„Untersuchungen zur erzielbaren Auflösung der achromatischen Talbotlithografie mittels teilkohärenter extrem-ultravioletter Strahlung“ (Deutsch)
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2023
- Hochschulschrift / Elektronische Ressource
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Titel:„Untersuchungen zur erzielbaren Auflösung der achromatischen Talbotlithografie mittels teilkohärenter extrem-ultravioletter Strahlung“
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Weitere Titelangaben:„Investigations on the achievable resolution of achromatic Talbot lithography using partially coherent extreme ultraviolet radiation“
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Beteiligte:Lüttgenau, Bernhard Josef ( Autor:in ) / Holly, Carlo ( Akademische:r Betreuer:in ) / Lemme, Max Christian ( Akademische:r Betreuer:in )
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Hochschulschrift:Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen ; 2023
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Erschienen in:
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Verlag:
- Neue Suche nach: Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
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Erscheinungsort:Aachen
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Erscheinungsdatum:2023
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Format / Umfang:1 Online-Ressource
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DOI:
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Medientyp:Hochschulschrift
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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Schlagwörter:
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Datenquelle: