Herstellung und meßtechnische Charakterisierung von dünnen PVD-Metalloxidschichten für den Einsatz in Mikrogassensoren : Endbericht zum Teilvorhaben: Entwurf von Designkriterien für Sensorarrays ; Laufzeit des Vorhabens: 1/94-12/96 ; Verbundprojekt
(Deutsch)
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Herstellung und meßtechnische Charakterisierung von dünnen PVD-Metalloxidschichten für den Einsatz in Mikrogassensoren : Endbericht zum Teilvorhaben: Entwurf von Designkriterien für Sensorarrays ; Laufzeit des Vorhabens: 1/94-12/96 ; Verbundprojekt