Teilvorhaben der Polytec GmbH: Rasterndes Optisches Kohärenz Tomographie Vibrometer : Projektzeitraum: 01.06.2015-31.03.2019
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Weitere Titelangaben:Rasterndes Optisches Kohärenz Tomographie Vibrometer
In-line inspection of encapsulated silicon MEMS via IR measurement technology : scanning optical coherence tomography vibrometer -
Beteiligte:Wolfer, Marco ( Autor:in ) / Polytec GmbH, Waldbronn ( Herausgebendes Organ )
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Verlag:
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Erscheinungsort:Waldbronn
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Erscheinungsdatum:2019
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Format / Umfang:20, 4 ungezählte Blätter, 3 Blätter
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Anmerkungen:Illustrationen
Förderkennzeichen BMBF 13N13562
Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden -
Medientyp:Report
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Format:Print
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Sprache:Deutsch
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Reportnr. / Förderkennzeichen:13N13562, Verbundnummer 01159220
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Klassifikation:
BKL: 50.21 Messtechnik -
Datenquelle: