Abschlussbericht für das Teilvorhaben "Entwicklung von neuen Verarbeitungstechnologien zur stabilen Prozessierung ultradicker Schichten von Polymeren für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik" im Projektverbund "Neue hochpräzise Mikrokomponenten hergestellt mit umsetzungsorientierten und kosteneffizienten Fertigungsverfahren" : MICROCOMP ; Projektlaufzeit/Berichtszeitraum: 1. November 2002 - 30. Juni 2006 (Deutsch)
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2006
- Report / Elektronische Ressource
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Titel:Abschlussbericht für das Teilvorhaben "Entwicklung von neuen Verarbeitungstechnologien zur stabilen Prozessierung ultradicker Schichten von Polymeren für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik" im Projektverbund "Neue hochpräzise Mikrokomponenten hergestellt mit umsetzungsorientierten und kosteneffizienten Fertigungsverfahren" : MICROCOMP ; Projektlaufzeit/Berichtszeitraum: 1. November 2002 - 30. Juni 2006
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Weitere Titelangaben:Final report for the partial plan "Development of new manufacturing techniques for stable processing of ultra-thick polymer films for the application in microsystem technology" within the framework of the project "New high precision microcomponents produced with transfer-oriented and cost-effective manufacturing techniques - MICROCOMP
MICROCOMP
Entwicklung von neuen Verarbeitungstechnologien zur stabilen Prozessierung ultradicker Schichten von Polymeren für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik -
Beteiligte:
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Verlag:
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Erscheinungsort:Berlin
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Erscheinungsdatum:2006
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Format / Umfang:Online-Ressource (47 S., 4,65 MB)
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Anmerkungen:Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 16SV1745. - Verbund-Nr. 01023183. - Literaturverz. - Engl. Titel: Final report for the partial plan "Development of new manufacturing techniques for stable processing of ultra-thick polymer films for the application in microsystem technology" within the framework of the project "New high precision microcomponents produced with transfer-oriented and cost-effective manufacturing techniques - MICROCOMP
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Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek -
DOI:
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Medientyp:Report
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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Reportnr. / Förderkennzeichen:16SV1745, 01023183
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Schlagwörter:
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Klassifikation:
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