MikroSystemTechnik : Kongress 2021 : Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte : Proceedings : 8.-10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg (Deutsch, Englisch)
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2021
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ISBN:
- Konferenzband / Datenträger
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Titel:MikroSystemTechnik : Kongress 2021 : Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte : Proceedings : 8.-10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg
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Weitere Titelangaben:MikroSystemTechnik Kongress 2021
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Beteiligte:Burghartz, Joachim ( Herausgeber:in ) / Kretschmann, Andre ( Herausgeber:in ) / Lakner, Hubert ( Herausgeber:in ) / MikroSystemTechnik Kongress ( Autor:in ) / VDE Verlag ( Verlag ) / Deutschland, Bundesministerium für Bildung und Forschung ( Veranstalter:in ) / Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik ( Veranstalter:in ) / Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik ( Veranstalter:in ) / VDI-VDE Innovation + Technik GmbH ( Veranstalter:in )
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Kongress:MikroSystemTechnik Kongress ; 2021 ; Stuttgart-Ludwigsburg
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Verlag:
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Erscheinungsort:Berlin , Offenbach
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Erscheinungsdatum:2021
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Format / Umfang:1 CD-ROM
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Anmerkungen:14 cm x 12.4 cm, 60 g
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ISBN:
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Medientyp:Konferenzband
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Format:Datenträger
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Sprache:Deutsch, Englisch
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Schlagwörter:
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Klassifikation:
BKL: 50.94 Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie -
Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis Konferenzband
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3D-gedruckte PEEK Formeinsätze für das MikropulverspritzgießenHanemann, Thomas / Antusch, Steffen / Baumgaertner, Siegfried / Bonk, Simon / Klein, Alexander / Walter, Heinz / Wilhelm, David et al. | 2021
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Innovative Herstellung flexibler Folienleiterplatten durch Flip-Chip Bonden gedünnter Chips mittels NanodrähtenAlbrecht, Bjoern / Passlack, Ulrike / Harendt, Christine / Weissenborn, Florian / Quednau, Sebastian / Birlem, Olav / Burghartz, Joachim et al. | 2021
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Sensornahe KI - Systembaukasten erlaubt ressourceneffiziente Anpassung der KI-HardwareBurwick, Christian / Deuble, Thomas / Epple, Steffen et al. | 2021
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Pressure Sensor Catheter based on piezoelectric actuated Aluminum Nitride Membrane and Fiber Tip Fabry-Perot-InterferometerFriedemann, Marvin / Voigt, Sebastian / Kriebel, David / Meinel, Katja / Stoeckel, Chris / Hecker, Raoul / Hiller, Karla / Mehner, Jan et al. | 2021
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Integration von Siliziumdurchkontaktierungen (TSV) als via-last Ansatz in dauerhaft gebondete WaferverbündeBerthold, Teresa / Tavassolizadeh, Ali / Kuhnt, Christian / Weidner, Thomas / Mehner, Hannes et al. | 2021
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An Integrated FOPP Detector for Beta Cell Function MonitoringYu, Zili / Scherjon, Cor / Kraushaar, Udo / von Metzen, Rene P. / Burghartz, Joachim N. et al. | 2021
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Mechanischer 3-Bit Digital-Analog-Wandler (DAC) mit großem StellwegSchmitt, Lisa / Schmitt, Philip / Hoffmann, Martin et al. | 2021
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Performance of magnetically driven MEMS piezoelectric energy harvester and its application as a transducer for a near zero-power wake-upDankwort, Torben / Gojdka, Bjoern / Nowak, Marc Alexander / Bodduluri, Mani Teja / Gruenzig, Sven / Ahmed, Minhaz / Lofink, Fabian et al. | 2021
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Miniaturisierte Einkoppeloptik für SNSPDsMöller, Christian / Schildhauer, Tony / Winzer, Andreas T. / Ortlepp, Thomas et al. | 2021
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Herstellung von TXRF-Kalibrierproben mittels Atomlagenabscheidung (ALD) und FotolithografieSchulz, Norbert / Zolotaryov, Andriy / Trieu, Hoc Khiem et al. | 2021
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Heterosystem-integrated carbon nanotube sensors for on-ASIC condition monitoringBoettger, Simon / Dietz, Franz / Pankenin, Eric / Dahra, Nipun / Kaulfersch, Eberhard / Gromala, P. / Hermann, Sascha et al. | 2021
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Dimensioning and characterisation of an EWOD-driven chipintegrated micropump using time-resolved simulationsBohm, Sebastian / Phi, Hai Binh / Moriyama, Ayaka / Dittrich, Lars / Runge, Erich et al. | 2021
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Kinetic Energy Harvesting in a driven Tool HolderWendt, Thomas / Gawron, Philipp / Stiglmeier, Lukas et al. | 2021
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Film transfer from thin films to metal surfaces using sol-gels, self-assembling monolayers and water glassBasten, Robin G. / Zawacka, Aleksandra M. / Bengsch, Sebastian / Prediger, Maren S. / Wurz, Marc Christopher et al. | 2021
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Vapor HF Etching Based Surface Micromachining Process for Fabricating a Micromechanical Sterilization Cycle CounterVora, Riddhesh / Spies, Irina / Hoffmann, Daniel / Trautner, Heiko / Blattert, Christoph / Dehe, Alfons et al. | 2021
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GlaRA – Glasinterposer-Technologie zur Realisierung hochkompakter Elektroniksysteme für Hochfrequenzanwendungen (160 GHz)Kroehnert, Kevin / Woehrmann, Markus / Schiffer, Michael / Friedrich, Georg / Starukhin, Dzmitry / Schneider-Ramelow, Martin / Mayer, Winfried / Chaloun, Tobias / Galler, Thomas / Waldschmidt, Christian et al. | 2021
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CuO/Al reactive multilayers as internal heat source for wafer bondingVogel, Klaus / Roscher, Frank / Braun, Silvia / Zimmermann, Sven / Wiemer, Maik / Kuhn, Harald et al. | 2021
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Solid-State LiDAR: MEMS Spiegel für die Umgebungssensorik zum sicheren autonomen FahrenGrahmann, Jan / Schroedter, Richard / Kiethe, Oliver / Todt, Ulrich / Blasl, Martin et al. | 2021
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Implementation of Fragile Holding Structures for Rotating Elements in the Printing Process of 2-Photon-PolymerizationGehlken, Wiebke / Reede, Sina / Vellekoop, Michael J. et al. | 2021
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Sensorsystem zur Erkennung schwerer Verläufe von Infektionskrankheiten am Beispiel COVID-19Scholles, Michael et al. | 2021
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MEMS for characterization of thermal conductivity in thin films and two-dimensional materialsJiang, Felix / Ryu, Meguya / Morikawa, Junko / Pachauri, Vivek / Ingebrandt, Sven / Vu, Xuan Thang et al. | 2021
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Feldexpositionskonformer induktiver 13,56 MHz-Energie-Harvester für tief implantierte medizinische SystemeFaragalla, Mohamed / Krautschneider, Wolfgang / Kuhl, Matthias et al. | 2021
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Mikrogefertigter Multi-Frequenz-Ultraschallwandler für die Implantat-zu-Implantat-KommunikationVelten, Thomas / Oevermann, Jorge / Weber, Peter / Sossalla, Adam / Knoll, Thorsten / Kebkal, Konstantin / Bannasch, Rudolf et al. | 2021
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Direktabgeschiedene Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen für erhöhte TemperaturenOttermann, Rico / Klaas, Daniel / Dencker, Folke / Hoheisel, Dominik / Rottengatter, Peter / Kruspe, Thomas / Wurz, Marc Christopher et al. | 2021
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On the Design of Pseudo Resistors in Biomedical CMOS CircuitsLausen, Timo / Jusko, Benjamin / Kiyan, Tuba / Keil, Stefan / Thewes, Roland et al. | 2021
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Erweiterung des Einsatzbereiches von laserstrukturierten 3D-MID durch die Verwendung von keramischen SubstratmaterialienSchilling, Alexander / Ninz, Philipp / Petillon, Simon / Weser, Sascha / Knöller, Andrea / Eberhardt, Wolfgang / Günther, Thomas / Kern, Frank / Zimmermann, Andre et al. | 2021
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Characterization of Reactive Multilayer Systems deposited on LTCC featuring different surface morphologiesSchulz, Alexander / Bartsch, Heike / Gutzeit, Nam / Matthes, Sebastian / Glaser, Marcus / Ruh, Andreas / Mueller, Jens / Schaaf, Peter / Bergmann, Jean Pierre / Wiese, Steffen et al. | 2021
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Passivierte Mikrodurchflusssensoren für leicht korrosive MedienFrank, Th. / Cyriax, A. / Wünscher, H. / Grün, A. / Jagomast, S. / Maier, C. / Völlmeke, S. / Herbst, S. / Ortlepp, Thomas et al. | 2021
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Highly Modular Microsystem Inchworm Motor Based on a Nanoscopic Electrostatic DriveNarimani, Keyvan / Shashank, Shashank / Langa, Sergiu / Pineda Gomez, Roberto / Ruffert, Christine / Scholles, Michael / Schenk, Harald et al. | 2021
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Die MRD Disk: Automatisiertes Monitoring Minimaler Resterkrankung durch hochsensitive, zentrifugal-mikrofluidische Multiplex-qPCRJuelg, Peter / Kipf, Elena / Specht, Mara / Menges, Julian / Fillies, Marion / Eckert, Cornelia / Paust, Nils / Zengerle, Roland / Lehnert, Michael / Hutzenlaub, Tobias et al. | 2021
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Fiber-based optrodes Light delivery for optogeneticsPetrovic, Jelena / Lange, Fred / Hohlfeld, Dennis et al. | 2021
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Femtosecond laser fabrication of a paper-based biosensor for measurement of AmitriptylineBuiles Sanchez, Jaime Esteban / Conrad, Monika / Gauglitz, Guenter / Dietzel, Andreas et al. | 2021
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Dealing with Clock Domain Crossing in Multiphase Clock Time-to-Digital Converters using Multiplexer SynchronizersMennicke, Lukas / Hofmann, Klaus et al. | 2021
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Speichernde Sensorkonzepte mit in-memory-Computing, ganz ohne elektrische HilfsenergieHoffmann, Martin / Schmitt, Philip / Zimmermann, Sven / Stöckel, Chris / Forke, Roman / Geneiß, Volker / Wittemeier, S. / Hedayat, Christian / Hilleringmann, Ulrich / Kuhn, Harald et al. | 2021
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Damped silicon microprobes for high-speed roughness measurementsFahrbach, Michael / Ombati Nyang'au, Wilson / Domanov, Oleg / Schwalb, Christian H. / Xu, Min / Li, Zhi / Kuhlmann, Christian / Brand, Uwe / Peiner, Erwin et al. | 2021
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Precise position determination with digital sensor arraysVoss, Andreas / Bartos, Axel et al. | 2021
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Machine Learning for Mathematical Modelling of Piezo HysteresisBuechi, Roland et al. | 2021
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Microfluidic organ-on-chip system for monitoring 3D breast cancer stem cell culturesDornhof, Johannes / Kieninger, Jochen / Muralidharan, Harshini / Maurer, Jochen / Urban, Gerald A. / Weltin, Andreas et al. | 2021
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Neue Optopackaging-Konzepte mit elektrischen Durchführungen und Optik-Mikromontage mittels LaserdirektlötungStenchly, Vanessa / Reinert, Wolfgang et al. | 2021
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Piezoceramic Mounting Process and Adapted Pretension for Improved Microvalve Functionality and ReliabilityDurasiewicz, Claudia Patricia / Guentner, Sophia / Kibler, Sebastian et al. | 2021
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Optimierung und Einsatz einer Heizer-Isolationsschicht aus Polyimid für die Kryofixation in PDMS-MikrokanälenThiem, Daniel B. / Lamberz, Christian / Szabo, Greta / Burg, Thomas P. et al. | 2021
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Simulation model and dimensioning of a photoacoustic sensor for the detection of radiation-induced pressure surgesHandte, Thomas / Bohm, Sebastian / Goj, Boris / Dittrich, Lars / Mollenhauer, Olaf / Sinzinger, Stefan / Runge, Erich et al. | 2021
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Enhancing the performance of piezoelectric energy harvesters by integrating AlScN piezoelectric thin filmDankwort, Torben / Yarar, Erdem / Gruenzig, Sven / Gojdka, Bjoern / Fichtner, Simon / Lofink, Fabian et al. | 2021
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Entwicklung eines skalierbaren FOWLP AiP Moduls für 5G und mm-Wellen MIMO-AnwendungenMueller, Friedrich / Braun, Tanja / Le, Thi Huyen / Rossi, Marco / Schwanitz, Oliver / Ndip, Ivan / Hoelck, Ole / Becker, Karl-Friedrich / Boettcher, Mathias / Schiffer, Michael et al. | 2021
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Laserdirektschreiben metallischer Nanostrukturen aus der Gasphase mittels Zwei-Photonen-AbsorptionSchwarz, Nicolai / Klotzbuecher, Thomas et al. | 2021
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Entwicklung eines kalorimetrischen Zweidraht-Massenflusssensors für Wasser auf Basis von GlassubstratenLaske, Norman / Lisec, Thomas / Knieling, Thomas / Wille, Gunnar / Blohm, Lars et al. | 2021
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Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers for Applications in Nondestructive TestingVoelz, Uwe / Kircher, Marco / Koch, Sandro G. / Krenkel, Marcel et al. | 2021
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Miniaturisierter optischer Drehwinkelsensor mit integrierter InterpolationSeybold, Jonathan / Buelau, Andre / Fritz, Karl-Peter / Zimmermann, Andre / Frank, Alexander / Scherjon, Cor / Burghartz, Joachim et al. | 2021
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Development of Cost-Effective Automated Test System for Determining Lifetime of Gold Contacts Under Mechanical LoadAlaboz, Hakan / Kovacs, Andras / Safa, Yasser / Mescheder, Ulrich M. et al. | 2021
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Optimization of a High-g Acceleration Sensor for Crash-test ApplicationSrivastava, Ananya / Rockstroh, Jan / Dehe, Alfons et al. | 2021
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Analysis of Inertial Sensor Frontend Inherent ESD ImmunityElsobky, Mourad / Leube, Carsten / Alpert, Thomas / Mayer, Thomas et al. | 2021
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GaN-based pressure sensor for harsh environments with on-chip temperature compensationMoser, Matthias / Scherjon, Cor / Pradhan, Mamta / Alomari, Mohammed / Burghartz, Joachim et al. | 2021
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Quality Factors of MEMS Plate Modes in FluidsGesing, Andre / Platz, Daniel / Schmid, Ulrich et al. | 2021
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Thermisch leitfähige Polymer-Keramik-Komposite für den TintenstrahldruckGraf, Dennis / Jung, Judith / Hanemann, Thomas et al. | 2021
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Vier-Level-Mikro-Via-Technologie (4L?V) für die ASIC-Integration in aktive flexible SensorfolienZhou, Maolei / von der Heide, Chresten / Passlack, Ulrike / Hanka, Kevin / Harendt, Christine / Kaiser, Alexander / Dietzel, Andreas et al. | 2021
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A microfluidic porous solid phase suitable for mass productionBehrmann, Ole / Lisec, Thomas / Piechotta, Gundula / Gojdka, Bjoern et al. | 2021
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Neuartige Methode zur ladungsunabhängigen Dosismessung bei IonenimplantationMaier, Tim / Akhmadaliev, Shavkat / Bischof, Tina / Csato, Constantin / Gerold, Marcel / Koch, Robert / Kraus, Matthias / Krippendorf, Florian / Zowalla, Andre / Rüb, Michael et al. | 2021
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Keramische Mikroreaktoren für die kontinuierliche hydrothermale Synthese (CHTS)Zürn, Martin / Medesi, Anna / Klein, Alexander / Schüßler, Christian / Türk, Michael / Dietrich, Stefan / Hanemann, Thomas et al. | 2021
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Biocompatible pressure-sensitive diaphragms for medical implantsKlein, Ann-Kathrin / Burkhardt, Claus / Stamm, Boris / Kaya, Alexander / Dietzel, Andreas et al. | 2021
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Aufbau und Charakterisierung eines CMOS-integrierten Sensorsystems zur Messung von VerformungenSchumacher, Axel / Shah, Vraj / Knappmann, Stephan / Hehn, Thorsten / Dehe, Alfons et al. | 2021
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System-Level Modeling of a Cooperative Microactuator with Free Particle MovementOlbrich, Michael / Schuetz, Arwed / Bechtold, Tamara / Ament, Christoph et al. | 2021
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Multi-Axis Micro Force Sensor Based on a CMOS Integrated ChipFolkmer, Bernd / Hehn, Thorsten / Koehler, Manuel / Willmann, Alexander / Landler-Gaertner, Daniel / Dehe, Alfons et al. | 2021
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Analysis of volatile compounds by nanoelectromechanical photothermal infrared spectroscopy with picogram sensitivityLuhmann, Niklas / Pliessnig, Raphael / Willert, Christoph / Lafleur, Josiane P. / Schmid, Silvan et al. | 2021
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Navigating Automatic Test Equipment Production in changing times and times of uncertaintySaidani, Fida et al. | 2021
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Integrierter, digital steuerbarer Abwärtswandler, Submount zur Kühlung mit integrierter Sensorik und angepasste Optik zum Betrieb von UV-LEDsHeinze, Christoph / Frisch, Malte / Ortlepp, Thomas / Brodersen, Olaf et al. | 2021
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Magnetoresistive Sensoren für die patientennahe LabordiagnostikHölzl, Joachim / Slatter, Rolf et al. | 2021
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Rapid-Prototyping-Plattform für ?-Total-AnalysesystemeSerout, Anne / Podbiel, Daniel / Bott, Hannah / Kadic, Samir / Hoffmann, Jochen / Laermer, Franz et al. | 2021
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Effect of Surface Roughness on the Adhesion of PECVD coated Silicon-Carbide Thin-films on (110) monocrystalline-Silicon WaferKhazi, Isman / Kovacs, Andras / Mescheder, Ulrich et al. | 2021
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Effiziente Plasmastrukturierung komplexer Gläser mit polymeren Resistmasken durch statistische VersuchsplanungWeigel, Christoph / Phi, Hai Binh / Akkad, Mohammad / Strehle, Steffen et al. | 2021
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Processing method of thin metal-polymer laminate membranes and transfer to cylindrically shaped substrates for flexible sensorsSittkus, Benjamin / Mescheder, Ulrich M. / Urban, Gerald et al. | 2021
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LIFT printing of deterministic porous electrodes for electrochemical systemsTang, Bo / Schneemann, Christian / Rager, Korbinian / Dworzak, Alexandra / Oezaslan, Mehtap / Dietzel, Andreas et al. | 2021
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Fabrication of a Low Profile Planar Transformer Using a Dual PCB ApproachFischer, Eike Christian / Bierwirth, Tim Nils / Dencker, Folke / Wurz, Marc Christopher et al. | 2021
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Bestimmung der Himmelsrichtung mittels Präzisions-MEMS-Gyroskop in einem kompakten GerätBuelz, Daniel / Weidlich, Sebastian / Konietzka, Stefan / Motl, Tim / Forke, Roman / Hiller, Karla / Kuhn, Harald et al. | 2021
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On-site Multi-Class Feature Selection for Online Classification of Switchgear Actuations in the Distribution GridNicolaou, Christina / Mansour, Ahmad / Van Laerhoven, Kristof et al. | 2021
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Mikrosysteme zur Messung von Haftreib- und Gleitreibfaktoren an DRIE geätzten Seitenwänden bei hohen Normalkräften im mN-BereichMehner, Hannes / Schmitt, Philip / Hoffmann, Martin et al. | 2021
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Robuster, thermischer Strömungs- und Konzentrationssensor basierend auf Anemometrie und der 3Omega-MethodeBernhardsgrütter, Ralf / Hepp, Christoph / Schmitt, Katrin / Wöllenstein, Jürgen et al. | 2021
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Chip Integration in Thin Film Sensor Flex – Technology Developed within the “FLEXMAX” projectKaiser, Alexander / Matej, Paul / Herbort, Christian / Lang, Robert / Pursche, Oliver / Ruess, Karin / Keim, Uwe / Hanka, Kevin / Abel, Martin / Passlack, Ulrike et al. | 2021
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Whispering Gallery Resonators with diffractive coupling elementsBehrens, Arne / Fesser, Patrick / Bosch, Marti / Hentschel, Martina / Sinzinger, Stefan et al. | 2021
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Mikromechanischer Konstant-Kraft Taster zur Stimulation und Analyse von ZellenThewes, Anna Christina / Schmitt, Philip / Löhler, Philipp / Hoffmann, Martin et al. | 2021
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Magnetically Enhanced Stretchable Interconnects for Human-Machine InterfaceErnst, Daniel / Nieweglowski, Krzysztof / Schubert, Martin / Bock, Karlheinz et al. | 2021
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Modifikation eines Cryo-basierten Reaktiven Ionenätzprozesses zur Herstellung von bioinspirierten NanokonusstrukturenDoll, Patrick W. / Schmidt-Speicher, Leona / Bacher, Andreas / Muslija, Alban / Ahrens, Ralf / Guber, Andreas E. et al. | 2021
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Hybrid microintegrated laser modules for precision spectroscopy applications in spaceKuerbis, Christian / Baumann, Jan / Bawamia, Ahmad / Franke, Tobias / Hahn, Alina / Kluck, Andre / Kreutzmann, Sabrina / Smol, Robert / Wicht, Andreas / Traenkle, Guenther et al. | 2021
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Neue Aufbau- und Verbindungstechnik für die Kontaktierung leistungselektronischer Bauteile Ergebnisse aus dem BMBF-Förderprojekt ThermoFreqNachtigall-Schellenberg, Christian / Wilke, Klaus et al. | 2021
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Origami-Basierte MikroaktorikSeigner, Lena / Bezsmertna, Olha / Fähler, Sebastian / Kohl, Manfred et al. | 2021
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MEMS Speaker ModelingClerici, Andrea Rusconi et al. | 2021
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Hochdynamischer linearer CMOS Bildsensor auf Basis von Selbst- Reset Pixelzellen und Pinned-PhotodiodenHirsch, Stefan / Strobel, Markus / Scherjon, Cor / Yu, Zili / Zhang, Yipin / Burghartz, Joachim et al. | 2021
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Maskless Lithography and 3D Printing through photochemical C,H Insertion CrosslinkingSong, Dan / Kotz-Helmer, Frederik / Rapp, Bastian E. / Rühe, Juergen et al. | 2021
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In-Memory Computing exceeding 10000 TOPS/W using Ferroelectric Field Effect Transistors for EdgeAI ApplicationsLaleni, Nelli / Soliman, Taha / Mueller, Franz / Mojumder, Shaown / Kirchner, Tobias / Lederer, Maximilian / Hoffmann, Tudor / Guntoro, Andre / Wehn, Norbert / Kaempfe, Thomas et al. | 2021
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Development of a modular microfluidic bioreactor to further research the inter-cellular communication of plant cells and pathogensSchmidt-Speicher, Leona M. / Supp, Laura / Metzger, Christian / Ahrens, Ralf / Nick, Peter / Guber, Andreas E. et al. | 2021
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Delta-Kodierung zur Reduzierung der Datenrate in neuronalen Sonden mit In-Situ Delta-Sigma Analog-Digital-Wandler Front-EndWendler, Daniel / Körber, Jan / De Dorigo, Daniel / Willaredt, Roman / Manoli, Yiannos et al. | 2021
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Vergleich der Plasmastrukturierbarkeit von Materialien mit sehr geringer thermischer AusdehnungWeigel, Christoph / Phi, Hai Binh / Hoffmann, Martin / Sinzinger, Stefan / Strehle, Steffen et al. | 2021
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ScaleIT Skalierbarer Zugang zu industriellen Apps für den produzierenden MittelstandDoerr, Roland / Neuy, Christine et al. | 2021
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Nachhaltigkeit in der Elektronik – Eine BestandsaufnahmeKerbusch, Jochen / Gaass, Markus / Fiehler, Vera / Wenzel, Marita / Zehm, Antje et al. | 2021
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Design of a 3D Compact Hybrid Photonic Crystal Surface Plasmon TaperJannesari, Reyhaneh / Stocker, G. / Grille, T. / Tortschanoff, A. / Jakoby, B. et al. | 2021
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Development of a Fresnel mirror with tunable phase shift and mirror angleBruno, Binal Poyyathuruthy / Grunwald, Ruediger / Wallrabe, Ulrike et al. | 2021
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Maskless pattern transfer into photostructured glasses by deep plasma etchingWeigel, Christoph / Brokmann, Ulrike / Raedlein, Edda / Strehle, Steffen et al. | 2021
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Finite element simulations of the electrochemical double layer structure under microscopic probes of various geometriesKuemmerle, Maxim / Hoermann, Johannes L. / Greiner, Andreas et al. | 2021
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Assembly of Single-nanowires by Combining Soft Transfer and Surface Controlled Contact PrintingSalimitari, Parastoo / Reuter, Christoph / Kroetschl, Anja / Strehle, Steffen et al. | 2021
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Integration of nanoporous gold electrodes in microfluidic chambers by inkjet-printing for biosensing applicationsTrotter, Martin / Juric, D. / Bagherian, Zahra / Borst, Nadine / Glaeser, Kerstin / von Stetten, Felix / Zimmermann, Andre et al. | 2021
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Raman spectroscopy as an effective tool for characterizing large-area 2D TMDs deposited from the gas phaseBecher, Malte / Wree, Jan-Lucas / Berning, Thomas / Neubieser, Rahel-Manuela / Michel, Marvin D. / Bock, Claudia / Devi, Anjana / Ostendorf, Andreas et al. | 2021
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Reliability Aspects of in-plane NED Bending Actuators in Silicon-based MEMSStolz, Michael / Langa, Sergiu / Kaiser, Bert / Schenk, Harald et al. | 2021
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Transfer Printable 64 Gbps Lumped Driver for Optical CommunicationInac, Mesut / Fatemi, Adel / Gerfers, Friedel / Malignaggi, Andrea et al. | 2021
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Determination of the optimal operating parameters for a FAIMS-Chip for the system integration in the human breath and urine analyticFunke, Nils / Graf, Alexander / Schoenfelder, Jessy / Hild, Olaf R. et al. | 2021
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Ein tragbares, automatisiertes All-in-One-Mikrofluidiksystem mit 3D-gedrucktem Chip und neuartigem FluidsteuerungsmechanismusZhang, Yushen / Tseng, Tsun-Ming / Schlichtmann, Ulf et al. | 2021
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Energieautarker Beschleunigungssensor mit MaximalwertspeicherSchmitt, Philip / Hoffmann, Martin et al. | 2021
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Closed-Loop CMOS Stresskartierungssystem mit 4-Bit einstellbarer Sensitivität basierend auf 32 FET StresssensorenAllinger, Kim / Kuhl, Matthias et al. | 2021
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Strahlcharakteristik eines elektrostatischen, membranlosen MEMS-Ultraschallwandlers für UmgebungserfassungMelnikov, Anton / Marica-Bercu, Ioana / Monsalve, Jorge M. / Jongmanns, Marcel / Kaiser, Bert et al. | 2021
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Bayessche Justierkalibrierung eines CMOS-integrierten Hall- Temperatur-SensorsystemsBerger, Moritz / Schott, Christian / Paul, Oliver et al. | 2021
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Development and Construction of a Parameterizable Condition Classification System for Electromagnetic Proportional Valves using Neuronal NetworksRossbach, Daniel / Rueb, Marcus / Kuderer, Markus / Manoli, Yiannos et al. | 2021
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Efficient and cost-effective manufacturing of nanostructures with high aspect ratios using Soft UV-Nanoimprint Lithography with bi- and trilayer resist systemsHandte, Thomas / Scheller, Nicolas / Dittrich, Lars / Thesen, Manue W. / Messerschmidt, Martin / Sinzinger, Stefan et al. | 2021
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Low-Redundancy Realization of Safety-Critical Automotive FunctionsBarner, Simon / Matthes, Stefan / Dormann, Holger / Schingale, Angelika / Kaulfersch, Eberhard / Eichhorst, Michael / Scheiter, Lutz / Schmidt, Holger / Gebert, Juergen et al. | 2021
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Monolithic integration of in-plane hybrid III-V/Si photonic devicesScherrer, Markus / Tiwari, Preksha / Trivino, Noelia Vico / Mauthe, Svenja / Wen, Pengyan / Schmid, Heinz / Moselund, Kirsten Emilie et al. | 2021
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Development of a hybrid microsystem for acquisition of sterilization cyclesHoffmann, Daniel / Trautner, Heiko / Spieth, Sven / Herrlich, Simon / Pagel, Kenny / Dehe, Alfons et al. | 2021
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Breitbandiger Transceiver ASIC für heteronukleare NMR-SpektroskopieDreyer, Frederik / Krüger, Daniel / Anders, Jens et al. | 2021
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Kick & Catch: elektrostatisches Rotieren einer KugelFarny, Mario / Hoffmann, Martin et al. | 2021
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A novel concept for piezoelectric actuation of tunable silicone membrane lensesBettaswamy, Hitesh Gowda / Wallrabe, Ulrike et al. | 2021
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Laser Grooving – the „Swiss Army Knife“ to make the Best of a WaferGang, Andreas / Yubira, Yasuyoshi / Chervenkov, Sotir / Viehweger, Kay / Wolf, Juergen et al. | 2021
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An Alternative Approach to Traditional Lifetime Testing Based on Comparative Studies and Survival AnalysisKeil, Ferdinand / Hofmann, Klaus et al. | 2021
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High Refractive Index Integrated Photonics on Glass SubstratesLipka, Timo / Bosnjak, Bojan / Alhareeb, N. / Rennpferdt, Lukas / Vermeer, Matthias L. / Blick, Robert H. / Trieu, Hoc Khiem et al. | 2021
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Wafer-level fabrication of an EWOD-driven micropumpPhi, Hai Binh / Bohm, Sebastian / Runge, Erich / Strehle, Steffen / Dittrich, Lars et al. | 2021
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Development of a Micro-integrated hyperspectral imaging systemGuenther, Thomas / Hausladen, Florian / Barth, Maximilian / Roeder, Marcel / Janek, Florian / Drossart, Dominik / Wurm, Holger / Sahakalkan, Serhat / Stock, Karl / Zimmermann, Andre et al. | 2021
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Lab-on-a-chip based silicon nanowire sensor system for the precise study of chemical reaction-diffusion networksTintelott, Marcel / Ingebrandt, Sven / Pachauri, Vivek / Vu, Xuan Thang et al. | 2021
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RISC-V based SoC with integrated switched-capacitor PUF in 180 nmMueller, Kai-Uwe / Stanitzki, Alexander / Fedtschenko, Tatjana / Kokozinski, Rainer et al. | 2021
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SmartNIR - Development of a highly miniaturised NIR-spectrometer for integration into mobile devicesReinig, Peter / Dallmann, Hans-Georg / Kruse, Jens / Knobbe, Jens et al. | 2021
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How data-driven approaches can increase the accuracy of LED reliability predictionsBenkner, Simon / Klir, Stefan / Herzog, Alexander / Khanh, Tran Quoc et al. | 2021
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Microoptics for flat display backlightingStreppel, Ulrich / Widholz, Georg et al. | 2021
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Infrarot-Detektoren in "Ge-on-Si"-Technologie für Spektrometer- und Nachtsichtkamera-AnwendungenKaschel, Mathias / Yu, Zili / Epple, Steffen / Burghartz, Joachim / Oehme, Michael / Schulze, Jörg et al. | 2021
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Mikromechanisch strukturierter, CMOS-kompatibler pyroelektrischer Detektor auf der Basis von dotiertem HfO2 in TrenchzellenMutschall, Doris / Kaiser, Alena / Lehmkau, Robin / Ebermann, Martin / Neumann, Norbert / Mart, Clemens / Eßlinger, Sophia / Neuber, Markus / Weinreich, Wenke / Hiller, Karla et al. | 2021
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Experimental Characterization Method for Passive Microvalves in Diaphragm Pumps for Medical ApplicationsGruenerbel, Lorenz / Leikam, Barbara / Schrag, Gabriele et al. | 2021
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“Safety Valve”: A Metal-Based, Self-Securing Switchable Microvalve for Medical ApplicationsDurasiewicz, Claudia Patricia / Hoelzl, Wolfgang / Schrag, Gabriele et al. | 2021
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Mechanical cooling of AFM cantileversIgnat, Ioan / Schuster, Bernhard / Hafner, Jonas / Kwon, MnHee / Platz, Daniel / Schmid, Ulrich et al. | 2021
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Cell transport using piezoelectric micro diaphragm pumpsBussmann, Agnes / Thalhofer, Thomas / Daum, Leopold / Richter, Martin / Hayden, Oliver et al. | 2021
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Miniaturisierung hochsensitiver, hitzdrahtbasierter Massenflusssensoren mit Hilfe von HalbleiterfertigungstechnologieSeidl, Martin / Schrag, Gabriele / Tumpold, David / Klein, Wolfgang et al. | 2021
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Exploring the advantages of acoustic power transfer using 1-3 composite transducersKar, Bibhu / Wallrabe, Ulrike et al. | 2021
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Dielectric Properties of Plasma Oxides for Microfabricated Ion TrapsZesar, Alexander / Schoenherr, Helmut / Sieberer, Michael / Seebacher, David / Roessler, Clemens / Schueppert, Klemens / Aschauer, Elmar / Hadley, Peter et al. | 2021
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Bleifreie Bariumtitanat-Piezokeramik dargestellt durch elektrophoretische Abscheidung auf GraphitelektrodenKetterer, Ines / Yang, Cheng-Kang / Frey, Marco / Wapler, Matthias / Hanemann, Thomas et al. | 2021
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Evaluation of a low-temperature fabrication technology for silicon-ceramic composite substratesMohr-Weidenfeller, Laura / Gropp, Sebastian / Azizy, Raschid / Mueller, Bjoern / Guenther-Mueller, Sarah / Bucklitsch, Paul / Mueller, Jens / Strehle, Steffen et al. | 2021
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Ein auf ferroelektrischer Polarisationsinversion in AlScN basierender Doppellagen MEMS-AktuatorKreutzer, Tom-Niklas / Fichtner, Simon / Wagner, Bernhard / Lofink, Fabian et al. | 2021
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Hochenergieionen-Tiefenstrukturierung von PMMA mittels Microdegrader - eine VergleichsstudieGerold, Marcel / Mueck, Theresa / Akhmadaliev, Shavkat / Bischof, Tina / Csato, Constantin / Koch, Robert / Kraus, Matthias / Krippendorf, Florian / Maier, Tim / Zowalla, Andre et al. | 2021
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Integration of hafnium oxide - based ferroelectric data storage devices into BEoL for low-power applicationsSeidel, Konrad / Lehninger, David / Olivo, Ricardo / Ali, Tarek / Lederer, Maximilian / Kaempfe, Thomas / Mertens, Konstantin / Kuehnel, Kati / Biedermann, Kati / Maehne, Hannes et al. | 2021
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Supervising varroa treatment of honey bees with smart sensor systemsSchweizer, Thomas / Senger, Diren / Johannsen, Carolin / Kluss, Thorsten / Vellekoop, Michael J. et al. | 2021
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Combination of Additive and Thin-Film Technological Manufacturing for the Realization of a Pressure Sensor for Biomedical ApplicationsPrediger, Maren S. / Mueller, Eileen / Bengsch, Sebastian / Wurz, Marc Christopher et al. | 2021
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Flexible Ultra-Thin Chip-Film Patch for Integration of Electronic Components for Biomedical ApplicationsPasslack, Ulrike / Simon, Nicolai / Bucher, Volker / Harendt, Christine / Burghartz, Joachim N. et al. | 2021
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Pressure Pulse Classification for Flow Disturbance Detection in Micro Diaphragm PumpsThalhofer, Thomas / Heinrich, Ferdinand / Hayden, Oliver et al. | 2021
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Sensor-equipped microreactors: electrochemical multianalyte detection in hydrogen peroxide direct synthesisUrban, Sebastian / Deschner, Benedikt / Trinkies, Laura L. / Kieninger, Jochen / Kraut, Manfred / Dittmeyer, Roland / Urban, Gerald A. / Weltin, Andreas et al. | 2021
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Quantum-based position sensors for industrial applicationsNiethammer, Matthias / Dorneich, Albert / Bauer, Ralph / Baehr, Mario / Boeckenhoff, Christoph / Ritter, Ulrich / Schaefer, Roland / Wrachtrup, Joerg et al. | 2021
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Spritzguss von transparentem mikrostrukturiertem QuarzglasMader, Markus / Kotz-Helmer, Frederik / Rapp, Bastian E. et al. | 2021
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Combining MEMS with ASIC and raw wafer productionMajoni, Stefan / Stahl, Heiko et al. | 2021
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Fabrication of integrated poly-silicon wave guides for mid-infrared absorption spectroscopy using the evanescent fieldStocker, Gerald / Consani, Cristina / Thakkar, Pooja / Tortschanoff, Andreas / Fleury, Clement / Puehringer, Gerald / Jannesari, Reyhaneh / Saeidi, Parviz / Grille, Thomas / Kovatsch, Christoph et al. | 2021
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Integrierte optoelektronische Systeme basierend auf hochempfindlichen Einzelphotonendetektoren für optogenetische AnwendungenSinger, Julian / Geläschus, Anton / Schuster, Christian / Trieu, Hoc Khiem / Kuhl, Matthias et al. | 2021
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Hoch-sensitive und vollautomatisierte Quantifizierung von zirkulierenden epithelialen Tumorzellen aus VollblutKadic, Samir / Du, Tianxing / Roth, Astrid / Dörr, Aaron / Knapp, Michael / Hoffmann, Jochen / Serout, Anne / Strehle, Steffen / Lärmer, Franz et al. | 2021
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Microfabricated 2D array of ion trapsDietl, Matthias / Auchter, Silke / Milow, Ida / Roessler, Clemens / Blank, Oliver / Valentini, Marco / Holz, Philip / Schindler, Philipp / Monz, Thomas / Blatt, Rainer et al. | 2021
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Einstellbare Prismen mit Glas-Luft Interface: Ein Vergleich verschiedener AktuierungsmethodenWeber, Pascal M. / Lemke, Florian / Wapler, Matthias C. / Wallrabe, Ulrike et al. | 2021
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Two-Photon Lithography Parameter Study for Manufacturing of Acoustic Metamaterials on MEMSSchweiger, Severin / Melnikov, Anton / Koch, Sandro G. / Schenk, Harald et al. | 2021
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Additive Fertigung, Laserdirektstrukturierung und chemische Metallisierung von Duroplasten: Material- und ProzessentwicklungPfeifer, Christoph / Vieten, Tobias / Jung, Judith / Gläser, Kerstin / Hanemann, Thomas et al. | 2021
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Direktes Schreiben von magnetischen MikroaktorenGeid, Nicolas / Prucker, Oswald / Rühe, Jürgen et al. | 2021
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Beeinflussung des Schallfeldes durch Housing von Kapazitiven Mikromechanischen Ultraschallwandlern (CMUTs)Köble, Sören / Schweiger, Severin / Koch, Sandro G. et al. | 2021
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Ein Prozess-Integrierendes Clustertool für 2D-Materialsysteme: vom Einzelprozess zur Integration auf WaferlevelHoffmann, Martin / Awakowicz, Peter / Devi, Anjana / Schulze, Julian / Freyer, Benjamin / Witek, Helmut / Bock, Claudia et al. | 2021
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Low-Cost Fabrication of Micro Elastofluidic Systems with Integrated 3D-Shaped Electrodes for Particle-Based Separation ProcessesPhilippin, Nadine / Frey, Alexander / Kuehne, Ingo et al. | 2021
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High dynamic range digital assay enabled by dual volume centrifugal step emulsificationSchulz, Martin / Ruediger, Julian / Landmann, Emelie / Bakheit, Mohammed / Frischmann, Sieghard / Rassler, Daniela / Homann, Ana R. / von Stetten, Felix / Zengerle, Roland / Paust, Nils et al. | 2021
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MEMS tools with laser diodes as integrated light sources for chronic optical stimulation of neuronal activity in brain tissueSharma, Kirti / Kutsch, Anna / Paul, Oliver / Ruther, Patrick et al. | 2021
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Siliziumdehnungssensoren zur SpannungsanalyseFrank, Thomas / Grün, A. / Maier, C. / Asghar, M. T. / Krieger, U. / Cyriax, A. / Hintz, Michael / Ortlepp, Thomas et al. | 2021
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Closed-Loop Approach on Formal Specification for Semiconductor TestSchott, Christian / Mayer, Franziska / Billich, Enrico / Yazdani, Saeid / Sauppe, Matthias / Wolz, Werner / Heinkel, Ulrich et al. | 2021
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Electrical properties of functional Y2O3 films applied to thin film transistorsBerning, Thomas / Beer, Sebastian / Boysen, Nils / Devi, Anjana / Bock, Claudia et al. | 2021
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Charakterisierung von ultradünnen Bildsensoren und heterogenen Systemintegration in FolieWang, Shuo / Albrecht, Björn / Harendt, Christine / Schulze Spüntrup, Jan Dirk / Burghartz, Joachim et al. | 2021
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Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays zur Untersuchung des Ultraschall-DrahtbondprozessesArndt, Matthias / Wurz, Marc Christopher / Dencker, Folke / Long, Yangyang / Twiefel, Jens et al. | 2021
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Hybrider 3D-Biodruck zur künstlichen Herstellung von KnochenKoch, Fritz / Troendle, Kevin / Finkenzeller, Guenter / Rukavina, Patrick / Zengerle, Roland / Koltay, Peter / Zimmermann, Stefan et al. | 2021
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Integration biokompatibler Edelmetall-Elektroden-Arrays auf CMOS-ElektronikThiedke, Dominik / Leopold, Steffen et al. | 2021
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Silver sintering: New Materials for die and substrate attach in high power applicationsRabay, Battist / Papathanasiou, Niklas et al. | 2021
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MEMS Spatial Light Modulators for Real Holographic 3D DisplaysDuerr, Peter / Neudert, Andreas / Hohle, Christoph / Stolle, Hagen / Pleikies, Johannes / Sahm, Hagen et al. | 2021
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Development of a Polyimid Membrane for Electromagnetic Middle- Ear ActuatorsGlukhovskoy, Anatoly / Mueller, Eileen / Prediger, Maren S. / Maier, Hannes / Wurz, Marc Christopher et al. | 2021
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Miniaturized Infrared lenses by wafer bonding technologiesKulkarni, Amit / Laske, Norman / Schulz-Walsemann, Arne-Veit / Kuehl, Anja / Hagge, Juergen / Meyenburg, Ingo / Quenzer, Hans-Joachim et al. | 2021
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Athermal electro-optic trimmable waveguide designVermeer, Matthias Leander / Alhareeb, Nadeem Khargan / Trieu, Hoc Khiem / Lipka, Timo et al. | 2021
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Fabrication and Characterization of Sensitive Piled Semiconductor Diodes as Mid-Infrared Pyro-DetectorsKovatsch, Christoph / Bartl, Ulf / Grille, Thomas / Fant, Andrea / Zangl, Hubert / Ostermann, T. / Aschauer, Elmar / Stocker, Gerd et al. | 2021
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Miniaturized annular arrays for focused ultrasoundKrenkel, Marcel / Koch, Sandro G. / Reitz, Sven / Scharf, Patrick / Ernst, Daniel / Wolf, Mario et al. | 2021
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Transparente Fotodiode für ein Stehende-Wellen-InterferometerMoeller, Christian / Klein, Thomas / Brandel, Julia / Winzer, Andreas T. / Ortlepp, Thomas et al. | 2021
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Standardization of test particles by trial-based approximation of the damaging potential of manufacturing swarfsPiotter, Volker / Plewa, Klaus / Klein, Alexander / Brag, Patrick / Hertzfeldt, Mirko / Umbach, Sascha et al. | 2021
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Hybride Packaging-Lösung für Elektrochemische SensorenSteinmaßl, Matthias / Boudaden, Jamila / Hell, Waltraud / Kutter, Christoph et al. | 2021
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Additive Fertigung von Polysilazan als präkeramisches Polymer für die Herstellung von passivierenden Dünnschichtkontakten für SolarzellenQazzazie-Hauser, Afnan / Honnef, Kirsten / Hanemann, Thomas et al. | 2021
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Qualification of the Barrier Properties of ALD-coated Polymer Films with Humidity SensorsSimon, Nicolai / Passlack, Ulrike / Stieglitz, Thomas / Blendinger, Felix / Bucher, Volker et al. | 2021
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Modeling and Manufacturing of an Electrostatically Driven Actuator for MicropumpsLeistner, Henry / Anheuer, Daniel / Bosetti, Gabriele / Schrag, Gabriele / Richter, Martin et al. | 2021
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Large deflection of electrostatically actuated microbeams – How do the bending modes contribute beyond pull-in?Melnikov, Anton / Schenk, Hermann A. G. / Monsalve, Jorge M. / Wall, Franziska / Stolz, Michael / Mrosk, Andreas / Langa, Sergiu / Schuffenhauer, David / Gaudet, Matthieu / Kaiser, Bert et al. | 2021
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Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometernde Wall, Sascha / Kassner, Alexander / Dencker, Folke / Künzler, Christoph / Diekmann, Leonard / Wurz, Marc Christopher et al. | 2021
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Development of test chips for electrochemical analysisHild, Olaf R. / Kurth, Eberhard / Sauer, Bodo / Graf, Alexander / Krause, Robert / Gogoi, Eshanee et al. | 2021
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Thermisch und elektrisch optimiertes Leiterplatten-Prepackage für 100V/100A GaN LeistungshalbleiterHuesgen, Till / Sharma, Ankit Bhushan / Weimer, Julian / Koch, Dominik / Kallfass, Ingmar et al. | 2021
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Extended concept for a MEMS and IMS based ion filterGraf, Alexander / Funke, Nils / Hild, Olaf R. et al. | 2021
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Post-CMOS Integration of AlScN based Pyroelectric SensorsLaske, Norman / Broeker, Sebastian / Bette, Sebastian / Soerensen, Frerk / Kulkarni, Amit / Fichtner, Simon / Maes, Ben / Van Buggenhout, Carl et al. | 2021
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Radiation Resistant High-temperature Bolometer Sensors for Fusion ExperimentsSchmitt, Stefan / Detemple, Peter / Meister, Hans / Ingesson, Christian / Penzel, Florian / Walach, Ulrich et al. | 2021
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Point-of-Care System for HTLV-1 Proviral Load Quantification by Digital Mediator Displacement LAMPBecherer, Lisa / Hess, Jacob Friedrich / Haerpfer, Tamara / Frischmann, Sieghard / Bakheit, Mohammed / Nitschko, Hans / Stinco, Silvina / Zitz, Friedrich / Hofer, Hannes / Porro, Giampiero et al. | 2021
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Entwurf einer CMOS-integrierten, rauscharmen Stromausleseschaltung mit niedriger Eingangskapazität für die medizinische Diagnostik via biologischer NanoporenAmayreh, Mohammad / Elsaegh, Samar / Butz, Natalie / Kuderer, Markus / Manoli, Yiannos et al. | 2021
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Large area energy filter membranes for effective doping of silicon and silicon-carbide substrates through high-energy implantationSteinbach, Tamas / Akhmadaliev, Shavkat / Burghartz, Joachim N. / Csato, Constantin / Gerold, Marcel / Koch, Robert / Krippendorf, Florian / Letzkus, Florian / Rueb, Michael et al. | 2021
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Waferlevel Hermetizitätstest für DrucksensorenElsinger, Georg / Sgouridis, Sokratis / Tuma, Anton / Aschauer, Elmar / Plank, Harald et al. | 2021